技術(shù)特征：

1.一種高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，以所述輕金屬的原子質(zhì)量計(jì)，所述輕金屬的摻雜原子數(shù)量占比為0.25?–?8.5%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，所述輕金屬為cr時(shí)，摻雜原子數(shù)量占比為1.1?–?6.42%；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，所述理想真空度為(1?–?5)×10-3?pa。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，對(duì)所述磁控濺射設(shè)備進(jìn)行加熱的目標(biāo)溫度，可以選擇為100-200℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，設(shè)置環(huán)境參數(shù)中，引入的ar氣和o2氣的流量體積比為4/1-6/1，ar氣和o2氣的總流量為0.9-2.0pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，設(shè)置環(huán)境參數(shù)中，射頻功率為800-900?w，偏置電壓2-10?v。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，所述襯底的正面和所述輕金屬元素?fù)诫s鈮酸鋰靶材的表面的間距為4.5-7?cm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的制備方法，其特征在于，沉積輕金屬摻雜linbo3壓電涂層的時(shí)間為6-9?h。

10.一種采用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的制備方法制備的高純輕金屬摻雜linbo3壓電涂層。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高純輕金屬摻雜LiNbO<subgt;3</subgt;壓電涂層及其制備方法，涉及鈮酸鋰壓電涂層技術(shù)領(lǐng)域。涂層的制備方法包括設(shè)計(jì)輕金屬元素?fù)诫s的鈮酸鋰靶材；打磨清潔襯底和磁控濺射設(shè)備；安裝靶材和襯底；開啟磁控濺射設(shè)備，清洗靶材的表面；采用射頻磁控濺射法沉積靶材至襯底的正面，制得輕金屬摻雜鈮酸鋰壓電涂層。對(duì)本發(fā)明制備的輕元素?fù)诫s的鈮酸鋰壓電涂層進(jìn)行結(jié)構(gòu)、形貌、元素、超聲性能、壓電性能測試，發(fā)現(xiàn)該涂層不含LiNb<subgt;3</subgt;O<subgt;8</subgt;缺鋰相，也不含NbO、Nb<subgt;2</subgt;O<subgt;5</subgt;等雜質(zhì)相，為高純輕金屬摻雜LiNbO<subgt;3</subgt;壓電涂層。調(diào)節(jié)摻雜元素及其含量，可以獲得優(yōu)于純鈮酸鋰壓電涂層的壓電常數(shù)和超聲信號(hào)，且具有優(yōu)異的高溫性能穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：曾曉梅,佩列諾維奇·瓦西里·奧列戈維奇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19