感光性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法以及導(dǎo)電膜基板的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及感光性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法以及導(dǎo)電膜基板。本發(fā)明提供一種感光性導(dǎo)電膜，其特征在于，具備：支撐膜；設(shè)置于該支撐膜上并含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層；設(shè)置于該導(dǎo)電層上的感光性樹(shù)脂層。
【專(zhuān)利說(shuō)明】感光性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法以 及導(dǎo)電膜基板
[0001] 本發(fā)明是申請(qǐng)?zhí)枮?009801323695(國(guó)際申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/JP2009/063187)，申請(qǐng)日 為2009年7月23日、發(fā)明名稱(chēng)為"感光性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法 以及導(dǎo)電膜基板"的發(fā)明申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及感光性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法以及導(dǎo)電膜 基板，特別涉及可用于液晶顯示元件等平板顯示器、觸摸屏、太陽(yáng)能電池等裝置的電極配線 的導(dǎo)電圖形的形成方法以及導(dǎo)電膜基板。

【背景技術(shù)】
[0003] 在個(gè)人電腦、電視等大型電子設(shè)備，車(chē)載導(dǎo)航、手機(jī)、電子字典等小型電子設(shè)備， 0A *FA設(shè)備等顯示設(shè)備方面，液晶顯示元件、觸摸屏的使用得到了普及。對(duì)于這些液晶顯示 元件、觸摸屏以及太陽(yáng)能電池等器件而言，在要求透明的配線、像素電極或端子的一部分中 使用有透明導(dǎo)電膜。
[0004] 作為透明導(dǎo)電膜的材料，一直以來(lái)，使用對(duì)可見(jiàn)光顯示高的透過(guò)率的ιτο(氧化銦 錫、Indium-Tin-Oxide)、氧化銦以及氧化錫等。在液晶顯示元件用基板等的電極中，對(duì)由上 述材料形成的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行成圖而成的電極已成為主流。
[0005] 作為透明導(dǎo)電膜的成圖方法，一般有如下方法：形成透明導(dǎo)電膜之后，通過(guò)光刻法 而形成抗蝕圖形，通過(guò)濕法蝕刻去除導(dǎo)電膜的規(guī)定部分從而形成導(dǎo)電圖形。在ΙΤ0和氧化 銦膜的情況下，蝕刻液一般使用包含鹽酸和氯化鐵這2種溶液的混合液。
[0006] ΙΤ0膜、氧化錫膜，一般通過(guò)濺射法而形成。但是，就該方法而言，因?yàn)R射方式的不 同、以及濺射功率、氣壓、基板溫度、環(huán)境氣體種類(lèi)等的不同，使得透明導(dǎo)電膜的性質(zhì)容易變 化。因?yàn)R射條件的變動(dòng)而導(dǎo)致的透明導(dǎo)電膜的膜質(zhì)的不同，成為在對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行濕法 蝕刻時(shí)的蝕刻速度偏差的原因，并容易招致因成圖不良而導(dǎo)致的制品的成品率降低。另外， 就上述導(dǎo)電圖形的形成方法而言，由于經(jīng)過(guò)濺射工序、抗蝕層形成工序以及蝕刻工序，因此 工序長(zhǎng)，在成本方面也成為大的負(fù)擔(dān)。
[0007] 最近，為了解決上述的問(wèn)題，進(jìn)行有如下嘗試：使用替代ΙΤ0、氧化銦以及氧化錫 等的材料來(lái)形成透明的導(dǎo)電圖形。例如，在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)有如下導(dǎo)電圖形的形成 方法：在基板上形成含有銀纖維等導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層之后，在導(dǎo)電層上形成感光性樹(shù)脂 層，在其上隔著圖形掩模而曝光、顯影。
[0008] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009] 專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0010] 專(zhuān)利文獻(xiàn)1 :美國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)第2007/0074316號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】
toon] 發(fā)明要解決的課題
[0012] 然而，通過(guò)本發(fā)明人的研究而判明，上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的方法，難以在確?；?板與導(dǎo)電圖形的粘接性的同時(shí)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電圖形的表面電阻率的低電阻率化。另外，將前述導(dǎo) 電圖形用作配線、像素電極或端子的情況下，需要去除感光性樹(shù)脂層的工序，而存在有導(dǎo)電 圖案形成的工序變繁雜化的問(wèn)題。
[0013] 本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)所具有的問(wèn)題而開(kāi)發(fā)，其目的在于提供一種感光性導(dǎo)電 膜、以及使用該感光性導(dǎo)電膜的導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法以及導(dǎo)電膜基板， 就所述感光性導(dǎo)電膜而言，可在基板上以充分的分辨率來(lái)簡(jiǎn)便地形成與基板的粘接性充分 且表面電阻率充分小的導(dǎo)電圖形。
[0014] 解決課題的技術(shù)方案
[0015] 為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種感光性導(dǎo)電膜，其具備支撐膜、設(shè)置于該支撐 膜上并含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層、設(shè)置于該導(dǎo)電層上的感光性樹(shù)脂層。
[0016] 根據(jù)本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜，通過(guò)具有上述結(jié)構(gòu)，便可通過(guò)如下簡(jiǎn)便的工序，而以 充分的分辨率來(lái)形成與基板的粘接性充分且表面電阻率充分小的導(dǎo)電圖形；所述簡(jiǎn)便的 工序?yàn)椋凑帐垢泄庑詷?shù)脂層密合于基板上的方式將感光性導(dǎo)電膜進(jìn)行層壓，將其曝光、顯 影。
[0017] 在本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜中，就上述導(dǎo)電層和上述感光性樹(shù)脂層的層疊體而言， 優(yōu)選將兩層的合計(jì)膜厚為1?10 μ m時(shí)，在450?650nm的波長(zhǎng)域處的最小透光率為80% 以上。在導(dǎo)電層和感光性樹(shù)脂層滿足這樣的條件的情況下，顯示面板等處的高輝度化變?nèi)?易。
