專利名稱：減壓干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過使涂敷在基板上的涂敷液減壓干燥，在基板上形成涂 敷膜的減壓干燥裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器中，使用玻璃基板上涂敷 有抗蝕劑液的部件(稱作涂敷基板)。該涂敷基板通過由涂敷裝置在基板上 均勻地涂敷抗蝕劑液后、由減壓干燥裝置使涂敷液干燥來生產(chǎn)。
該減壓干燥裝置，例如如下述專利文獻(xiàn)1所示，具有由可升降動(dòng)作的 腔蓋和載置基板的下部板形成的處理室(腔)，在腔蓋下降的狀態(tài)下，處理 室能夠維持密閉狀態(tài)。并且，在下部板上，形成有用于排出處理室內(nèi)的空 氣的排氣口、和用于向處理室內(nèi)供給N2等氣體的氣體供給口。由此，通過 在處理室內(nèi)載置有涂敷基板的狀態(tài)下從排氣口排出處理室內(nèi)的空氣，使處 理室內(nèi)減壓(低壓化)而使涂敷液干燥，并且如果干燥結(jié)束，則通過向處 理室內(nèi)供給N2氣體，能夠解除減壓狀態(tài)。
專利文獻(xiàn)1日本特開平10-76211號(hào)公報(bào)
這里，圖5是表示以往的腔蓋的圖。如該圖5所示，在腔蓋90上通過 焊接而安裝有加強(qiáng)肋91。即，如果為了使涂敷基板減壓干燥而將處理室減 壓，則腔蓋90通過受大氣壓推壓而向處理室側(cè)稍稍變形，從而處理室內(nèi)的 氣流受到影響。如果產(chǎn)生該稍稍的氣流的紊亂，則在涂敷膜上形成條紋狀 的圖案等，難以使涂敷液同樣地干燥。因此，通過設(shè)置加強(qiáng)肋91，提高腔 蓋90的剛性而抑制不合格基板的產(chǎn)生。
但是，在以往的腔蓋卯的加強(qiáng)肋91中，存在這樣的問題有可能因 其焊接部分剝離而使加強(qiáng)肋91不能發(fā)揮本來的功能。g卩，如果腔蓋90受 大氣壓推壓，則盡管其中央部分的彎曲變形量比端部大，但在以往的腔蓋 90中，由于焊接強(qiáng)度較弱的加強(qiáng)肋91彼此交叉的部分(肋交叉部92)集
中地形成在腔蓋90的中央部分上，所以在其肋交叉部92的焊接部分發(fā)生 破裂等而剝離的可能性較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，目的是提供一種能夠通過抑制腔蓋 部的焊接部分的剝離等的產(chǎn)生來抑制生產(chǎn)不合格基板的減壓干燥裝置。
為了解決上述課題，本發(fā)明的減壓干燥裝置，具備載置基板的基板載 置部、和相對(duì)于該基板載置部可相對(duì)地接觸分離的腔蓋部，通過在由該基 板載置部和腔蓋部形成的基板收納部內(nèi)，收納有涂敷了涂敷液的基板的狀 態(tài)下使上述基板收納部內(nèi)減壓，從而使上述涂敷液干燥，其特征在于，上 述腔蓋部與上述基板載置部面對(duì)，并且具有具備4個(gè)邊緣部的四邊形狀， 在與基板載置部側(cè)相反一側(cè)的外表面上，接合有在與相鄰的邊緣部交叉的 方向上延伸的加強(qiáng)肋。
根據(jù)上述減壓干燥裝置，能夠在避開腔蓋部的中央部分的狀態(tài)下設(shè)置 加強(qiáng)肋。即，由于加強(qiáng)肋在向與腔蓋部的相鄰的邊緣部交叉的方向延伸的 狀態(tài)下配置，所以加強(qiáng)肋不會(huì)設(shè)在腔蓋部的中心，其結(jié)果，能夠?qū)⒗呓徊?部形成在離開腔蓋部的中央部分的位置上。因而，與如以往那樣加強(qiáng)肋在 向腔蓋部相互面對(duì)的邊緣部延伸的方向(沿著腔蓋部的邊緣部的方向)上 配置的情況相比，能夠抑制肋交叉部的焊接部分剝離。
