體導(dǎo)入至軸承地座24的下端處，催動(dòng)該軸承地座24上升，軸承地座24帶動(dòng)滾動(dòng)軸承22上升，滾動(dòng)軸承22帶動(dòng)第二嚙合盤(pán)21相對(duì)于花鍵23做上升運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)與承片臺(tái)上部I進(jìn)行嚙合連接，當(dāng)承片臺(tái)上部I中包含有第一嚙合盤(pán)15時(shí)，該第二嚙合盤(pán)21具體與第一嚙合盤(pán)15嚙合連接。當(dāng)承片臺(tái)系統(tǒng)6的上部與下部嚙合連接之后，即可通過(guò)動(dòng)力裝置實(shí)現(xiàn)下部帶動(dòng)上部整體做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0038]其中，動(dòng)力裝置包括:一聯(lián)軸器27，聯(lián)軸器27下端固定連接有一減速器28，減速器28下端固定有一承片臺(tái)電機(jī)29，花鍵23下端通過(guò)與聯(lián)軸器27上端連接實(shí)現(xiàn)與動(dòng)力裝置固定連接。
[0039]其中，氣體通道26設(shè)置于底座子25底端的側(cè)邊處，氣體通道26沿底座子25的側(cè)邊緣呈L型向上彎折連通至軸承地座24下端處。其中，底座子25上設(shè)置有用于密封氣體通道26的密封圈。底座子25整體為中部有洞的環(huán)形，其通過(guò)該洞套裝于第二嚙合盤(pán)21下端外，底座子25外周側(cè)邊緣上設(shè)置有多個(gè)氣體通道26，通過(guò)該氣體通道26將外部氣控裝置提供的壓縮氣體傳輸至軸承地座24下端處，使其帶動(dòng)第二嚙合盤(pán)21相對(duì)于花鍵23做上升運(yùn)動(dòng)。其中，還可以在底座子25的氣體通道26外安裝氣閥，打開(kāi)氣閥開(kāi)關(guān)，底座子25上的氣體通道26通氣，第二嚙合盤(pán)21上升與承片臺(tái)上部I嚙合，關(guān)閉氣閥開(kāi)關(guān)，第二嚙合盤(pán)21下降到安全位置。其中，第二嚙合盤(pán)21的嚙合面設(shè)置為梯形齒狀。
[0040]更進(jìn)一步地，該承片臺(tái)系統(tǒng)6為可分離式，分成上下兩部分，在實(shí)際操作過(guò)程中，通過(guò)氣控裝置控制其分合，在沒(méi)有嚙合連接時(shí)上部與下部是彼此分離的，兩者可通過(guò)第一嚙合盤(pán)15與第二嚙合盤(pán)21實(shí)現(xiàn)嚙合連接，進(jìn)而將承片臺(tái)上部I及承片臺(tái)下部2連成一個(gè)整體，通過(guò)承片臺(tái)下部2的動(dòng)力裝置帶動(dòng)承片臺(tái)上部I進(jìn)行整體旋轉(zhuǎn)，承片臺(tái)上部I的承片盤(pán)14盛放加工對(duì)象，一般為晶圓體，通過(guò)該承片臺(tái)系統(tǒng)6的旋轉(zhuǎn)對(duì)該晶圓體進(jìn)行加工操作。其中，第一嗤合盤(pán)15及第二嗤合盤(pán)21的嗤合面均設(shè)置為梯形齒狀，保證上下兩部分結(jié)合時(shí)嗤合穩(wěn)定，進(jìn)而也保證了承片臺(tái)系統(tǒng)6在工位上自轉(zhuǎn)時(shí)的定位精度。
[0041]具體地，在當(dāng)該承片臺(tái)系統(tǒng)6安裝在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上后，承片臺(tái)上部I安裝在托盤(pán)4上、承片臺(tái)下部2安裝在固定盤(pán)3上，托盤(pán)4及固定盤(pán)3上都設(shè)有用于安裝承片臺(tái)系統(tǒng)6的孔洞，具體地，承片臺(tái)下部2中的動(dòng)力裝置位于穿過(guò)該孔洞位于該固定盤(pán)3之下，承片臺(tái)下部2中的第二嚙合盤(pán)21等位于底座子25之上的部件位于該固定盤(pán)3之上;承片臺(tái)上部I中的第一嚙合盤(pán)15位于該托盤(pán)4的下方，承片臺(tái)上部I中位于軸座12之上的部件也都位于該托盤(pán)4的上方，其中，第一嚙合盤(pán)15嚙合面朝下，第二嚙合盤(pán)21的嚙合面朝上，以使承片臺(tái)系統(tǒng)6的上下兩部分間實(shí)現(xiàn)嚙合。
[0042]回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置上可安裝多個(gè)承片臺(tái)系統(tǒng)6，具體可為4個(gè)，在承片臺(tái)系統(tǒng)6需要隨回轉(zhuǎn)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，承片臺(tái)系統(tǒng)6的上下兩部分分離，下部分位置保持不變，上部分隨回轉(zhuǎn)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)工位時(shí)，此時(shí)的承片臺(tái)上部I與該當(dāng)前工位上固定不動(dòng)的承片臺(tái)下部2進(jìn)行嚙合形成一個(gè)整體承片臺(tái)系統(tǒng)6，進(jìn)而通過(guò)動(dòng)力裝置在該工位上自旋轉(zhuǎn)，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)承片盤(pán)14上承托的晶圓體的加工，該過(guò)程中，由于承片臺(tái)下部2是固定不動(dòng)的，因此該承片臺(tái)下部2中的動(dòng)力裝置的電纜可固定走線，不會(huì)妨礙工作臺(tái)的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，極大地改善了回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的工作效率，提高工位變換的定位精度，保證磨削質(zhì)量。