[0018] 另外，就本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜而言，從可容易調(diào)整所形成的導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性的 觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選上述導(dǎo)電性纖維為銀纖維。
[0019] 從進(jìn)一步提高基板與導(dǎo)電圖形的粘接性和導(dǎo)電膜的成圖性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選上述 感光性樹(shù)脂層含有粘合劑聚合物、具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物以及光聚合引發(fā) 劑。
[0020] 本發(fā)明另外提供一種導(dǎo)電膜的形成方法，其具備如下工序：按照感光性樹(shù)脂層密 合于基板上的方式將本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜進(jìn)行層壓的層壓工序；對(duì)基板上的感光性樹(shù)脂 層照射活性光線的曝光工序。
[0021] 根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法，通過(guò)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜，并實(shí)施上述 工序，從而可在基板上容易地形成與基板的粘接性充分且表面電阻率充分小的導(dǎo)電膜。
[0022] 本發(fā)明另外提供一種導(dǎo)電圖形的形成方法，其具備如下工序：按照感光性樹(shù)脂層 密合于基板上的方式將本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜進(jìn)行層壓的工序；對(duì)基板上的感光性樹(shù)脂層 的規(guī)定部分照射活性光線的曝光工序；通過(guò)將曝光過(guò)的感光性樹(shù)脂層顯影而形成導(dǎo)電圖形 的顯影工序。
[0023] 根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖形的形成方法，通過(guò)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜，并實(shí)施上 述工序，便可在基板上以充分的分辨率來(lái)簡(jiǎn)便地形成與基板的粘接性充分且表面電阻率充 分小的導(dǎo)電圖形。
[0024] 本發(fā)明另外提供一種導(dǎo)電膜基板，其具備有：基板、通過(guò)本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方 法而在該基板上形成的導(dǎo)電膜。
[0025] 本發(fā)明另外提供一種導(dǎo)電膜基板，其具備有：基板、通過(guò)本發(fā)明的導(dǎo)電圖形的形成 方法而在該基板上形成的導(dǎo)電圖形。
[0026] 就本發(fā)明的導(dǎo)電膜基板而言，優(yōu)選上述導(dǎo)電膜或上述導(dǎo)電圖形的表面電阻率為 2000 Ω / □以下。
[0027] 發(fā)明效果
[0028] 根據(jù)本發(fā)明，可提供感光性導(dǎo)電膜、以及使用該感光性導(dǎo)電膜的導(dǎo)電膜的形成方 法、導(dǎo)電圖形的形成方法以及導(dǎo)電膜基板，所述感光性導(dǎo)電膜可在基板上以充分的分辨率 來(lái)簡(jiǎn)便地形成與基板的粘接性充分且表面電阻率充分小的導(dǎo)電圖形。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029] 圖1是表示本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜的一個(gè)實(shí)施方式的模式剖視圖；
[0030] 圖2是用于說(shuō)明本發(fā)明的導(dǎo)電圖形的形成方法的一個(gè)實(shí)施方式的模式剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0031] 以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中的 "（甲基）丙烯酸酯"意為"丙烯酸酯"以及與其對(duì)應(yīng)的"甲基丙烯酸酯"。同樣地，"（甲基） 丙烯酸"意為"丙烯酸"以及與其對(duì)應(yīng)的"甲基丙烯酸"，"（甲基）丙烯?；?意為"丙烯酰 基"以及與其對(duì)應(yīng)的"甲基丙烯?；?。
[0032] 圖1為表示本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜的優(yōu)選的一個(gè)實(shí)施方式的模式剖視圖。圖1所 示的感光性導(dǎo)電膜10具備有支撐膜1、設(shè)置于支撐膜1上并含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2、設(shè) 置于導(dǎo)電層2上的感光性樹(shù)脂層3。
[0033] 以下，分別對(duì)構(gòu)成感光性導(dǎo)電膜10的支撐膜1、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2以及感 光性樹(shù)脂層3進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0034] 作為支撐膜1，例如列舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚碳酸 酯膜等具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物膜。它們之中，考慮到透明性、耐熱性的觀點(diǎn)，優(yōu)選 聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜。需要說(shuō)明的是，就這些聚合物膜而言，由于之后必須可從感光性 樹(shù)脂層去除，因此不可采用實(shí)施了不可去除那樣的表面處理的膜或者材質(zhì)等。
[0035] 另外，就支撐膜1的厚度而言，優(yōu)選為5?300 μ m，更優(yōu)選為10?200 μ m，特別優(yōu) 選為15?100 μ m。如果支撐膜的厚度不足5 μ m，則存在如下傾向：機(jī)械強(qiáng)度降低，在為了 形成導(dǎo)電層2而涂布導(dǎo)電性纖維分散液、或?yàn)榱诵纬筛泄庑詷?shù)脂層3而涂布感光性樹(shù)脂組 合物的工序中，或者在將曝光了的感光性樹(shù)脂層3顯影之前剝離支撐膜的工序中，支撐膜 便容易破裂。另一方面，如果支撐膜的厚度超過(guò)300 μ m，則存在在隔著支撐膜而將活性光線 照射于感光性樹(shù)脂層的情況下圖形的分辨率降低的傾向，另外存在價(jià)格變高的傾向。
[0036] 就支撐膜1的霧度值而言，從可使靈敏度和分辨率為良好的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為 0.01?5.0%，更優(yōu)選為0.01?3.0%，特別優(yōu)選為0.01?2.0%，極其優(yōu)選為0.01? 1.0%。需要說(shuō)明的是，霧度值可依照J(rèn)IS K 7105而測(cè)定，例如，可通過(guò)NDH-1001DP(日本 電色工業(yè)株式會(huì)社制，商品名）等市售的濁度計(jì)等測(cè)定。
[0037] 作為導(dǎo)電層2中所含有的導(dǎo)電性纖維，例如列舉出，金、銀、鉬等金屬纖維，以及碳 納米管等碳纖維。它們可以以單獨(dú)1種或組合2種以上來(lái)使用。從導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu) 選使用金纖維或銀纖維。就金纖維和銀纖維而言，可以以單獨(dú)1種或組合2種以上來(lái)使用。 進(jìn)一步，從可容易調(diào)整所形成的導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選銀纖維。
