本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工，尤其涉及一種樹脂基砂輪整形裝置。

背景技術(shù)：

1、目前，半導(dǎo)體晶圓的倒角加工過程主要包含四個過程：外周粗研→圓形切口粗研→圓形切口精研→外周精研。前三步用的是材質(zhì)較硬的金屬砂輪，第四步的外周精研用的是以樹脂作為結(jié)合劑的樹脂基砂輪。

2、樹脂基砂輪具有材質(zhì)軟，易塑形，加工出的產(chǎn)品表面平整、光滑、凹凸少的優(yōu)點。但是，樹脂基砂輪也存在一個缺點：使用時間長了以后，其形狀會發(fā)生變化。若繼續(xù)使用變形的樹脂基砂輪，會造成加工出來的晶圓寬幅和直徑出現(xiàn)跑偏，導(dǎo)致晶片不良品提升。若就此廢棄樹脂基砂輪，則造成的成本浪費非常巨大。因此，為了保證外周精研砂輪的形狀統(tǒng)一，需要對樹脂的外周精研砂輪進(jìn)行整形。

3、傳統(tǒng)的外周精研砂輪的整形方法主要是：當(dāng)需要對外周精研砂輪進(jìn)行整形時，需要使用專門的整形片，首先，通過外周精研砂輪上的整形溝槽加工整形片，使得整形片上加工出與外周精研砂輪上的整形溝槽對應(yīng)的形狀；然后，利用加工好的整形片，對外周精研砂輪進(jìn)行研削，使外周精研砂輪恢復(fù)到最初的形狀。

4、上述整形過程中，需要進(jìn)行整形片研磨、及外周精研砂輪研磨這兩次加工研磨作業(yè)，過程繁復(fù)，且需要不斷地消耗整形片，大量消耗整形片；并且，在外周粗研砂輪上需要專門定制出對應(yīng)的整形溝槽，增加了外周粗研砂輪的結(jié)構(gòu)復(fù)雜度，且還會造成外周粗研砂輪的額外消耗，降低了外周粗研砂輪的粗研利用率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本公開實施例提供了一種樹脂基砂輪整形裝置，能夠簡化樹脂基砂輪的整形過程，減少整形片及外周粗研砂輪的消耗。

2、本公開實施例所提供的技術(shù)方案如下：

3、本公開實施例提供了一種樹脂基砂輪整形裝置，用于對樹脂基砂輪進(jìn)行整形；所述樹脂基砂輪整形裝置包括：

4、研削臺組件，所述研削臺組件包括安裝座及驅(qū)動單元，其中，所述安裝座受所述驅(qū)動單元的驅(qū)動而進(jìn)行周向轉(zhuǎn)動；及

5、整形件，所述整形件上設(shè)有整形凸起結(jié)構(gòu)，所述整形凸起結(jié)構(gòu)被構(gòu)造為與所述樹脂基砂輪上的待整形研磨溝槽結(jié)構(gòu)適配；

6、其中，所述整形件安裝至所述安裝座上，且能夠與所述安裝座同步進(jìn)行周向轉(zhuǎn)動，以研磨所述樹脂基砂輪。

7、示例性的，所述整形件的材質(zhì)硬度大于所述樹脂基砂輪的材質(zhì)硬度。

8、示例性的，所述整形件的材質(zhì)選用金剛石。

9、示例性的，所述整形件選用800目金剛石材質(zhì)。

10、示例性的，所述整形件與所述安裝座之間可拆卸連接。

11、示例性的，所述整形件被構(gòu)造為中心具有安裝孔的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，所述安裝座具有安裝軸，所述安裝軸穿裝于所述安裝孔內(nèi)。

12、示例性的，所述安裝孔與所述安裝軸之間通過螺紋連接。

13、示例性的，所述驅(qū)動單元還被構(gòu)造為能夠驅(qū)動所述整形件沿第一方向進(jìn)行進(jìn)給運動，以使所述整形件上的所述整形凸起結(jié)構(gòu)沿所述第一方向上能夠?qū)?zhǔn)所述待整形研磨溝槽的位置，其中所述第一方向為所述樹脂基砂輪的軸向。

14、示例性的，所述驅(qū)動單元還被構(gòu)造為能夠驅(qū)動所述整形件沿第二方向進(jìn)行進(jìn)給運動，其中所述第二方向為所述樹脂基砂輪的徑向。

15、示例性的，所述樹脂基砂輪整形裝置還包括控制器，所述控制器與所述驅(qū)動單元通訊連接，用于基于預(yù)設(shè)進(jìn)給參數(shù)，控制所述驅(qū)動單元的工作狀態(tài)。