[0043]上述回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置通過(guò)設(shè)置一個(gè)可分離式的承片臺(tái)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)承片臺(tái)系統(tǒng)中的動(dòng)力裝置的電纜線不妨礙工作臺(tái)連續(xù)旋轉(zhuǎn)，特別是針對(duì)四工位分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)來(lái)說(shuō)，此時(shí)的工作臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)不需要在連續(xù)旋轉(zhuǎn)三個(gè)工位后反轉(zhuǎn)270°到達(dá)第四個(gè)工位，避免了電纜線拉扯，整個(gè)工作臺(tái)可沿一個(gè)方向持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，單方向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)消除了傳統(tǒng)工作臺(tái)在反轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的反轉(zhuǎn)背隙，有效地提高了裝置的穩(wěn)定性和定位精度，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用、使用方便和結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)的特點(diǎn)。
[0044]進(jìn)一步地，本發(fā)明還公開(kāi)了一種晶圓減薄機(jī)，該晶圓減薄機(jī)包括上述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置。
[0045]盡管已描述了本發(fā)明實(shí)施例的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對(duì)這些實(shí)施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實(shí)施例以及落入本發(fā)明實(shí)施例范圍的所有變更和修改。
[0046]最后，還需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類(lèi)的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者終端設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者終端設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者終端設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0047]以上所述的是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明所述的原理前提下還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，包括: 固定盤(pán)(3)及托盤(pán)(4)，所述固定盤(pán)(3)上固定有一工作臺(tái)主軸(5)，所述托盤(pán)(4)安裝于所述工作臺(tái)主軸(5)上端； 所述回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置還包括承片臺(tái)系統(tǒng)(6)，所述承片臺(tái)系統(tǒng)(6)包括用于承托加工對(duì)象的承片臺(tái)上部(I)，及用于能夠與所述承片臺(tái)上部(I)嚙合以實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)所述承片臺(tái)上部(I)旋轉(zhuǎn)的承片臺(tái)下部(2); 所述承片臺(tái)上部(I)固定安裝于所述托盤(pán)(4)上，所述承片臺(tái)下部(2)固定安裝于所述固定盤(pán)(3)上，所述承片臺(tái)上部(I)與承片臺(tái)下部(2)在所述托盤(pán)(4)及所述固定盤(pán)(3)之間實(shí)現(xiàn)嚙合連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，所述承片臺(tái)上部(I)包括: 承片臺(tái)主軸(11)，所述承片臺(tái)主軸(11)外部設(shè)置有一軸座(12)，所述軸座(12)與所述承片臺(tái)主軸(11)間安裝有軸承，所述軸座(12)下部與一支撐座(13)卡嵌連接，所述承片臺(tái)主軸(11)上端固定連接有一承片盤(pán)(14)，所述承片臺(tái)主軸(11)下端貫通于所述軸座(12)且固定連接有一第一嚙合盤(pán)(15)，所述承片臺(tái)上部(I)經(jīng)由所述軸座(12)固定安裝于所述托盤(pán)(4)上，所述承片臺(tái)上部(I)通過(guò)所述第一嚙合盤(pán)(15)與所述承片臺(tái)下部(2)嚙合連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，所述第一嚙合盤(pán)(15)的嚙合面設(shè)置為梯形齒狀。