[0038] 就上述的金屬纖維而言，例如，可通過(guò)由NaBH4等還原劑將金屬離子還原的方法或 多元醇法來(lái)制備。
[0039] 碳納米管可使用Unidym公司的Hipco單層碳納米管等市售品。
[0040] 導(dǎo)電性纖維的纖維直徑優(yōu)選為lnm?50nm，更優(yōu)選為2nm?20nm，特別優(yōu)選為 3nm?10nm。另夕卜，導(dǎo)電性纖維的纖維長(zhǎng)度,優(yōu)選為1 μ m?100 μ m，更優(yōu)選為2 μ m?50 μ m， 特別優(yōu)選為3μπι?ΙΟμπι。纖維直徑及纖維長(zhǎng)度，可通過(guò)掃描型電子顯微鏡來(lái)測(cè)定。
[0041] 就導(dǎo)電層2的厚度而言，因通過(guò)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜而形成的導(dǎo)電膜或?qū)?電圖形的用途、所要求的導(dǎo)電性的不同而不同，優(yōu)選為1 μ m以下，更優(yōu)選為lnm?0. 5 μ m， 特別優(yōu)選為5nm?0· 1 μ m。如果導(dǎo)電層2的厚度為1 μ m以下，貝U 450?650nm的波長(zhǎng)域處 的透光率高，成圖性亦優(yōu)異，特別適于制作透明電極。
[0042] 優(yōu)選導(dǎo)電層2具有導(dǎo)電性纖維彼此接觸而成的網(wǎng)目結(jié)構(gòu)。具有這樣的網(wǎng)目結(jié)構(gòu)的 導(dǎo)電層2可形成在感光性樹(shù)脂層3的支撐膜側(cè)表面，但只要在剝離支撐膜時(shí)露出的表面上， 在其面方向上獲得導(dǎo)電性，就也可以以包含于感光性樹(shù)脂層3的支撐膜側(cè)表層的形態(tài)來(lái)形 成。需要說(shuō)明的是，具有網(wǎng)目結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電層2的厚度是指根據(jù)掃描型電子顯微鏡照片而測(cè) 定的值。
[0043] 含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2可通過(guò)例如在支撐膜1上，涂布導(dǎo)電性纖維分散液， 然后干燥從而形成；所述導(dǎo)電性纖維分散液為向上述的導(dǎo)電性纖維加入了水和/或有機(jī)溶 齊IJ、以及根據(jù)需要的表面活性劑等分散穩(wěn)定劑等的導(dǎo)電性纖維分散液。干燥之后，形成于支 撐膜1上的導(dǎo)電層2,可根據(jù)需要而層壓。就涂布而言，可通過(guò)例如輥涂法、逗點(diǎn)涂布（comma coat)法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、刮棒涂布法（bar coating)、噴霧涂布法等公知 方法來(lái)進(jìn)行。另外，就干燥而言，可通過(guò)在30?150°C、以1?30分鐘左右、利用熱風(fēng)對(duì)流 式干燥機(jī)等來(lái)進(jìn)行。在導(dǎo)電層2中，導(dǎo)電性纖維也可與表面活性劑、分散穩(wěn)定劑共存。
[0044] 作為感光性樹(shù)脂層3,可舉出：由含有（a)粘合劑聚合物、（b)具有乙烯性不飽和鍵 的光聚合性化合物和（c)光聚合引發(fā)劑的感光性樹(shù)脂組合物形成的樹(shù)脂層。
[0045] 作為（a)粘合劑聚合物，例如列舉出丙烯酸樹(shù)脂、苯乙烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、酰胺樹(shù) 月旨、酰胺環(huán)氧樹(shù)脂、醇酸樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、酯樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、由環(huán)氧樹(shù)脂與（甲基）丙烯酸 的反應(yīng)獲得的環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂、由環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂與酸酐的反應(yīng)獲得的酸改性環(huán)氧丙 烯酸酯樹(shù)脂等。這些樹(shù)脂，可以以單獨(dú)1種或組合2種以上來(lái)使用。從堿顯影性和膜形成 性優(yōu)異的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用丙烯酸樹(shù)脂，更優(yōu)選該丙烯酸樹(shù)脂含有源自（甲基）丙烯酸和 (甲基）丙烯酸烷酯的單體單位作為結(jié)構(gòu)單元。此處，"丙烯酸樹(shù)脂"意為一種聚合物，所述 聚合物主要含有源自具有（甲基）丙烯?；木酆闲詥误w的單體單元。另外，本說(shuō)明書(shū)中 的"（甲基）丙烯酸"意為"丙烯酸"以及與其對(duì)應(yīng)的"甲基丙烯酸"，"（甲基）丙烯酸烷酯" 意為"丙烯酸烷酯"以及與其對(duì)應(yīng)的"甲基丙烯酸烷酯"。
[0046] 就上述丙烯酸樹(shù)脂而言，可使用通過(guò)對(duì)具有（甲基）丙烯酸基的聚合性單體進(jìn)行 自由基聚合而制造的樹(shù)脂。該丙烯酸樹(shù)脂可以以單獨(dú)1種或組合2種以上來(lái)使用。
[0047] 作為上述具有（甲基）丙烯酰基的聚合性單體，例如列舉出：二丙酮丙烯酰胺等丙 烯酰胺、（甲基）丙烯酸烷酯、（甲基）丙烯酸四氫糠基酯、（甲基）丙烯酸二甲氨基乙基酯、 (甲基）丙烯酸二乙氨基乙基酯、（甲基）丙烯酸縮水甘油酯、（甲基）丙烯酸-2, 2, 2-三氟 乙基酯、（甲基）丙烯酸-2, 2, 3, 3-四氟丙基酯、（甲基）丙烯酸、α -溴（甲基）丙烯酸、 α -氯（甲基）丙烯酸、β -呋喃基（甲基）丙烯酸、β -苯乙烯基（甲基）丙烯酸等。
[0048] 另外，就上述丙烯酸樹(shù)脂而言，除了上述那樣的具有（甲基）丙烯酰基的聚合性單 體之外，還可共聚以下聚合性單體中的1種或2種以上的聚合性單體：苯乙烯、乙烯基甲苯、 α-甲基苯乙烯等在α-位或芳香族環(huán)中被取代的可聚合的苯乙烯衍生物，丙烯腈、乙烯基 正丁基醚等乙烯醇的酯類(lèi)，馬來(lái)酸、馬來(lái)酸酐、馬來(lái)酸單甲酯、馬來(lái)酸單乙酯、馬來(lái)酸單異丙 酯等馬來(lái)酸單酯，富馬酸，肉桂酸，α -氰基肉桂酸，衣康酸，巴豆酸等。
[0049] 作為上述（甲基）丙烯酸烷酯，例如列舉出：由下述通式（1)表示的化合物、在這 些化合物的烷基上取代有羥基、環(huán)氧基、齒基等的化合物。
[0050] CH2 = C (R1) -C00R2 (1)
[0051] 此處，R1表示氫原子或甲基，R2表示碳原子數(shù)1?12的烷基。作為上述碳原子數(shù) 1?12的燒基，例如列舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、半基、壬基、癸基、十一 烷基、十二烷基以及它們的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體。
[0052] 作為由上述通式（1)表示的化合物，例如列舉出（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙 烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸 己酯、（甲基）丙烯酸庚酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己基酯、（甲基） 丙烯酸壬酯、（甲基）丙烯酸癸酯、（甲基）丙烯酸十一烷酯、（甲基）丙烯酸十二烷酯。它 們可以以單獨(dú)1種或組合2種以上來(lái)使用。
