[0043]所述第一分類模塊110，用于對半導體制造設備的各種狀態(tài)進行分類，劃分出一級狀態(tài)類型；
[0044]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中所述一級狀態(tài)類型，包括ALARM(設備拋出報警)、FA (工廠端的工作及連接狀態(tài))、J0B (制作過程中晶圓進出腔室及是否工藝)以及T00LSTATE (設備當前運行狀態(tài))四種半導體制造設備狀態(tài)類型。
[0045]此處需要說明的，對半導體制造設備的各種狀態(tài)進行分類是因為半導體制造過程中設備的狀態(tài)類型有很大差別，對于不同的類型的設備狀態(tài)需要及時進行處理的緊張程度不同，例如，當設備發(fā)出報警時，說明設備某地方可能出現(xiàn)了錯誤，而這些錯誤是需要馬上進行處理的，如果不及時進行處理很可能對設備產(chǎn)生破壞，或?qū)φ麄€生產(chǎn)過程產(chǎn)生嚴重后果。因此，對于半導體制造設備的報警要及時通過塔燈進行顯示或蜂鳴。對半導體制造設備的各種狀態(tài)進行分類之后，才能進一步根據(jù)狀態(tài)類型的不同設置不同的塔燈顯示優(yōu)先權(quán)級別。
[0046]所述優(yōu)先權(quán)設置模塊120，用于設置所述第一分類模塊110劃分的各個一級狀態(tài)類型的優(yōu)先權(quán)級別；
[0047]此處需要說明的是，設置各個一級狀態(tài)類型為不同的優(yōu)先權(quán)級別，對于不同的優(yōu)先權(quán)級別，優(yōu)先權(quán)等級越高則其設備狀態(tài)顯示的幾率越大，且一種一級狀態(tài)類型只能設置為某一個優(yōu)先權(quán)級別，一個優(yōu)先權(quán)級別只能對應一種一級狀態(tài)類型。
[0048]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中優(yōu)先權(quán)級別設置為:最高(Highest)、高(High)、中(Medium)及低(Low)。
[0049]較佳地，作為一種可實施方式，當對同一顏色的信號燈進行了多次設定時，則依據(jù)所設定的優(yōu)先權(quán)級別，優(yōu)先權(quán)級別最高的設定生效。
[0050]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中設置的四種一級類型設備狀態(tài)類型中ALARM的優(yōu)先權(quán)級別為最高，F(xiàn)A的優(yōu)先權(quán)級別為高，JOB優(yōu)先權(quán)級別為中，T00LSTATE的優(yōu)先權(quán)級別為低。
[0051]舉例說明為:設ALARM類型中某設備狀態(tài)類型設置為狀態(tài)出現(xiàn)時塔燈中紅燈亮，JOB類型中另一設備狀態(tài)類型也設置為狀態(tài)出現(xiàn)時塔燈中的紅燈亮，則當紅燈亮時，表示出現(xiàn)所述ALARM類型中某設備狀態(tài)類型。
[0052]此處需要說明的是，所述優(yōu)先權(quán)級別最高的設定生效是指對塔燈的某種顏色進行了多次設定時，只有優(yōu)先權(quán)高于其他設備狀態(tài)的設備狀態(tài)生效，當控制系統(tǒng)進行檢查時忽略其他優(yōu)先權(quán)級別相對較低的設備狀態(tài)設置。
[0053]所述第二分類模塊130，用于對所述第一分類模塊110所劃分的各個一級狀態(tài)類型進行再次分類，每個一級狀態(tài)類型劃分為多個二級狀態(tài)類型；
[0054]此處需要說明的是，將一級狀態(tài)類型劃分為多個二級狀態(tài)類型的設備狀態(tài)，是對設備狀態(tài)的細化，使操作人員能夠直接根據(jù)塔燈的狀態(tài)顯示判斷出設備的具體狀態(tài)，并做出相對應的操作，提高工作效率。
[0055]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中，設定ALARM狀態(tài)類型包括Fatal、Error> Problem、Event、Notice 五種二級狀態(tài)類型；FA 狀態(tài)類型包括 Disable、Enable、0FFLINE_EQUIP、OFFLINE_ATTMPT、0FFLINE_H0ST、0NLINE_L0CAL、0NLINE_REM0TE 七種二級狀態(tài)類型；J0B狀態(tài)類型包括Processing、Inputffafer> OutPutWafer三種二級狀態(tài)類型；T00LSTATE 狀態(tài)類型包括 Aborting、Aborted、Halting、Halted、Pausing、Paused、Idle 等多種二級狀態(tài)類型。
[0056]較佳地，作為一種可實施方式，所述二級狀態(tài)類型的優(yōu)先權(quán)級別與其在一級狀態(tài)類型下排列順序一致。如，對于ALARM狀態(tài)類型下的Fatal、Error、Problem、Event、Notice五種二級狀態(tài)類型，其優(yōu)先權(quán)級別高低關(guān)系為Fatal>Error>Problem>Event>Notice,即半導體制造設備的Fatal狀態(tài)類型的優(yōu)先權(quán)級別高于Error狀態(tài)類型的優(yōu)先權(quán)級別。