此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，上述加強(qiáng)肋設(shè)置為，通過上述腔蓋部的中心與 相鄰的邊緣部彼此交叉的角部的中點(diǎn)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過較少的加強(qiáng)肋平衡良好地加固腔蓋部整體。
此外，也可以設(shè)計(jì)為如下結(jié)構(gòu)，上述加強(qiáng)肋具有一方向延伸的形狀， 這些加強(qiáng)肋配置為在上述腔蓋部的外表面上形成四邊形，上述加強(qiáng)肋彼此 交叉的肋交叉部形成在上述邊緣部上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于將焊接強(qiáng)度較弱的肋交叉部設(shè)在彎曲變形較小的邊 緣部上，所以能夠抑制肋交叉部剝離的問題。此外，如果肋交叉部的數(shù)量 變多，則腔蓋制造時(shí)的清洗作業(yè)等變得復(fù)雜，由此產(chǎn)生增加腔蓋部整體的 成本的問題，而根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于能夠減少肋交叉部的數(shù)量，所以能夠做 成低價(jià)的腔蓋部。此外，也可以設(shè)計(jì)為如下結(jié)構(gòu)，上述腔蓋部具有與所載置的基板大致 平行且基板載置部側(cè)的表面平坦地形成的平板部、和在平板部的端部向基 板載置部側(cè)突出的收納壁部，上述肋交叉部形成在對(duì)應(yīng)于該收納壁部的平 板部的外表面上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于平板部的厚壁部不易受到彎曲變形的影響，所以通 過在對(duì)應(yīng)于該厚壁部的部分上設(shè)置肋交叉部，能夠抑制肋交叉部的焊接部 分剝離。
發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明的減壓干燥裝置，能夠抑制焊接部分的剝離等的產(chǎn)生從而 抑制生產(chǎn)不合格基板。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的減壓干燥裝置的腔蓋部打開的狀態(tài)
、'圖2是表示上述減壓干燥裝置的腔蓋部關(guān)閉的狀態(tài)的概略圖。 圖3是上述腔蓋部的俯視圖。 圖4是表示上述腔蓋部的緣端附近的圖。 圖5是表示以往的腔蓋的圖。
符號(hào)說明
8 —肋交叉部；IO —腔蓋部；ll一平板部；lla—邊緣部；llc一外表面； 12 —收納壁部；13 —加強(qiáng)肋；20 —基板載置部；21 —載置板；30 —基板收 納部。
具體實(shí)施例方式
利用

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1 圖4是概略地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的減壓干燥裝置的圖，圖 1是表示減壓干燥裝置的腔蓋部IO打幵的狀態(tài)的圖，圖2是表示腔蓋部10 關(guān)閉的狀態(tài)的圖，圖3是腔蓋部10的俯視圖，圖4是將腔蓋部10的緣端 附近放大的圖。
如圖1 圖4所示，減壓干燥裝置是使形成在基板1上的抗蝕劑液等涂 敷膜干燥的裝置，具備基板載置部20和腔蓋部10。
另外，在以下的說明中，以圖1中的紙面上側(cè)為減壓干燥裝置的上方， 以圖1中的紙面下側(cè)為減壓干燥裝置的下方，來進(jìn)行說明。
基板載置部20是載置基板1的部件，具有載置由涂敷裝置等涂敷了抗 蝕劑液的基板1的載置板21。并且，通過該基板載置部20的載置板21和 后述的腔蓋部10,如圖2所示，形成收納基板1的基板收納部30。