[0053] 另外，就（a)粘合劑聚合物而言，從使堿顯影性更良好的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選具有羧 基。作為具有羧基的聚合性單體，可舉出上述那樣的（甲基）丙烯酸。
[0054] 就粘合劑聚合物所具有的羧基的比率而言，從實(shí)現(xiàn)堿顯影性和堿耐受性的平衡的 觀點(diǎn)考慮，具有羧基的聚合性單體相對(duì)于所使用的全部聚合性單體的比例，優(yōu)選為12? 50質(zhì)量％，更優(yōu)選為12?40質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15?30質(zhì)量％，極其優(yōu)選為15?25質(zhì) 量％。如果該具有羧基的聚合性單體的比例不足12質(zhì)量％則存在堿顯影性差的傾向，如果 超過(guò)50質(zhì)量％則存在堿耐受性差的傾向。
[0055] 就粘合劑聚合物的重均分子量而言，從實(shí)現(xiàn)機(jī)械強(qiáng)度以及堿顯影性的平衡的觀點(diǎn) 考慮,優(yōu)選為5000?300000,更優(yōu)選為20000?150000,特別優(yōu)選為30000?100000。就 重均分子量而言，如果不足5000則存在耐顯影液性降低的傾向，如果超過(guò)300000則存在顯 影時(shí)間變長(zhǎng)的傾向。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明中的重均分子量為：通過(guò)凝膠滲透色譜法（GPC) 來(lái)測(cè)定的、根據(jù)使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯制成的標(biāo)準(zhǔn)曲線而換算出的值。
[0056] 這些粘合劑聚合物可單獨(dú)使用1種或者組合2種以上來(lái)使用。在將2種以上組合 而使用情況下的粘合劑聚合物，例如列舉出：包含不同的共聚成分的2種以上的粘合劑聚 合物、不同的重均分子量的2種以上的粘合劑聚合物、不同的分散度的2種以上的粘合劑聚 合物。
[0057] 接著，對(duì)（b)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物進(jìn)行說(shuō)明。
[0058] 作為具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，優(yōu)選具有乙烯性不飽和鍵的光聚合 性化合物。作為具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，例如列舉出：通過(guò)使α，β-不飽 和羧酸與多元醇進(jìn)行反應(yīng)從而獲得的化合物，2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基聚乙氧基） 苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基聚丙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲 基）丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基）苯基）丙烷等雙酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物，通 過(guò)使α，β-不飽和羧酸與含縮水甘油基的化合物進(jìn)行反應(yīng)而獲得的化合物，具有尿烷鍵 的（甲基）丙烯酸酯化合物等氨基甲酸酯單體，Υ -氯-β -羥丙基-β ' -(甲基）丙烯酰 氧基乙基鄰苯二甲酸酯，β-羥乙基-β'_(甲基）丙烯酰氧基乙基鄰苯二甲酸酯，β-羥 丙基-β (甲基）丙烯酰氧基乙基鄰苯二甲酸酯，（甲基）丙烯酸烷酯等。它們可單獨(dú)使 用或組合2種以上來(lái)使用。
[0059] 作為上述2, 2-雙（4_((甲基）丙烯酰氧基聚乙氧基）苯基）丙烷，例如列舉出： 2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基二乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基 三乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基四乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙 (4_((甲基）丙烯酰氧基五乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基六乙氧 基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基七乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲 基）丙烯酰氧基八乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基九乙氧基）苯基） 丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基十乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯 酰氧基十一乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基十二乙氧基）苯基）丙 烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基十三乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯 酰氧基十四乙氧基）苯基）丙烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基十五乙氧基）苯基）丙 烷、2, 2-雙（4-((甲基）丙烯酰氧基十六乙氧基）苯基）丙烷。在它們之中，就2, 2-雙 (4_(甲基丙烯酰氧基五乙氧基）苯基）丙烷而言，可在商業(yè)上獲取"ΒΡΕ-500"（新中村化 學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，商品名），就2, 2-雙（4-(甲基丙烯酰氧基十五乙氧基）苯基）丙烷而 言，可在商業(yè)上獲取"ΒΡΕ-1300"（新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，商品名）。它們可單獨(dú)使用 或組合2種以上來(lái)使用。
[0060] 作為上述通過(guò)使α，β -不飽和羧酸與多元醇進(jìn)行反應(yīng)從而獲得的化合物，例如 列舉出：亞乙基的數(shù)量為2?14的聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、亞丙基的數(shù)量為2?14 的聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、亞乙基的數(shù)量為2?14并且亞丙基的數(shù)量為2?14的 聚乙二醇聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷 三（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷乙氧基三（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二乙氧基三 (甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三乙氧基三（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷四乙氧基三 (甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷五乙氧基三（甲基）丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三（甲基） 丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四（甲基）丙烯酸酯、亞丙基的數(shù)量為2?14的聚丙二醇二（甲 基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯。