[0057]當同--級狀態(tài)類型下的兩個或兩個以上二級狀態(tài)類型設置的塔燈狀態(tài)相同時，
則按優(yōu)先權(quán)級別的設置，高優(yōu)先權(quán)級別的狀態(tài)類型設置生效。如當ALARM狀態(tài)類型下的Fatal和Event狀態(tài)類型顯示同時設置為塔燈紅燈亮時，因為Fatal狀態(tài)類型優(yōu)先權(quán)級別高于Event狀態(tài)類型優(yōu)先權(quán)級別，所以Fatal狀態(tài)類型的塔燈顯示設置生效，即塔燈紅燈亮時，表示半導體制造設備出現(xiàn)Fatal狀態(tài)類型。
[0058]所述塔燈狀態(tài)設置模塊140，用于設置不同等級下的半導體制造設備狀態(tài)對應的塔燈狀態(tài)。
[0059]如圖2所示，可對任一設備狀態(tài)的塔燈狀態(tài)進行設置，可設置相對應的紅燈的開、關(guān)或者閃爍，黃燈的開、關(guān)或者閃爍、綠燈的開、關(guān)或者閃爍、藍燈的開、關(guān)或者閃爍以及蜂鳴的開或者關(guān)。設置對應顏色的塔燈開或者閃爍時，則半導體制造設備出現(xiàn)此狀態(tài)時所設置的塔燈亮或者閃爍；設置蜂鳴為開時，則半導體制造設備出現(xiàn)此狀態(tài)時，蜂鳴器發(fā)出蜂鳴，設置所有顏色的塔燈及蜂鳴器都為關(guān)時，則塔燈對此半導體制造設備狀態(tài)不進行顯示。
[0060]此處需要說明的是，對某一種半導體制造設備的狀態(tài)，可設置只有某一種顏色的燈開或者閃爍，也可設置多種顏色組合的燈開或者閃爍，同時也可設置蜂鳴開，且蜂鳴的開設置可對多個半導體制造設備狀態(tài)生效，不受優(yōu)先權(quán)級別設置的影響。
[0061]較佳地，為了方便操作人員能夠簡單的從塔燈顏色顯示及蜂鳴器的狀態(tài)得到設備狀態(tài)，本實施例中對應半導體制造設備的某一狀態(tài)只設置紅、綠、黃、藍燈中的一種顏色的燈開或者閃爍，同時設置過蜂鳴器的開或者關(guān)。
[0062]較佳地，在本發(fā)明另一實施例中，如圖3所示，所述塔燈狀態(tài)設置模塊還包括重復設置檢查子模塊141，所述重復設置檢查子模塊用于在對塔燈進行設置時檢查是否為重復設置。
[0063]此處需要說明的，所述重復設置檢查子模塊在每次對塔燈狀態(tài)設置為開時進行檢查，檢查是否有更高級別優(yōu)先權(quán)的設備狀態(tài)類型對應塔燈已設置為開，如果有，則高亮顯示更高級別優(yōu)先權(quán)的半導體制造設備狀態(tài)類型及正在進行設置的半導體制造設備的狀態(tài)類型。從而可以使設置人員根據(jù)當前需要取消對先前對應顏色塔燈的設置，或改變當前設置，避免對同一顏色的塔燈進行重復設置，保證最新設置的半導體制造設備狀態(tài)及時由塔燈狀態(tài)所反映。
[0064]基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實施例的一種半導體制造設備的狀態(tài)控制方法，其包括對半導體制造設備中的塔燈進行實時設置的步驟，由于此方法解決問題的原理與前述一種半導體制造設備的狀態(tài)控制系統(tǒng)功能相似，因此，該方法的實施可以通過前述系統(tǒng)功能模塊實現(xiàn)，重復之處不再贅述。
[0065]所述對半導體制造設備中的塔燈進行實時設置的步驟，如圖4所示，包括以下步驟:
[0066]S100，對半導體制造設備的各種狀態(tài)進行分類，劃分出一級狀態(tài)類型；
[0067]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中所述一級狀態(tài)類型，包括ALARM(設備拋出報警)、FA (工廠端的工作及連接狀態(tài))、J0B (制作過程中晶圓進出腔室及是否工藝)以及T00LSTATE (設備當前運行狀態(tài))四種半導體制造設備狀態(tài)類型。
[0068]S200，對所劃分出的一級狀態(tài)類型的優(yōu)先權(quán)級別進行設置；
[0069]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中優(yōu)先權(quán)級別設置為:最高(Highest)、高(High)、中(Medium)及低(Low);本實施例中設置的四種一級類型設備狀態(tài)類型中ALARM的優(yōu)先權(quán)級別為最高，F(xiàn)A的優(yōu)先權(quán)級別為高，JOB優(yōu)先權(quán)級別為中，T00LSTATE的優(yōu)先權(quán)級別為低。
[0070]S300，對所劃分出的一級狀態(tài)類型下的半導體制造設備狀態(tài)再次進行分類，每個一級狀態(tài)類型劃分為多個二級狀態(tài)類型；
[0071]較佳地，作為一種可實施方式，本實施例中，設定ALARM狀態(tài)類型包括Fatal、Error> Problem、Event、Notice 五種二級狀態(tài)類型；FA 狀態(tài)類型包括 Disable、Enable、0FFLINE_EQUIP、OFFLINE_ATTMPT、0FFLI