像素界定層及制備方法、顯示基板及制備方法、顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種像素界定層及制備方法、顯示基板及制備方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，研宄人員開始嘗試把噴墨打印技術(shù)應(yīng)用于平面功能材料的制備中，如制備有機電致發(fā)光二極管顯示器的有機材料功能層、液晶顯示器的彩色濾光層等。
[0003]以有機電致發(fā)光二極管顯示器(OLED)為例，如圖1和圖2所示，該有機電致發(fā)光二極管包括像素區(qū)域01和非像素區(qū)域02，像素區(qū)域01由多個像素10構(gòu)成，其中，每個像素10包括依次設(shè)置在基板100上的陽極、有機材料功能層和陰極(圖1和圖2中均未標(biāo)識出)。其中，在利用噴墨打印的方式在所述陽極上形成所述有機材料功能層時，由于墨水的流動性，為了減少噴墨打印的墨水溢到相鄰像素10中，一般在非像素區(qū)域02設(shè)置像素界定層20，用以形成多個包圍每個像素10的空間，噴墨打印的有機材料功能層墨水通過噴墨打印的方式噴涂在上述包圍空間內(nèi)，即噴涂在所述陽極表面。
[0004]其中，像素界定層20由形成在基板100上的像素界定層基本圖案構(gòu)成。為了實現(xiàn)像素界定層20疏液的目的，目前最常規(guī)的疏液處理方法即為對上述像素界定層基本圖案進行含氟等離子處理，然而由于等離子的特性，其性能保持的時間一般不會太長，這樣在面對較長時間的制程工藝或者較高溫度的退火工藝時，就可能會出現(xiàn)失效的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的實施例提供一種像素界定層及制備方法、顯示基板及制備方法、顯示裝置，可使像素界定層的疏液性能長久保持。
[0006]為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]第一方面，提供一種像素界定層的制備方法，包括:在基板上形成像素界定層基本圖案；所述像素界定層基本圖案包括無機材料的第一圖案，且所述第一圖案位于所述像素界定層基本圖案的最上方；對所述第一圖案進行自組裝單分子層表面處理，在所述第一圖案表面形成氟代單分子層，形成所述像素界定層。
[0008]優(yōu)選的，所述對所述第一圖案進行自組裝單分子層表面處理，包括:在所述像素界定層基本圖案之間形成感光型有機樹脂層，所述感光型有機樹脂層露出所述第一圖案；對露出的所述第一圖案進行自組裝單分子層表面處理；在所述第一圖案表面形成氟代單分子層后，所述方法還包括:去除所述感光型有機樹脂層。
[0009]基于此，一種可能實現(xiàn)方式為:所述在基板上形成像素界定層基本圖案，包括:在基板上形成無機材料的第一薄膜；對所述第一薄膜進行構(gòu)圖工藝，形成由所述第一圖案和第二圖案構(gòu)成的所述像素界定層基本圖案。
[0010]進一步的，所述在所述像素界定層基本圖案之間形成感光型有機樹脂層，所述感光型有機樹脂層露出所述第一圖案，包括:在形成有所述像素界定層基本圖案的基板上形成感光型有機樹脂材料的第二薄膜，所述第二薄膜覆蓋所述像素界定層基本圖案；采用等離子體對所述第二薄膜進行刻蝕露出所述第一圖案，使所述像素界定層基本圖案之間的所述第二薄膜形成所述感光型有機樹脂層。
[0011]另一種可能實現(xiàn)方式為:所述在基板上形成像素界定層基本圖案，包括:在基板上形成由所述第一圖案和有機材料的第三圖案構(gòu)成的所述像素界定層基本圖案。
[0012]進一步的，所述在基板上形成由所述第一圖案和有機材料的第三圖案構(gòu)成的所述像素界定層基本圖案，包括:
[0013]在基板上依次形成負(fù)性感光型有機樹脂材料的第三薄膜、無機材料的第四薄膜以及負(fù)性感光型有機樹脂材料的第五薄膜；采用普通掩膜板對形成有所述第三薄膜、所述第四薄膜和所述第五薄膜的基板進行曝光，使所述第三薄膜中被固化的部分形成所述第三圖案，使所述第五薄膜中被固化的部分形成第五圖案，顯影后所述第五薄膜中未被固化的部分被去除；以所述第五圖案為掩膜，對所述第四薄膜進行刻蝕，形成所述第一圖案；其中，所述第三圖案和所述第一圖案構(gòu)成所述像素界定層基本圖案；
[0014]在所述像素界定層基本圖案之間形成感光型有機樹脂層，包括:待所述第五圖案去除后，所述第三薄膜中未被固化的部分形成所述感光型有機樹脂層。
[0015]基于上述，可選的，采用氟代硅烷對所述第一圖案進行自組裝單分子層表面處理；在采用氟代硅烷對所述第一圖案進行自組裝單分子層表面處理之前，所述方法還包括:對所述第一圖案進行羥基化處理。
[0016]第二方面，提供一種像素界定層，包括:像素界定層基本圖案；所述像素界定層基本圖案包括無機材料的第一圖案，且所述第一圖案位于所述像素界定層基本圖案的最上方；還包括:自組裝在所述第一圖案表面的氟代單分子層。
[0017]可選的，所述像素界定層基本圖案包括無機材料的所述第一圖案和無機材料的第二圖案，且所述第一圖案和所述第二圖案一體形成。
[0018]可選的，所述像素界定層基本圖案包括無機材料的所述第一圖案和有機材料的第三圖案。
[0019]進一步的，所述第三圖案的材料為固化后的感光型有機樹脂材料。
[0020]第三方面，提供一種顯示基板，包括第二方面所述的像素界定層。
[0021]第四方面，提供一種顯示基板的制備方法，包括在基板上形成像素界定層，其中，所述像素界定層的制備方法為上述第一方面所述的像素界定層的制備方法。
[0022]第五方面，提供一種顯示裝置，包括上述第三方面所述的顯示基板。
[0023]本發(fā)明實施例提供一種像素界定層及制備方法、顯示基板及制備方法、顯示裝置，像素界定層的制備方法包括:在基板上形成像素界定層基本圖案；所述像素界定層基本圖案包括無機材料的第一圖案，且所述第一圖案位于所述像素界定層基本圖案的最上方；對所述第一圖案進行自組裝單分子層表面處理，在所述第一圖案表面形成氟代單分子層，形成所述像素界定層。由于自組裝的氟代單分子層是基于共價鍵與第一圖案連接的，因而長時間放置、一般的清洗步驟(等離子除外)、退火等工藝并不會影響其疏液性能，因此通過這種方法形成的像素界定層，其疏液性能可以長久的保持，而不擔(dān)心失效的問題。此外，通過自組裝氟代單分子層，其接觸角可達110°以上。
【附圖說明】
[0024]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中提供的一種有機電致發(fā)光二極管顯示器的俯視示意圖；
[0026]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中提供的像素界定層的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3a_3b為本發(fā)明實施例提供的制備像素界定層的過程示意圖一；
[0028]圖4為本發(fā)明實施例提供的氟辛基三氯硅烷與無機材料的第一圖案進行自組裝的原理不意圖；
[0029]圖5a_圖5b為本發(fā)明實施例提供的制備像素界定層的過程示意圖二 ；
[0030]圖6為本發(fā)明實施例提供的形成位于像素界定層基本圖案之間的感光型有機樹脂層的過程示意圖；
[0031]圖7a_7e為本發(fā)明