[0061] 作為上述氨基甲酸酯單體，例如列舉出：在β位具有羥基的（甲基）丙烯酸單體 與異佛爾酮二異氰酸酯、2, 6-甲苯二異氰酸酯、2, 4-甲苯二異氰酸酯、1，6-六亞甲基二異 氰酸酯等二異氰酸酯化合物的加成反應(yīng)物，三[(甲基）丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸根合] 六亞甲基異氰脲酸酯，Ε0改性氨基甲酸酯二（甲基）丙烯酸酯，Ε0、Ρ0改性氨基甲酸酯二 (甲基）丙烯酸酯等。需要說(shuō)明的是，"Ε0"表示環(huán)氧乙烷，Ε0改性了的化合物具有環(huán)氧乙烷 基的嵌段結(jié)構(gòu)（block structure)。另外，"Ρ0"表示環(huán)氧丙燒，Ρ0改性了的化合物具有環(huán) 氧丙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)。作為E0改性聚氨酯二（甲基）丙烯酸酯，例如可舉出"UA-11"（新 中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，商品名）。另外，作為Ε0、Ρ0改性氨基甲酸酯二（甲基）丙烯酸 酯，例如可舉出"UA-13"（新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，商品名）。
[0062] 光聚合性化合物的含有比例，相對(duì)于粘合劑聚合物以及光聚合性化合物的總量 100質(zhì)量份，優(yōu)選為30?80質(zhì)量份，更優(yōu)選為40?70質(zhì)量份。如果該含有比例不足30質(zhì) 量份，則存在光固化變得不充分、轉(zhuǎn)印了的導(dǎo)電膜（導(dǎo)電層及感光性樹(shù)脂層）的涂膜性變得 不充分的傾向，如果超過(guò)80質(zhì)量份則作為膜來(lái)卷取的情況下，存在難以保管的傾向。
[0063] 接著對(duì)（c)光聚合引發(fā)劑進(jìn)行說(shuō)明。
[0064] 作為光聚合引發(fā)劑，例如列舉出：二苯甲酮、Ν，Ν'-四甲基-4, 4'-二氨基二苯甲酮 (米蚩酮（1/1;[(311161''8 1^1:0116))、11^'-四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二 甲氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉基苯基）-丁酮-1，2-甲基-1-[4-(甲 硫基）苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮，2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基 蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2, 3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2, 3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽 醌、1，4-萘醌、9, 10-菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2, 3-二甲基蒽醌等醌類(lèi)，苯偶姻甲醚、苯偶 姻乙醚、苯偶姻苯醚等苯偶姻醚化合物，苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物， 1，2_辛烷二酮-1-[4-(苯基硫代）苯基]-2-(0-苯甲?；浚?_[9-乙基-6-(2-甲基苯 甲?；?9H-咔唑-3-基]乙酮1-(0-乙?；浚┑入旷セ衔?，苯偶酰二甲基縮酮等苯 偶酰衍生物，2-(鄰氯苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基）-4, 5-二（甲氧基苯 基）咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基）-4, 5-二苯 基咪唑二聚物、2-(對(duì)甲氧基苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚物等2, 4, 5-三芳基咪唑二聚物， 9-苯基吖啶、1，7-雙（9, 9' -吖啶基）庚烷等吖啶衍生物，N-苯基甘氨酸，N-苯基甘氨酸 衍生物，香豆素系化合物，噁唑系化合物。另外，2個(gè)2, 4, 5-三芳基咪唑的芳基取代基可以 相同從而產(chǎn)生對(duì)稱(chēng)的化合物，也可為不同從而產(chǎn)生不對(duì)稱(chēng)的化合物。另外，如二乙基噻噸 酮與二甲氨基苯甲酸的組合那樣，可組合噻噸酮系化合物和叔胺化合物。其中，從透明性的 觀點(diǎn)來(lái)看，更優(yōu)選2-芐基-2-二甲氨基-1- (4-嗎啉基苯基）-丁酮-1等芳香族酮化合物、 1，2_辛烷二酮-1-[4-(苯基硫代）苯基]-2-(0-苯甲?；浚┑入旷セ衔?。它們單獨(dú)使 用或組合2種以上來(lái)使用。
[0065] 光聚合引發(fā)劑的含有比例，相對(duì)于粘合劑聚合物以及光聚合性化合物的總量100 質(zhì)量份，優(yōu)選為0. 1?20質(zhì)量份，更優(yōu)選為1?10質(zhì)量份，特別優(yōu)選為1?5質(zhì)量份。如 果該含有比例不足0. 1質(zhì)量份，則存在光感度變得不充分的傾向；如果超過(guò)20質(zhì)量份，則存 在在曝光之時(shí)感光性樹(shù)脂層的表面處的吸收增大從而內(nèi)部的光固化變得不充分的傾向。 [0066] 在感光性樹(shù)脂層3中，可根據(jù)需要，單獨(dú)地含有或組合2種以上含有以下物質(zhì)：對(duì) 甲苯磺酰胺等增塑劑、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、流平劑、剝離促進(jìn) 齊?、抗氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等添加劑。就這些添加劑的添加量而言，相對(duì)于粘合 劑聚合物以及光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份，各自優(yōu)選為〇. 01?20質(zhì)量份。
[0067] 就感光性樹(shù)脂層3而言，可通過(guò)在形成有導(dǎo)電層2的支撐膜1上，涂布如下溶液 干燥從而形成，所述溶液為：根據(jù)需要，溶解于甲醇、乙醇、丙酮、甲基乙基酮、甲基溶纖劑 (methyl cellosolve)、乙基溶纖劑（ethyl cellosolve)、甲苯、Ν，Ν_二甲基甲醜胺、丙二醇 單甲醚等溶劑或它們的混合溶劑且固體成分為10?60質(zhì)量％左右的感光性樹(shù)脂組合物的 溶液。但是，在此情況下，對(duì)于干燥后的感光性樹(shù)脂層中的殘存有機(jī)溶劑量而言，為了防止 在后面的工序中有機(jī)溶劑的擴(kuò)散，優(yōu)選為2質(zhì)量％以下。
[0068] 就涂布而言，例如可通過(guò)輥涂法、逗點(diǎn)涂布法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、 刮棒涂布法、噴霧涂布法等公知方法來(lái)進(jìn)行。涂布之后，用于去除有機(jī)溶劑等的干燥，可通 過(guò)在70?150°C、以5?30分鐘左右、利用熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)等來(lái)進(jìn)行。