在基板載置部20上，設(shè)有使基板1進(jìn)行升降動(dòng)作的基板升降機(jī)構(gòu)，艮P， 在基板載置部20的載置板21上，在載置基板1的區(qū)域形成有多個(gè)銷孔22， 在該銷孔22中埋設(shè)有能夠沿Z軸方向升降動(dòng)作的頂升銷(Lift pin) 40。并 且，在該頂升銷40上連接有驅(qū)動(dòng)裝置41，通過驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)裝置41，頂升 銷40從載置板21的表面突出到規(guī)定高度位置(上升位置)。由此，在將基 板1載置在載置板21上時(shí)，在使頂升銷40上升到上升位置的狀態(tài)下，通 過頂升銷40的前端部分保持被供給的基板1，通過從該狀態(tài)使頂升銷40 下降，能夠?qū)⒒?載置在載置板21上。并且，在載置板21上設(shè)有產(chǎn)生 靜電的基板保持機(jī)構(gòu)(未圖示)，將由該基板保持裝置載置的基板保持在載 置板21上。
此外，在載置板21上，形成有在其表面上開口的多個(gè)排氣口 23和氣 體供給口 24。該排氣口 23是用于通過排出基板收納部30內(nèi)的空氣而將基 板收納部30內(nèi)減壓為小于大氣壓的壓力的排氣口。具體而言，排氣口 23 與真空泵5連通連接，通過使該真空泵5動(dòng)作，能夠排出基板收納部30內(nèi) 的空氣。此外，氣體供給口 24是使基板收納部30內(nèi)的減壓狀態(tài)解除的供 給口 。具體而言，氣體供給口 24與N2氣體供給源6連通連接，如果使N2 氣體供給源6動(dòng)作，則通過將N2氣體供給到基板收納部30內(nèi)，從而基板 收納部30返回至大氣壓，減壓狀態(tài)被解除。
腔蓋部10具有覆蓋載置在載置板21上的基板1的形狀，具有與載置 板21面對(duì)的平板部11、和從該平板部ll的端部的邊緣部lla向載置板21 側(cè)突出的收納壁部12。
上述平板部11形成為與基板1的形狀對(duì)應(yīng)的形狀即四邊形狀。在本實(shí) 施方式中，如圖3所示，形成為平板部11的相鄰邊緣部lla彼此正交的長
方形狀。此外，平板部11以一定的厚度t形成，對(duì)置于載置板21的面(基 板載置部側(cè)的表面llb)相對(duì)于載置板21大致平行，平坦地形成。由此， 能夠抑制基板收納部30內(nèi)的氣流紊亂。
此外，收納壁部12從平板部11的4個(gè)邊緣部lla分別向載置板21側(cè) 延伸形成，形成為，使其包圍所載置的基板l。并且，腔蓋部10的邊緣部 lla的厚度尺寸、即收納壁部12的厚度方向尺寸T大于腔蓋部10的平板 部11的厚度方向尺寸t。
該腔蓋部10構(gòu)成為，進(jìn)行升降動(dòng)作。即，在腔蓋部10中設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝 置7，通過驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)裝置7，腔蓋部10能夠相對(duì)于基板載置部20的載置 板21接觸分離。并且，收納壁部12的底面12a形成為，大致與載置板21 平行，通過該收納壁部12的底面12a與以包圍基板1的方式設(shè)在載置板21 的表面上的密封部件(未圖示)抵接，將基板收納部30密閉。g卩，如果驅(qū) 動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置41而使腔蓋部10下降，則通過收納壁部12的底面12a與密封 部件貼緊，基板收納部30與其外部被密封部件隔斷。由此，將基板收納部 30密閉。
