專利名稱：帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及西門子法多晶硅還原爐設(shè)備結(jié)構(gòu)，特別涉及帶有除塵裝置的多晶 硅還原爐的尾氣出口結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
近幾年來，國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)高速發(fā)展，現(xiàn)在生產(chǎn)多晶硅大多采用西門子法。利 用西門子法生產(chǎn)多晶硅，還原爐是核心設(shè)備，一般在還原爐上需要設(shè)置尾氣出口將反應(yīng)后 氣體導(dǎo)出還原爐。在生產(chǎn)過程中，部分氣體反應(yīng)生成的無定形硅粉以及操作不當(dāng)發(fā)生倒棒 現(xiàn)象而產(chǎn)生的硅棒碎塊，會進(jìn)入尾氣出口管道。進(jìn)入尾氣出口管道的硅粉和硅塊不易清理， 累積后的硅粉和硅塊會造成管路通氣不暢，影響硅棒生長。而且粉塵會被帶到后續(xù)設(shè)備，對 后續(xù)設(shè)備造成堵塞和磨蝕等不良影響。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，用于 解決還原爐尾氣出口管道因為硅粉和硅塊累積而堵塞以及不易清洗的問題。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案為，多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，包 括依次連接的進(jìn)氣管、三通、下端連接管、盲板；還包括水平連接管，與所述三通的第三個 端口連接；除塵裝置，設(shè)置在由所述進(jìn)氣管、所述三通和所述下端連接管依次連接形成的腔 體內(nèi)。所述除塵裝置與所述腔體同軸設(shè)置。所述除塵裝置的外徑與所述腔體的內(nèi)徑相契合。 所述除塵裝置縱向的長度至少完全遮蓋住所述水平連接管與所述三通連接的端口。所述除 塵裝置為圓筒狀篩網(wǎng)，其側(cè)面設(shè)有篩孔。所述篩孔的截面積之和大于所述進(jìn)氣管的截面積 之和。所述盲板通過下端法蘭與所述下端連接管連接。所述腔體為豎直設(shè)置。本實用新型和已有結(jié)構(gòu)相比，其效果是積極和顯著的。本實用新型在尾氣出口管 路中設(shè)置除塵裝置，利用除塵裝置的過濾作用和重力作用阻攔硅粉和硅塊進(jìn)入后續(xù)設(shè)備， 并使其堆積在盲板和除塵裝置中。通過拆卸盲板可定時將堆積的硅粉和硅塊進(jìn)行清理，并 可取下除塵裝置進(jìn)行清洗。本實用新型保證了還原爐尾氣管道的暢通，后續(xù)設(shè)備工藝氣體 的清潔度，極大地減少硅粉對后續(xù)設(shè)備的磨蝕。

圖1為本實用新型帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)正面剖視圖。本實用新型帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)附圖中附圖標(biāo)記說明10-盲板20-下端法蘭 30-固定裝置 40-下端連接管50-三通60-除塵裝置 61-篩孔70-進(jìn)氣管80-水平連接管90-水平法蘭 100-腔體
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)做進(jìn)一步 詳細(xì)說明。如圖1所示，本實用新型帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)包括依次連 接的進(jìn)氣管70、三通50、下端連接管40、盲板10 ；水平連接管80，與所述三通50的第三個 端口連接；盲板10通過下端法蘭20以及固定裝置30與下端連接管40連接。除塵裝置60，設(shè)置在由進(jìn)氣管70、三通50和下端連接管40依次連接形成的腔體 100內(nèi)，腔體100為豎直設(shè)置；除塵裝置60與腔體100同軸設(shè)置；除塵裝置60的外徑與腔 體100的內(nèi)徑相契合；除塵裝置60縱向的長度至少完全遮蓋住水平連接管80與三通50連 接的端口 ；除塵裝置60由耐高溫材料制成的圓筒狀篩網(wǎng)結(jié)構(gòu)，其側(cè)面設(shè)有篩孔61，篩孔61 的截面積之和大于進(jìn)氣管70的截面積之和。正常工作時，攜帶著硅粉的尾氣首先進(jìn)入進(jìn)氣管70，到達(dá)三通50時進(jìn)入放置于三 通50和下端連接管40腔體100內(nèi)的除塵裝置60，在除塵裝置60的篩孔61的過濾作用下， 絕大部分硅粉被阻攔在除塵裝置60內(nèi)壁，并由于重力作用落到盲板10上。由于三通50的 下端被盲板10封住，經(jīng)過過濾的尾氣從三通50的水平端出口進(jìn)入水平連接管80和水平法 蘭90，水平法蘭90與后續(xù)管路連接把尾氣排出設(shè)備。如果由于操作不當(dāng)導(dǎo)致硅塊掉落進(jìn)進(jìn) 氣管70時，由于除塵裝置60的篩孔61的過濾作用以及重力作用，硅塊掉落并累積在盲板 10上，而不會進(jìn)入后續(xù)管路中。當(dāng)累積在盲板10上的硅粉和硅塊達(dá)到一定量后可以松開固 定裝置30取下盲板10和除塵裝置60進(jìn)行清洗，還可以根據(jù)使用情況定期清洗盲板10和 除塵裝置60。
權(quán)利要求帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括依次連接的進(jìn)氣管、三通、下端連接管、盲板；還包括水平連接管，與所述三通的第三個端口連接；以及除塵裝置，設(shè)置在由所述進(jìn)氣管、所述三通和所述下端連接管依次連接形成的腔體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述除塵裝置與所述腔體同軸設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述除塵裝置的外徑與所述腔體的內(nèi)徑相契合。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述除塵裝置縱向的長度至少完全遮蓋住所述水平連接管與所述三通連接的端口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述除塵裝置為圓筒狀篩網(wǎng)，其側(cè)面設(shè)有篩孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述篩孔的截面積之和大于所述進(jìn)氣管的截面積之和。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述盲板通過下端法蘭與所述下端連接管連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述腔體為豎直設(shè)置。
專利摘要本實用新型提供了一種帶除塵裝置的多晶硅還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)包括依次連接的進(jìn)氣管、三通、下端連接管、盲板；還包括水平連接管，與三通的第三個端口連接；除塵裝置，設(shè)置在由進(jìn)氣管、三通和下端連接管依次連接形成的腔體內(nèi)。除塵裝置與腔體同軸設(shè)置。除塵裝置為圓筒狀篩網(wǎng)，其側(cè)面設(shè)有篩孔。本實用新型和已有結(jié)構(gòu)相比，其效果是積極和顯著的。本實用新型在尾氣出口管路中設(shè)置除塵裝置，利用除塵裝置的過濾作用和重力作用阻攔硅粉和硅塊進(jìn)入后續(xù)設(shè)備，并使其堆積在盲板和除塵裝置中。通過拆卸盲板可將堆積的硅粉和硅塊進(jìn)行清理。本實用新型保證了還原爐尾氣管道的暢通及后續(xù)設(shè)備工藝氣體的清潔度，極大地減少硅粉對后續(xù)設(shè)備的磨蝕。
文檔編號B01D46/24GK201746334SQ201020258838
公開日2011年2月16日 申請日期2010年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月15日
發(fā)明者吳海龍, 周積衛(wèi), 張華芹, 王遂云, 程佳彪 申請人:上海森松新能源設(shè)備有限公司