[0069] 就感光性樹(shù)脂層3的厚度而言，因用途不同而不同，干燥后的厚度優(yōu)選為1? 200 μ m，更優(yōu)選為1?15 μ m，特別優(yōu)選為1?10 μ m。如果該厚度不足1 μ m，則存在難以涂 布的傾向；如果超過(guò)200 μ m，則存在因光透過(guò)的降低而導(dǎo)致靈敏度變得不充分、轉(zhuǎn)印的感 光性樹(shù)脂層的光固化性降低的傾向。
[0070] 在本實(shí)施方式的感光性導(dǎo)電膜中，就上述導(dǎo)電層2以及上述感光性樹(shù)脂層3的層 疊體而言，兩層的合計(jì)膜厚為1--ο μ m時(shí)，優(yōu)選在450?650nm的波長(zhǎng)域處的最小透光率 為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。在導(dǎo)電層及感光性樹(shù)脂層滿足這樣的條件的情況下，顯 不面板等處的1?輝度化變?nèi)菀住?br> [0071] 就本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜而言，可按照接于感光性樹(shù)脂層3的、與支撐膜1側(cè)為相 反側(cè)的面的方式，層疊保護(hù)膜。
[0072] 作為保護(hù)膜，可使用例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜等具有耐 熱性和耐溶劑性的聚合物膜。另外，作為保護(hù)膜，可使用與上述的支撐體膜同樣的聚合物 膜。
[0073] 為了容易將保護(hù)膜從感光性樹(shù)脂層剝離，優(yōu)選保護(hù)膜與感光性樹(shù)脂層之間的粘接 力比導(dǎo)電層2及感光性樹(shù)脂層3與支撐膜1之間的粘接力小。
[0074] 另外，就保護(hù)膜而言，優(yōu)選保護(hù)膜中包含的直徑80μπι以上的魚(yú)眼（fisheye)數(shù)為5 個(gè)/m2以下。需要說(shuō)明的是，"魚(yú)眼"是指：在通過(guò)對(duì)材料進(jìn)行熱熔融、混煉、擠出、2軸拉伸、 鑄塑（casting)法等而制造膜時(shí)，材料的異物、未溶解物、氧化劣化物等進(jìn)入膜中而成的東 西。
[0075] 保護(hù)膜的厚度優(yōu)選為1?100 μ m，更優(yōu)選為5?50 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為5?30 μ m， 特別優(yōu)選為15?30 μ m。如果保護(hù)膜的厚度不足1 μ m，則存在在層壓時(shí)保護(hù)膜易于破裂的 傾向，如果超過(guò)100 μ m則存在價(jià)格變高的傾向。
[0076] 就感光性導(dǎo)電膜而言，也可在支撐膜上進(jìn)一步具有粘接層、氣體阻擋層等層。
[0077] 就感光性導(dǎo)電膜而言，例如，可以以原樣的平板狀的形態(tài)來(lái)貯藏，或可以卷繞在圓 筒狀等的卷芯上而以卷狀的形態(tài)來(lái)貯藏。需要說(shuō)明的是，此時(shí)，優(yōu)選按照支撐膜在最外側(cè)的 方式卷繞。
[0078] 另外，在感光性導(dǎo)電膜不具有保護(hù)膜的情況下，相關(guān)的感光性導(dǎo)電膜，可以以原樣 的平板狀的形態(tài)來(lái)貯藏。
[0079] 作為卷芯，只要是以往使用的卷芯，則沒(méi)有特別限定，例如列舉出，聚乙烯樹(shù)脂、聚 丙烯樹(shù)脂、聚苯乙烯樹(shù)脂、聚氯乙烯樹(shù)脂、ABS樹(shù)脂（丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物）等塑 料。另外，從端面保護(hù)的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選在卷繞成卷狀的感光性導(dǎo)電膜的端面，設(shè)置端面隔 板，此外，從耐邊緣融接（anti-edge fusion)的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選設(shè)置防濕端面隔板。另外， 在捆包感光性導(dǎo)電膜時(shí)，優(yōu)選通過(guò)包入于透濕性小的黑薄板而包裝。
[0080] 〈導(dǎo)電膜的形成方法〉
[0081] 本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法具備：按照感光性樹(shù)脂層密合于基板上的方式將本發(fā) 明的感光性導(dǎo)電膜進(jìn)行層壓的層壓工序；對(duì)基板上的感光性樹(shù)脂層照射活性光線的曝光工 序。感光性導(dǎo)電膜具有保護(hù)膜的情況下，將剝離了保護(hù)膜的感光性導(dǎo)電膜從感光性樹(shù)脂層 側(cè)層壓于基板上。通過(guò)層壓工序，在基板上順次地層疊感光性樹(shù)脂層、導(dǎo)電層以及支撐膜。 [0082] 作為基板，例如列舉出玻璃基板、聚碳酸酯等塑料基板等。就基板而言，優(yōu)選在 450?650nm的波長(zhǎng)域處的最小透光率為80%以上的基板。
[0083] 就層壓工序而言，通過(guò)例如如下方法而進(jìn)行：將感光性導(dǎo)電膜，在具有保護(hù)膜的情 況下去除了保護(hù)膜之后，一邊加熱一邊將感光性樹(shù)脂層側(cè)壓接于基板而層疊。需要說(shuō)明的 是，就該操作而言，從密合性以及追隨性的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選在減壓下層疊。就感光性導(dǎo)電膜 的層疊而言，優(yōu)選將感光性樹(shù)脂層和/或基板加熱至70?130°C，壓接壓力優(yōu)選為0. 1? l.OMPa左右（1?lOkgf/cm2左右），但對(duì)這些條件沒(méi)有特別限制。另外，如果如上述那樣 將感光性樹(shù)脂層加熱至70?130°C，則不需要預(yù)先對(duì)基板進(jìn)行預(yù)熱處理，但是也可為了進(jìn) 一步提高層疊性而進(jìn)行基板的預(yù)熱處理。
[0084] 就曝光工序而言，通過(guò)照射活性光線而使感光性樹(shù)脂層固化，在該固化物作用下 導(dǎo)電層被固定，從而基板上形成導(dǎo)電膜。作為活性光線的光源，可使用公知的光源，例如碳 弧燈、水銀蒸氣弧燈、超高壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈等有效地放射紫外線、可見(jiàn)光等的光 源。另外，也可使用Ar離子激光器、半導(dǎo)體激光器等有效地放射紫外線、可見(jiàn)光等的光源。 進(jìn)一步也可使用，攝影用泛光電燈泡（flood light bulb)、太陽(yáng)能燈（solar lamp)等有效 地放射可見(jiàn)光的燈。
[0085] 導(dǎo)電層上的支撐膜相對(duì)于活性光線為透明的情況下，可穿過(guò)支撐膜而照射活性光 線；支撐膜為遮光性的情況下，在去除支撐膜之后對(duì)感光性樹(shù)脂層照射活性光線。
[0086] 另外，基板相對(duì)于活性光線為透明的情況下，雖然可從基板側(cè)穿過(guò)基板而照射活 性光線，但是從分辨率的方面考慮，優(yōu)選從導(dǎo)電層側(cè)對(duì)導(dǎo)電層及感光性樹(shù)脂層照射活性光 線。
[0087] 經(jīng)過(guò)上述的工序，從而可獲得在基板上具備導(dǎo)電膜的導(dǎo)電膜基板。對(duì)于本實(shí)施方 式的導(dǎo)電膜的形成方法而言，也可將所形成的導(dǎo)電膜，在剝離支撐膜之后，根據(jù)需要而進(jìn)行 60?250°C左右的加熱或0. 2?10J/cm2左右的曝光，從而進(jìn)一步固化。