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于， 所述承片臺(tái)下部(2)包括:第二嚙合盤(pán)(21)，所述第二嚙合盤(pán)(21)下端穿過(guò)一滾動(dòng)軸承(22)與一花鍵(23)套接，所述花鍵(23)下端與動(dòng)力裝置固定連接，所述滾動(dòng)軸承(22)外部固定安裝有一軸承地座(24)，所述軸承地座(24)活動(dòng)安裝于一底座子(25)上，所述底座子(25)套裝于所述第二嚙合盤(pán)(21)下端外； 所述底座子(25)上設(shè)置有用于接入氣控裝置所輸送氣體的氣體通道(26)，所述氣體通道(26)連通至所述軸承地座(24)下端處； 當(dāng)所述氣體通道(26)內(nèi)輸送有氣體時(shí)，所述軸承地座(24)經(jīng)由所述滾動(dòng)軸承(22)帶動(dòng)所述第二嚙合盤(pán)(21)相對(duì)所述花鍵(23)做上升運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)與所述承片臺(tái)上部(I)嚙合連接，所述承片臺(tái)下部(2)經(jīng)由所述底座子(25)固定安裝于所述固定盤(pán)(3)上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于， 所述動(dòng)力裝置包括:一聯(lián)軸器(27)，所述聯(lián)軸器(27)下端固定連接有一減速器(28)，所述減速器(28)下端固定有一承片臺(tái)電機(jī)(29)，所述花鍵(23)下端通過(guò)與所述聯(lián)軸器(27)上端連接實(shí)現(xiàn)與所述動(dòng)力裝置固定連接。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，所述氣體通道(26)設(shè)置于所述底座子(25)底端的側(cè)邊處，所述氣體通道(26)沿所述底座子(25)的側(cè)邊緣呈L型向上彎折連通至所述軸承地座(24)下端處。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，所述底座子(25)上設(shè)置有用于密封所述氣體通道(26)的密封圈。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，所述第二嚙合盤(pán)(21)的嚙合面設(shè)置為梯形齒狀。9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置，其特征在于，所述承片臺(tái)系統(tǒng)(6)的數(shù)量為4個(gè)。10.—種晶圓減薄機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置及晶圓減薄機(jī)，涉及可分離式機(jī)械裝置領(lǐng)域，其中回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置包括：固定盤(pán)及托盤(pán)，所述固定盤(pán)上固定有一工作臺(tái)主軸，所述托盤(pán)安裝于所述工作臺(tái)主軸上端；所述回轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝置還包括承片臺(tái)系統(tǒng)，所述承片臺(tái)系統(tǒng)包括用于承托加工對(duì)象的承片臺(tái)上部，及用于能夠與所述承片臺(tái)上部嚙合以實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)所述承片臺(tái)上部旋轉(zhuǎn)的承片臺(tái)下部；所述承片臺(tái)上部固定安裝于所述托盤(pán)上，所述承片臺(tái)下部固定安裝于所述固定盤(pán)上，所述承片臺(tái)上部與承片臺(tái)下部在所述托盤(pán)及所述固定盤(pán)之間實(shí)現(xiàn)嚙合連接。該方案改善了工作臺(tái)的工作效率，提高工位變換的定位精度，保證磨削質(zhì)量。
【IPC分類(lèi)】H01L21/02, H01L21/683
【公開(kāi)號(hào)】CN105514015
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510988775
【發(fā)明人】衣忠波, 趙歲花, 高岳, 劉國(guó)敬, 張敏杰
【申請(qǐng)人】北京中電科電子裝備有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月20日
【申請(qǐng)日】2015年12月23日