專利名稱：掃描蒸鍍制膜的方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于 一種掃描蒸鍍制膜的方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
薄膜光伏電池，包括CIGS光伏電池可替代單晶硅材料用作太陽(yáng)能發(fā)電，晶 體硅材料作為光伏發(fā)電材料價(jià)格昂貴，制作難度大，成本高，難以推廣使用。 最新的科學(xué)顯示可以用在玻璃或其他材料的基板上用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金 屬和非金屬薄膜來(lái)替代晶體硅材料用作太陽(yáng)能發(fā)電，這種新材料價(jià)格低廉，利
于推廣使用。用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金屬薄膜在基板上，要求薄膜必須厚度 均勻，但目前的設(shè)備難以達(dá)到這樣的要求。傳統(tǒng)的電子槍蒸鍍?cè)O(shè)備包括一個(gè)真 空腔體，真空腔體內(nèi)下端固定設(shè)置若干個(gè)電子槍，待鍍的基板置于電子槍上端， 完成電子槍蒸鍍制膜。這種傳統(tǒng)的設(shè)備不能保證基板上薄膜厚度的均勻，往往 造成靠近電子槍的基板上薄膜厚，反之，則薄。而薄膜厚度的不均勻使玻璃基 板光電轉(zhuǎn)換率大幅下降，質(zhì)量一致性差，難以在市場(chǎng)上推廣使用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是設(shè)計(jì)一種掃描蒸鍍制膜的方法及設(shè)備，該方法使電子槍 在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，鍍膜均勻，方法簡(jiǎn)便可行，其設(shè)備具有鍍膜均勻，速度 快，價(jià)格低，質(zhì)量好，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，大幅延長(zhǎng)其使用壽命的 優(yōu)點(diǎn)。
為此，本發(fā)明的方法是設(shè)置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動(dòng)或移動(dòng)的裝置，使 電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的方法采用設(shè)備是電子槍位于擺動(dòng)裝置上，電子槍在移動(dòng)狀態(tài) 下進(jìn)行噴鍍。
所述的擺動(dòng)裝置是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位 于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描支架 下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺 盤與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有 電子槍；傳動(dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶和傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描 支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤輪，傳動(dòng)掃描支架的電 機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)。
所述的擺動(dòng)裝置還可是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上 端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描 支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)； 傳動(dòng)裝置，由傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳動(dòng)掃 描支架的電機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)。
所述的擺動(dòng)裝置還nj是掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空 腔體內(nèi)其上設(shè)有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過(guò)密封波 紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌滑配，位于真空腔體 外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃 描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺 盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍。
所述的擺動(dòng)裝置還可是掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空 腔體內(nèi)其上設(shè)有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過(guò)密封波 紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌滑配，位于真空腔體 外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位丁真空腔體內(nèi)的掃 描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺 盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍；傳動(dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、電機(jī)輪、 傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動(dòng)的滾珠絲桿和傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送 帶，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò) 傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤輪，傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)電機(jī)輪、傳送帶、傳送 輪和受傳送輪帶動(dòng)的滾珠絲桿帶動(dòng)掃描支架左右移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)達(dá)到了本 發(fā)明的目的。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:該方法使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，鍍膜均勻，方法 簡(jiǎn)便可行。該設(shè)備使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快， 價(jià)格低，質(zhì)量好，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，并大幅延長(zhǎng)其使用壽命。利 于在市場(chǎng)上推廣使用。


圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖
圖2是圖1的A-A剖面局部結(jié)構(gòu)示意圖 圖3是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖 圖4是圖3的A-A剖面局部結(jié)構(gòu)示意圖 圖5是本發(fā)明的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖 圖6是本發(fā)明的另一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖 具體實(shí)施方案
本發(fā)明的方法是設(shè)置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動(dòng)或移動(dòng)的裝置，使電子槍 在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。以實(shí)現(xiàn)鍍膜均勻。
如圖1至圖6所沃 一種用掃描蒸鍍制膜設(shè)備，主要由多個(gè)電子槍7，機(jī)架l和 真空腔體2所組成。電子槍位于擺動(dòng)裝置上，電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。
如圖1和圖2所示，所述的擺動(dòng)裝置由掃描支架、擺盤和傳動(dòng)裝置構(gòu)成。該 裝置為掃描支架、擺盤均旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)。
掃描支架3，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描 支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體16密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪13。 掃描支架上端的真空腔體內(nèi)設(shè)有加熱器9，用于保障真空腔體內(nèi)的蒸鍍溫度。位 于真空腔體內(nèi)上端兩側(cè)的基板框8，用于夾持基板10并受位于真空腔體外的輸送 軸11傳動(dòng)，輸送軸由電機(jī)帶動(dòng)。
擺盤6，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架 通過(guò)磁流體12密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪15，擺盤上端設(shè)有龜子槍。 位于掃描支架的上端兩側(cè)的擺盤為兩個(gè)擺盤，每個(gè)擺盤上設(shè)一個(gè)或數(shù)個(gè)電子槍。
傳動(dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)20、減速器19、傳送輪、傳送帶14和 傳動(dòng)擺盤的電機(jī)5、傳送輪4和傳送帶。傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于 掃描支架內(nèi)。傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤輪15，每個(gè)擺盤下 端各設(shè)一組傳動(dòng)擺盤的裝置。傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送 帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)。在真空腔體下端的支架上還設(shè)有電子槍電源盒18，其內(nèi) 的電子槍電源通過(guò)電子槍導(dǎo)線17與擺盤上的電子槍連接。支架用于支撐真空腔 體。
所述的電子槍的數(shù)量為一個(gè)或數(shù)個(gè)，電子槍位于擺盤上端。所述的擺盤可 呈正反90° 180° ，正反90° ,或正反18Q。范周內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。所述的掃描支架可呈正反90° 180° ，正反90° ，或正反180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。 所述的位于擺盤上的電子槍呈十字分布。
如圖3和圖4所示，該結(jié)構(gòu)與如圖1和圖2所示結(jié)構(gòu)不同的是在掃描支架的大 帶輪下端設(shè)有個(gè)電刷滑環(huán)21，以方便各電子槍電源通過(guò)各電子槍導(dǎo)線與擺盤 上的電子槍連接。顯然在每個(gè)擺盤的擺盤輪下端亦可設(shè)有一個(gè)電刷滑環(huán)，以方 便各電子槍電源通過(guò)各電子槍導(dǎo)線與擺盤上的電子槍連接。這樣亦可使掃描支 架和擺盤在任意范周內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。其余結(jié)構(gòu)相同，故不再累述。
如圖5所示，是本發(fā)明使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖，在真空腔體內(nèi)，可根據(jù)需要在 掃描支架一端設(shè)一個(gè)擺盤裝置。
使用時(shí)，傳動(dòng)裝置帶動(dòng)掃描支架呈正反90。，或正反18(T范周內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，同 時(shí)使擺盤呈正反90。，或正反180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，使其上的數(shù)個(gè)電子槍亦移動(dòng)， 電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，保證了噴鍍膜的均勻性。
顯然，在上述實(shí)施例中掃描支架、擺盤均旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)。在上述實(shí)施例中可令 掃描支架擺動(dòng)，而擺盤固定不轉(zhuǎn)；或反之。噴鍍膜的均勻性效果相同。
如掃描支架擺動(dòng)，而擺盤固定不轉(zhuǎn)時(shí)，采用 .
掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描 支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；
擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤固定在掃描 支架的上端兩側(cè)；
傳動(dòng)裝置，由傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳 動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)。其余結(jié)構(gòu) 相同，故不再累述。
亦可去掉擺盤裝置及相關(guān)的傳動(dòng)裝置，多個(gè)電子槍直接固定在掃描支架兩 端，擺動(dòng)的掃描支架配合移動(dòng)的玻璃基板亦可達(dá)到噴鍍膜均勻的目的。故不再
累述o
或如掃描支架固定不轉(zhuǎn)，而擺盤擺動(dòng)時(shí)，采用
掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描 支架固定在真空腔體內(nèi)；
擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架 通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍；傳動(dòng)裝置，由傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶所構(gòu)成，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、 傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺 盤輪。其余結(jié)構(gòu)相同，故不再累述。
如圖6所示，所述的擺動(dòng)裝置還可以包括掃描支架、擺盤和傳動(dòng)裝置。該裝 置為橫向左右擺動(dòng)。
掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔體內(nèi)其上設(shè)有擺盤，位 于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過(guò)密封波紋管28軸接。掃描支架另 一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌22滑配。位于真空腔體外的掃描支架側(cè)端與 滾珠絲桿26螺接。
擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支 架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍。
傳動(dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)23、電機(jī)輪24、傳送帶25、傳送輪27、 受傳送輪帶動(dòng)的滾珠絲桿和傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶。傳動(dòng)擺盤的電 機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶 動(dòng)擺盤輪。傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)電機(jī)輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動(dòng) 的滾珠絲桿帶動(dòng)掃描支架左右移動(dòng)。
使用時(shí)，傳動(dòng)裝置帶動(dòng)掃描支架在直線導(dǎo)軌上橫向左右擺動(dòng)，同時(shí)使擺盤 呈正反90° ，或正反180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，使其上的數(shù)個(gè)電子槍亦移動(dòng)，電子槍在 移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，保證了噴鍍膜的均勻性。
總之，本發(fā)明使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質(zhì) 量好，價(jià)格低，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，經(jīng)本發(fā)明蒸鍍的基板光電轉(zhuǎn)換 率較高，并大幅延長(zhǎng)其使用壽命，利于在市場(chǎng)上推廣使用。
權(quán)利要求
1、一種掃描蒸鍍制膜的方法，其特征在于設(shè)置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動(dòng)或移動(dòng)的裝置，使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。
2、 一種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求l所述方法的設(shè)備,主要由多個(gè)電子槍、機(jī)架和真空腔 體所組成，其特征在于電子槍位于擺動(dòng)裝置上，電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。
3、 按權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于所述的擺動(dòng)裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位千呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍；傳動(dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶和傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤輪，傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)。
4、 按權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于所述的擺動(dòng)裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪； 擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)；傳動(dòng)裝置，由傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳 動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)。
5、 按權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于所述的擺動(dòng)裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架 通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍；傳動(dòng)裝置，由傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶所構(gòu)成，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、 傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺 盤輪。
6、 按權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于所述的擺動(dòng)裝置是-掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔體內(nèi)其上設(shè)有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過(guò)密封波紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌滑配，位于真空腔體外的掃描支架側(cè)端與滾珠 絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支 架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍；傳動(dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、電機(jī)輪、傳送帶、傳送輪、受傳送 輪帶動(dòng)的滾珠絲桿和傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳送輪和傳送帶，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)、傳 送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤 輪，傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)電機(jī)輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動(dòng)的滾珠 絲桿帶動(dòng)掃描支架左右移動(dòng)。
7、 按權(quán)利要求2或3或4或5或6所述的設(shè)備,其特征在于所述的電子槍的數(shù) 量為一個(gè)或數(shù)個(gè)，電子槍位于擺盤上端。
8、 按權(quán)利要求2或3或4或5或6所述的設(shè)備，其特征在于所述的位于擺盤上 的電子槍呈十字分布。
全文摘要
本發(fā)明屬于一種掃描蒸鍍制膜的方法及設(shè)備，該方法設(shè)置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動(dòng)或移動(dòng)的裝置，使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。該設(shè)備采用電子槍位于擺動(dòng)裝置上，電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍。本發(fā)明的方法使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，鍍膜均勻，方法簡(jiǎn)便可行。該設(shè)備使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，價(jià)格低，質(zhì)量好，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，并大幅延長(zhǎng)其使用壽命。
文檔編號(hào)C23C14/28GK101619441SQ200910087009
公開日2010年1月6日 申請(qǐng)日期2009年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月22日
發(fā)明者馮煥培, 軍 王, 黎志欣 申請(qǐng)人:北京京運(yùn)通科技股份有限公司