[0088] 如此地，根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法，可容易地在玻璃、塑料等基板上形成透 明的導(dǎo)電膜。
[0089]〈導(dǎo)電圖形的形成方法〉
[0090] 接著，一邊參照附圖，一邊對(duì)本發(fā)明的導(dǎo)電圖形的形成方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0091] 本實(shí)施方式中的導(dǎo)電圖形的形成方法具備如下工序：按照感光性樹(shù)脂層3密合于 基板20上的方式將上述的感光性導(dǎo)電膜10層壓的工序（圖2的（a));對(duì)基板20上的感 光性樹(shù)脂層3的規(guī)定部分照射活性光線的曝光工序（圖2的（b));通過(guò)將曝光了的感光性 樹(shù)脂層3顯影而形成導(dǎo)電圖形的顯影工序。經(jīng)過(guò)這些工序，從而可獲得在基板20上具備所 成圖的導(dǎo)電膜（導(dǎo)電圖形）2a的導(dǎo)電膜基板40(圖2的（c))。
[0092] 層壓工序通過(guò)例如如下方法而進(jìn)行：將感光性導(dǎo)電膜，在具有保護(hù)膜的情況下在 去除保護(hù)膜之后，一邊加熱一邊將感光性樹(shù)脂層側(cè)壓接于基板從而層疊的方法。需要說(shuō)明 的是，就該操作而言，從密合性以及追隨性的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選在減壓下層疊。感光性導(dǎo)電膜 的層疊優(yōu)選將感光性樹(shù)脂層和/或基板加熱至70?130°C，壓接壓力優(yōu)選為0. 1?1. OMPa 左右（1?lOkgf/cm2左右），但對(duì)這些條件沒(méi)有特別限制。另外，如果如上述那樣將感光性 樹(shù)脂層加熱至70?130°C，則不需要預(yù)先對(duì)基板進(jìn)行預(yù)熱處理，但是也可為了進(jìn)一步提高 層疊性而進(jìn)行基板的預(yù)熱處理。
[0093] 作為曝光工序中的曝光方法，可舉出穿過(guò)被稱(chēng)作原圖（artwork)的負(fù)或正掩模圖 形而圖像狀地照射活性光線的方法（掩模曝光法）。作為活性光線的光源，可使用公知的光 源，例如，碳弧燈、水銀蒸氣弧燈、超高壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈等有效地放射紫外線、可 見(jiàn)光的光源。另外，也可使用Ar離子激光器、半導(dǎo)體激光器等有效地放射紫外線、可見(jiàn)光等 的光源。進(jìn)一步也可使用攝影用泛光電燈泡、太陽(yáng)能燈等有效地放射可見(jiàn)光的燈。另外也 可采用通過(guò)使用激光曝光法等的直接描繪法從而圖像狀地照射活性光線的方法。
[0094] 導(dǎo)電層上的支撐膜相對(duì)于活性光線為透明的情況下，可穿過(guò)支撐膜而照射活性光 線；支撐膜為遮光性的情況下，在去除支撐膜之后對(duì)感光性樹(shù)脂層照射活性光線。
[0095] 另外，在基板相對(duì)于活性光線為透明的情況下，可從基板側(cè)穿過(guò)基板而照射活性 光線，但是從分辨率的方面考慮，優(yōu)選從導(dǎo)電層側(cè)對(duì)導(dǎo)電層及感光性樹(shù)脂層照射活性光線。 [0096] 本實(shí)施方式的顯影工序中，去除感光性樹(shù)脂層的除了曝光部以外的部分。具體而 言，在導(dǎo)電層上存在有透明的支撐膜的情況下，首先去除支撐膜，其后，通過(guò)濕法顯影而去 除感光性樹(shù)脂層的除了曝光部以外的部分。由此，具有規(guī)定的圖形的樹(shù)脂固化層3a上殘留 下含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2a，形成導(dǎo)電圖形。
[0097] 就濕法顯影而言，例如，使用堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑系顯影液等對(duì)應(yīng) 于感光性樹(shù)脂的顯影液，通過(guò)噴霧、搖動(dòng)浸漬、刷涂（brushing)、刮涂（scrapping)等公知 方法來(lái)進(jìn)行。
[0098] 作為顯影液，使用堿性水溶液等安全且穩(wěn)定、操作性良好的溶液。作為上述堿性水 溶液的堿，例如可使用鋰、鈉或鉀的氫氧化物等氫氧化堿，鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫 鹽等碳酸堿，磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽，焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽等。
[0099] 另外,作為用于顯影的堿性水溶液，優(yōu)選：0. 1?5質(zhì)量％碳酸鈉水溶液、0. 1?5 質(zhì)量％碳酸鉀水溶液、〇. 1?5質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液、0. 1?5質(zhì)量％四硼酸鈉水溶液等。 另外，優(yōu)選將用于顯影的堿性水溶液的pH為9?11的范圍；就其溫度而言，按照感光性樹(shù) 脂層的顯影性來(lái)調(diào)節(jié)。另外，堿性水溶液中，也可混合表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的 少量的有機(jī)溶劑等。
[0100] 另外,可使用包含水或堿水溶液和一種以上的有機(jī)溶劑的水系顯影液。此處，作為 包含于堿水溶液的堿，除了上述的堿以外，例如列舉出硼砂、偏硅酸鈉、四甲基氫氧化銨、乙 醇胺、乙二胺、二乙烯二胺、2-氨基_2_輕基甲基-1，3-丙二醇、1，3-二氨基丙醇_2_嗎啉。 作為有機(jī)溶劑，例如列舉出3-丙酮醇、丙酮、乙酸乙酯、具有碳原子數(shù)1?4的烷氧基的烷 氧基乙醇、乙醇、異丙醇、丁醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚。它們單 獨(dú)使用1種或組合2種以上來(lái)使用。
[0101] 就水系顯影液而言，優(yōu)選將有機(jī)溶劑的濃度制成2?90質(zhì)量％ ;其溫度可根據(jù)顯 影性來(lái)調(diào)整。進(jìn)一步，就水系顯影液的pH而言，優(yōu)選在可充分地進(jìn)行抗蝕層的顯影的范圍 盡量減小，優(yōu)選為PH8?12,更優(yōu)選為pH9?10。另外，可在水系顯影液中，少量添加表面 活性劑、消泡劑等。
[0102] 作為有機(jī)溶劑系顯影液，例如列舉出1，1，1-三氯乙烷、N-甲基吡咯烷酮、N，N_二 甲基甲酰胺、環(huán)己酮、甲基異丁基酮、丁內(nèi)酯等。就這些有機(jī)溶劑而言，為了防止引燃， 優(yōu)選在1?20質(zhì)量％的范圍添加水。
[0103] 上述的顯影液，也可根據(jù)需要合用2種以上。
[0104] 作為顯影的方式，例如列舉出，浸漬方式、攪動(dòng)（battle)方式、噴霧方式、刷涂、拍 擊（slapping)等。它們之中，從分辨率提高的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用高壓噴霧方式。
[0105] 對(duì)于本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖形的形成方法而言，也可在顯影之后根據(jù)需要，通過(guò)進(jìn) 行60?250°C左右的加熱或0. 2?10J/cm2左右的曝光，從而進(jìn)一步固化導(dǎo)電圖形。
[0106] 如此地，根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖形的形成方法，可以不像ΙΤ0等無(wú)機(jī)膜那樣形成抗 蝕刻層，容易地在玻璃、塑料等基板上形成透明的導(dǎo)電圖形。