此外，如圖3、圖4所示，在腔蓋部10的上面(外表面llc)上，安 裝有加強(qiáng)肋13。具體而言，加強(qiáng)肋13通過焊接而接合在腔蓋部10的外表 面llc上，在本實(shí)施方式中，以在與平板部11的相鄰邊緣部lla交叉的方 向上延伸的方式焊接有4根加強(qiáng)肋13。所謂該相鄰的邊緣部lla，是相對(duì) 于一個(gè)邊緣部lla交叉(在本實(shí)施方式中是正交)以形成角部C的另一個(gè) 邊緣部lla。
并且，加強(qiáng)肋13設(shè)在一個(gè)邊緣部lla的中央部和與該邊緣部lla相鄰 的另一個(gè)邊緣部lla的中央部之間，各加強(qiáng)肋13的長度方向緣端部13a延 伸到平板部11的邊緣部lla。并且，這些加強(qiáng)肋13設(shè)置為，使其通過中點(diǎn) M，該中點(diǎn)M是平板部11的中心O與平板部11的相鄰的邊緣部lla彼此 交叉的角部C的中點(diǎn)。即，在本實(shí)施方式中，安裝有加強(qiáng)肋13，以使其通 過中點(diǎn)M，該中點(diǎn)M是平板部11的中心0與4個(gè)角部C的各自的中點(diǎn)， 設(shè)置為，使得在腔蓋部10的外表面llc上形成菱形。
此外， 一個(gè)加強(qiáng)肋13的長度方向緣端部13a和另一個(gè)加強(qiáng)肋13的長 度方向緣端部13a接近的肋交叉部8形成在平板部11的邊緣部Ila上，具
體而言，形成在對(duì)應(yīng)于收納壁部12的外表面llc上。由此，由于收納壁部 12將其厚度方向尺寸設(shè)定為比平板部11的中央部分的厚度方向尺寸大，所 以即使在通過使基板收納部30內(nèi)減壓而平板部11受到大氣壓帶來的推壓 的影響的情況下，其厚度方向的彎曲也被抑制，因此，能夠有效地抑制與 其他焊接部分P相比有強(qiáng)度變?nèi)醯膬A向的肋交叉部8的焊接部分P的剝離。 接著，關(guān)于減壓干燥裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明。
首先，進(jìn)行涂敷基板1的供給。具體而言，在使腔蓋部IO上升的狀態(tài) 下，通過機(jī)器手等，將涂敷有抗蝕劑液的涂敷基板1載置到在上升位置停 止的頂升銷40的前端部分上。并且，通過使驅(qū)動(dòng)裝置41動(dòng)作而使頂升銷 40下降，將涂敷基板1在載置于基板載置部20的載置板21上的狀態(tài)下保 持。
接著，使涂敷基板l干燥。具體而言，在使腔蓋部10下降而將基板收 納部30密閉后，使真空泵5動(dòng)作而使基板收納部30內(nèi)減壓，由此使基板1 上的涂敷液干燥。這里，如果使基板收納部30內(nèi)減壓，則腔蓋部10受大 氣壓推壓腔。由此，腔蓋部10的中央部分向基板收納部30側(cè)稍稍彎曲變 形，但是由于本實(shí)施方式的肋交叉部8均設(shè)在比中央部分厚度大的收納壁 部12上，所以大氣壓的推壓帶來的彎曲變形變得比中央部分小。因而，能 夠抑制由于在比其他部分焊接力弱的肋交叉部8上產(chǎn)生龜裂等引起肋交叉 部8的焊接部分P剝離的問題。
接著，通過將減壓干燥狀態(tài)維持規(guī)定時(shí)間，在使涂敷液千燥后，進(jìn)行 涂敷基板1的取出。具體而言，通過從氣體供給口 24將N2氣體供給到基 板收納部30中，使基板收納部30內(nèi)返回至大氣壓。并且，通過使腔蓋部 IO上升進(jìn)行涂敷基板I的取出， 一系列的減壓干燥裝置的動(dòng)作結(jié)束。
根據(jù)如以上說明那樣的減壓干燥裝置，由于加強(qiáng)肋13在向與平板部11 的相鄰的邊緣部lla交叉的方向延伸的狀態(tài)下配置，所以能夠?qū)⒗呓徊娌? 形成在離開腔蓋部10的中央部分的位置上。并且，通過將上述加強(qiáng)肋13 設(shè)置為使其通過中點(diǎn)M就能夠通過較少的加強(qiáng)肋13平衡良好地加固腔蓋， 該中點(diǎn)M是腔蓋部10的中心和平板部11的相鄰的邊緣部lla彼此交叉的 角部的中點(diǎn)。因而，與如以往那樣將加強(qiáng)肋13在向平板部11的相互面對(duì) 的邊緣部lla延伸的方向上配置的情況相比，能夠抑制肋交叉部8的焊接