16、本公開實施例所帶來的有益效果如下：

17、上述方案中，研削臺組件包括安裝座及驅(qū)動單元，安裝座受所述驅(qū)動單元的驅(qū)動可進(jìn)行周向轉(zhuǎn)動；整形件被構(gòu)造為設(shè)有整形凸起結(jié)構(gòu)，該整形凸起結(jié)構(gòu)被構(gòu)造為與待整形的樹脂基砂輪上的待整形研磨溝槽結(jié)構(gòu)適配，且該整形件可安裝至安裝座上，并與安裝座同步周向轉(zhuǎn)動，因而，將整形件上的整形凸起結(jié)構(gòu)與樹脂基砂輪上的待整形溝槽對準(zhǔn)時，隨著整形件的周向轉(zhuǎn)動，可實現(xiàn)對樹脂基砂輪進(jìn)行整形的目的。

18、這樣，設(shè)計了一種專門的整形件，在所述整形件上直接成型有與待整形溝槽適配的整形凸起結(jié)構(gòu)，在對樹脂基砂輪進(jìn)行整形時，可直接利用該整形件對所述外周精研砂輪進(jìn)行整形，無需再單獨地進(jìn)行一次利用外周粗研砂輪對整形片加工研磨的過程，整形加工步驟簡化，使得整形作業(yè)更迅速、高效，從而可提高研磨加工產(chǎn)能。并且，采用上述方案，不會再消耗整形片，降低整形片成本。并且，由于不再需要外周粗研砂輪加工整形件，因此外周粗研砂輪上可不再設(shè)置整形溝槽，可簡化外周粗研砂輪的結(jié)構(gòu)，且可避免造成外周粗研砂輪的額外消耗，提高外周粗研砂輪的粗研利用率、使用壽命。

技術(shù)特征：

1.一種樹脂基砂輪整形裝置，用于對樹脂基砂輪進(jìn)行整形；其特征在于，所述樹脂基砂輪整形裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述整形件的材質(zhì)硬度大于所述樹脂基砂輪的材質(zhì)硬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述整形件的材質(zhì)選用金剛石。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述整形件選用800目金剛石材質(zhì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述整形件與所述安裝座之間可拆卸連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述整形件被構(gòu)造為中心具有安裝孔的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，所述安裝座具有安裝軸，所述安裝軸穿裝于所述安裝孔內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述安裝孔與所述安裝軸之間通過螺紋連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元還被構(gòu)造為能夠驅(qū)動所述整形件沿第一方向進(jìn)行進(jìn)給運動，以使所述整形件上的所述整形凸起結(jié)構(gòu)沿所述第一方向上能夠?qū)?zhǔn)所述待整形研磨溝槽的位置，其中所述第一方向為所述樹脂基砂輪的軸向。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元還被構(gòu)造為能夠驅(qū)動所述整形件沿第二方向進(jìn)行進(jìn)給運動，其中所述第二方向為所述樹脂基砂輪的徑向。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的樹脂基砂輪整形裝置，其特征在于，所述樹脂基砂輪整形裝置還包括控制器，所述控制器與所述驅(qū)動單元之間進(jìn)行通訊連接，所述控制器用于基于預(yù)設(shè)進(jìn)給參數(shù)，控制所述驅(qū)動單元的工作狀態(tài)。

技術(shù)總結(jié)
本公開提供了一種樹脂基砂輪整形裝置，用于對樹脂基砂輪進(jìn)行整形；所述樹脂基砂輪整形裝置包括：研削臺組件，所述研削臺組件包括安裝座及驅(qū)動單元，其中，所述安裝座受所述驅(qū)動單元的驅(qū)動而進(jìn)行周向轉(zhuǎn)動；及整形件，所述整形件上設(shè)有整形凸起結(jié)構(gòu)，所述整形凸起結(jié)構(gòu)被構(gòu)造為與所述樹脂基砂輪上的待整形研磨溝槽結(jié)構(gòu)適配；其中，所述整形件安裝至所述安裝座上，且能夠與所述安裝座同步進(jìn)行周向轉(zhuǎn)動，以研磨所述樹脂基砂輪。本公開實施例提供額樹脂基砂輪整形裝置，能夠簡化樹脂基砂輪的整形過程，減少整形片及外周粗研砂輪的消耗。

技術(shù)研發(fā)人員：張立易
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安奕斯偉材料科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231227
技術(shù)公布日：2024/11/14