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      一種硅表面金屬化方法與流程

      文檔序號:11100857閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明涉及一種硅表面金屬化方法,在硅基板上均勻涂覆金屬粉末,然后激光掃描燒結(jié),硅基板表面完全金屬化,形成硅覆金屬板。本發(fā)明的硅基板與金屬導電層之間不含有玻璃相和陶瓷相,從而保證了硅基板的導熱性;同時,本發(fā)明為局部加熱,因此工件整體其他部分處于常溫狀態(tài),不影響破壞其他部分的功能;工藝簡單,成本低。

      技術(shù)研發(fā)人員:孫旭東;惠宇;畢孝國;劉旭東
      受保護的技術(shù)使用者:大連大學
      文檔號碼:201710046807
      技術(shù)研發(fā)日:2017.01.22
      技術(shù)公布日:2017.05.10

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