[0107] 本發(fā)明的導(dǎo)電膜基板通過(guò)上述的導(dǎo)電膜的形成方法、導(dǎo)電圖形的形成方法而 獲得，從可有效地用作透明電極的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選導(dǎo)電膜或?qū)щ妶D形的表面電阻率為 2000 Ω / □以下，更優(yōu)選為1000 Ω / □以下，特別優(yōu)選為500 Ω / □以下。就表面電阻率而 言，例如，可通過(guò)導(dǎo)電性纖維分散液的濃度或涂布量來(lái)調(diào)整。
[0108] 另外，就本發(fā)明的導(dǎo)電膜基板而言，優(yōu)選在450?650nm的波長(zhǎng)域處的最小透光率 為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。
[0109] 實(shí)施例
[0110] 以下，基于實(shí)施例來(lái)具體說(shuō)明本發(fā)明，然而本發(fā)明不受其限定。
[0111] 〈導(dǎo)電性纖維分散液的制備〉
[0112] (導(dǎo)電性纖維分散液1 (碳納米管分散液））
[0113] 按照成為0. 4質(zhì)量％的濃度的方式將Unidym公司的Hipco單層碳納米管的高純 度品、以及按照成為〇. 1質(zhì)量％的濃度的方式將作為表面活性劑的十二烷基五乙二醇分散 于純水，獲得了導(dǎo)電性纖維分散液1。
[0114] (導(dǎo)電性纖維分散液2 (銀纖維分散液））
[0115] [基于多元醇法而進(jìn)行的銀纖維的制備]
[0116] 向2000ml的3 口燒瓶中加入乙二醇500ml，氮環(huán)境下，一邊利用磁力攪拌機(jī)攪拌 一邊通過(guò)油浴加熱至160°C。此處，滴加了另行準(zhǔn)備的通過(guò)將PtCl 2 2mg溶解于50ml的乙 二醇而成的溶液。4?5分鐘之后，以1分鐘從各個(gè)滴液漏斗滴加將AgN03 5g溶解于乙二 醇300ml而成的溶液、將重均分子量為4萬(wàn)的聚乙烯吡咯烷酮（和光純藥（株）制）5g溶 解于乙二醇150ml而成的溶液，其后在160°C攪拌60分鐘。
[0117] 放置上述反應(yīng)溶液直至其成為30°C以下，然后用丙酮稀釋至10倍，利用離心分離 機(jī)以2000轉(zhuǎn)進(jìn)行20分鐘離心分離，傾析上清液。向沉淀物加入丙酮并攪拌，然后在與前述 同樣的條件下離心分離，傾析丙酮。其后，使用蒸餾水而同樣地進(jìn)行2次離心分離，獲得了 銀纖維。通過(guò)光學(xué)顯微鏡而觀察所獲得的銀纖維，結(jié)果，纖維直徑（直徑）為約5nm，纖維長(zhǎng) 度為約5 μ m。
[0118] [銀纖維分散液的制備]
[0119] 按照成為0.2質(zhì)量％的濃度的方式將通過(guò)上述而獲得的銀纖維，以及按照成為 〇. 1質(zhì)量％的濃度的方式將十二烷基五乙二醇分散于純水，獲得了導(dǎo)電性纖維分散液2。
[0120] 〈感光性樹(shù)脂組合物的溶液的制備〉
[0121] 〈丙烯酸樹(shù)脂的合成〉
[0122] 向具備有攪拌機(jī)、回流冷凝器、溫度計(jì)、滴液漏斗以及氮?dú)鈱?dǎo)入管的燒瓶中，力口 入甲基溶纖劑與甲苯的混合液（甲基溶纖劑/甲苯=3/2(質(zhì)量比），以下，稱(chēng)為"溶液 s"）400g，一邊吹入氮?dú)庖贿厰嚢瑁訜嶂?0°C。另一方面，準(zhǔn)備了混合有作為單體的甲基 丙烯酸l〇〇g、甲基丙烯酸甲酯250g、丙烯酸乙酯100g以及苯乙烯50g與偶氮二異丁腈0. 8g 的溶液（以下，稱(chēng)為"溶液a"）。接著，經(jīng)過(guò)4小時(shí)將溶液a滴加到加熱至80°C的溶液s之 后，一邊在80 C攬祥一邊保溫2小時(shí)。進(jìn)一步，將在100g的溶液s中溶解有偶?xì)鈅異丁臆 1. 2g而成的溶液，花費(fèi)10分鐘而滴加于燒瓶?jī)?nèi)。然后，一邊攪拌滴加后的溶液一邊在80°C 保溫3小時(shí)之后，花費(fèi)30分鐘而加熱至90°C。在90°C保溫2小時(shí)之后，冷卻從而獲得了粘 合劑聚合物溶液。向該粘合劑聚合物溶液中加入丙酮，按照不揮發(fā)成分（固體成分）為50 質(zhì)量％的方式來(lái)制備，獲得了作為（a)成分的粘合劑聚合物溶液。所獲得的粘合劑聚合物 的重均分子量為80000。將其作為丙烯酸聚合物A。
[0123] 按照表1所示的配合量（單位：質(zhì)量份）來(lái)配合同表所示的材料，制備了感光性樹(shù) 脂組合物的溶液。
[0124] 表 1
[0125]

【權(quán)利要求】
1. 一種感光性導(dǎo)電膜，其特征在于，具備：支撐膜；設(shè)置于該支撐膜上并含有導(dǎo)電性纖 維的導(dǎo)電層；設(shè)置于該導(dǎo)電層上的感光性樹(shù)脂層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性導(dǎo)電膜，其特征在于，所述導(dǎo)電層及所述感光性樹(shù)脂 層的層疊體，在兩層的合計(jì)膜厚為1?10 μ m時(shí)在450?650nm的波長(zhǎng)域處的最小透光率 為80%以上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性導(dǎo)電膜，其特征在于，所述導(dǎo)電性纖維為銀纖維。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的感光性導(dǎo)電膜，其特征在于，所述感光性樹(shù)脂層 含有粘合劑聚合物、具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物以及光聚合引發(fā)劑。
5. -種導(dǎo)電膜的形成方法，其特征在于，具備如下工序： 將權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的感光性導(dǎo)電膜按照所述感光性樹(shù)脂層密合于基板上 的方式進(jìn)行層壓的層壓工序； 對(duì)所述基板上的所述感光性樹(shù)脂層照射活性光線的曝光工序。
6. -種導(dǎo)電圖形的形成方法，其特征在于，具備如下工序： 將權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的感光性導(dǎo)電膜按照所述感光性樹(shù)脂層密合于基板上 的方式進(jìn)行層壓的工序； 對(duì)所述基板上的所述感光性樹(shù)脂層的規(guī)定部分照射活性光線的曝光工序； 通過(guò)將曝光過(guò)的所述感光性樹(shù)脂層顯影而形成導(dǎo)電圖形的顯影工序。
7. -種導(dǎo)電膜基板，其特征在于，具備：基板；通過(guò)權(quán)利要求5所述的導(dǎo)電膜的形成方 法在該基板上形成的導(dǎo)電膜。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的導(dǎo)電膜基板，其特征在于，所述導(dǎo)電膜的表面電阻率為 2000 Ω / □以下。
9. 一種導(dǎo)電膜基板，其特征在于，具備：基板；通過(guò)權(quán)利要求6所述的導(dǎo)電圖形的形成 方法在該基板上形成的導(dǎo)電圖形。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電膜基板，其特征在于，所述導(dǎo)電圖形的表面電阻率為 2000 Ω / □以下。
【文檔編號(hào)】H01B5/14GK104282360SQ201410519874
【公開(kāi)日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2009年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2008年8月22日
【發(fā)明者】山崎宏 申請(qǐng)人:日立化成株式會(huì)社