部分P剝離，能夠抑制腔蓋部10的成本從而做成低價(jià)的減壓干燥裝置。
在上述實(shí)施方式中，對(duì)于將加強(qiáng)肋13配置為使其形成菱形的例子進(jìn)行 了說明，但也可以配置為使其形成正方形或長方形。具體而言，只要是加 強(qiáng)肋13延伸到平板部11的邊緣部lla、肋交叉部8在平板部11的邊緣部 lla上形成就可以。g口，由于大氣壓帶來的變形的影響在邊緣部lla比平板 部11的中央部分小，所以能夠抑制肋交叉部8的焊接部剝離的問題。
此外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)于在收納壁部12上形成肋交叉部8的例 子進(jìn)行了說明，但并不限于此。即，通過在比彎曲變形最大的平板部11的 中央部分靠邊緣部lla側(cè)設(shè)置肋交叉部8，能夠抑制肋交叉部8的焊接部分 P的剝離。
權(quán)利要求
1、一種減壓干燥裝置，具備載置基板的基板載置部、和相對(duì)于該基板載置部可相對(duì)地接觸分離的腔蓋部，通過在由該基板載置部和腔蓋部形成的基板收納部內(nèi)，收納有涂敷了涂敷液的基板的狀態(tài)下使上述基板收納部內(nèi)減壓，從而使上述涂敷液干燥，其特征在于，上述腔蓋部與上述基板載置部面對(duì)，并且具有具備4個(gè)邊緣部的四邊形狀，在與基板載置部側(cè)相反一側(cè)的外表面上，接合有在與相鄰的邊緣部交叉的方向上延伸的加強(qiáng)肋。
2、 如權(quán)利要求1所述的減壓干燥裝置，其特征在于，上述加強(qiáng)肋設(shè)置 為，通過上述腔蓋部的中心與相鄰的邊緣部彼此交叉的角部的中點(diǎn)。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的減壓干燥裝置，其特征在于，上述加強(qiáng)肋 具有一方向延伸的形狀，這些加強(qiáng)肋配置為在上述腔蓋部的外表面上形成 四邊形，上述加強(qiáng)肋彼此交叉的肋交叉部形成在上述邊緣部上。
4、 如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的減壓干燥裝置，其特征在于，上 述腔蓋部具有與所載置的基板大致平行且基板載置部側(cè)的表面平坦地形成 的平板部、和在平板部的端部向基板載置部側(cè)突出的收納壁部，上述肋交 叉部形成在對(duì)應(yīng)于該收納壁部的平板部的外表面上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠通過抑制腔蓋部的焊接部分的剝離等的產(chǎn)生來抑制生產(chǎn)不合格基板的減壓干燥裝置。所述減壓干燥裝置具備相對(duì)于基板載置部可相對(duì)地接觸分離的腔蓋部，通過在由該基板載置部和腔蓋部形成的基板收納部內(nèi)，收納有涂敷了涂敷液的基板的狀態(tài)下使上述基板收納部內(nèi)減壓，從而使上述涂敷液干燥，上述腔蓋部與上述基板載置部面對(duì)，并且具有具備4個(gè)邊緣部的四邊形狀，在與基板載置部側(cè)相反一側(cè)的外表面上，以在與相鄰邊緣部交叉的方向上延伸的方式焊接加強(qiáng)肋。
文檔編號(hào)F26B5/04GK101363681SQ200810146138
公開日2009年2月11日 申請(qǐng)日期2008年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月6日
發(fā)明者奧田大輔 申請(qǐng)人:東麗工程株式會(huì)社