蝕刻液配制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及TFT-1XD蝕刻領(lǐng)域，尤其涉及一種蝕刻液配制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的蝕刻液配制系統(tǒng)只具備簡單的配制混合、成品藥液存貯功能，而不具有廢棄藥液回收處理功能，它只能配制全新的蝕刻液，而無法將使用過的蝕刻液進行回收利用，因此大大增加了耗材的使用成本及廢液的處理成本，而且作為半自動配制，配制精度也較低。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的第一個技術(shù)問題是:提供一種能對蝕刻后的藥液進行回收再利用的蝕刻液配制系統(tǒng)。
[0004]為解決上述問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是:蝕刻液配制系統(tǒng)，包括:多個單酸貯池組、至少一個混合貯池、至少一個成品混酸貯池、至少一個蝕刻設(shè)備貯池，所述的蝕刻液配制系統(tǒng)還包括有:至少一個回收貯池、至少一個壓濾機、至少一個過濾貯池、至少一個沉淀貯池組、至少一個廢液貯池和至少一個廢液池；每個單酸貯池組均包括有至少兩個單酸貯池，同一個單酸貯池組中的所有單酸貯池用于存儲同一種類酸，同一個單酸貯池組中，每個單酸貯池的出液口上均連接有單酸出液管，每個單酸出液管的管路上均串設(shè)有單酸出液閥，所有單酸出液管的出液端連通、匯合成單酸出液總管，每個單酸貯池的進液口上均連接有單酸進液管，每個單酸進液管的管路上均串設(shè)有單酸進液閥，所有單酸進液管的進液端連通、匯合成單酸進液總管；每個沉淀貯池組均包括有至少兩個沉淀貯池，同一個沉淀貯池組中，每個沉淀貯池上設(shè)置有沉淀進液口、沉淀上出液口和沉淀下出液口，沉淀進液口上均連接有沉淀進液管，每個沉淀進液管的管路上均串設(shè)有沉淀進液閥，所有沉淀進液管的進液端連通、匯合成沉淀進液總管，沉淀下出液口均連接有沉淀出液管，每個沉淀出液管的管路上串設(shè)有沉淀出液閥，所有沉淀出液管的出液端連通、匯合成沉淀出液總管，沉淀上出液口上連接有收集出液管，每個收集出液管的管路上串設(shè)有收集出液閥，所有收集出液管的出液端連通、匯合成收集出液總管；每個單酸貯池組的單酸出液總管通過泵和管路以及串設(shè)在管路上的單酸控制閥與混合貯池的進液口相連，混合貯池的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的泵和混合控制閥與成品混酸貯池的進液口相連，成品混酸貯池的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的泵和成品控制閥與蝕刻設(shè)備貯池的進液口相連，蝕刻設(shè)備貯池的出液口上設(shè)置有蝕刻出液管，蝕刻出液管的管路上串設(shè)有蝕刻控制閥、并分成兩路，一路通過管路和設(shè)置在管路上的廢液收集控制閥與廢液貯池的進液口相連，另一路通過管路和設(shè)置在管路上的第一廢液控制閥與廢液池相連，廢液IC池的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的過濾控制閥與過濾貯池的進液口相連，過濾貯池的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的泵與壓濾機的進液口相連，壓濾機的出液口通過管路、設(shè)置在管路上的壓濾輸出控制閥與沉淀貯池的進液總管相連，沉淀貯池的沉淀出液總管串設(shè)沉淀輸出閥和泵后分成兩路，一路通過管路和串設(shè)在管路上的再濾控制閥與設(shè)置在過濾貯池上的再濾進液口相連，另一路通過管路和串設(shè)在管路上的第二廢液控制閥與廢液池相連，沉淀貯池的收集出液總管上串設(shè)有回收輸入控制閥，并與回收貯池的進液口相連，回收貯池的出液口通過管路和管路上的回收輸出控制閥和泵與混合貯池的進液口相連。
[0005]所述廢液貯池的數(shù)量為兩個，兩個廢液貯池并聯(lián)設(shè)置。
[0006]所述廢液貯池中設(shè)置有壓縮空氣鼓包系統(tǒng)。
[0007]所述沉淀貯池的數(shù)量為四個，分成兩個交替使用的沉淀貯池組。
[0008]所述壓濾機的數(shù)量為兩個，兩個壓濾機并聯(lián)設(shè)置。
[0009]本實用新型所要解決的第二個技術(shù)問題是:提供一種能提高配制精度的蝕刻液配制系統(tǒng)。
[0010]為解決上述問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是:所述混合貯池上設(shè)置有能精確的測量配制過程中每種單酸的注入量的稱重裝置、能對配制后的藥液進行濃度檢測的藥液濃度檢測儀和冷水降溫系統(tǒng)。
[0011]本實用新型的有益效果是:上述的蝕刻液配制系統(tǒng)，可對蝕刻廢液進行回收利用，解決了蝕刻領(lǐng)域蝕刻廢棄藥液直接排放造成使用和處理成本過高等問題，降低了生產(chǎn)成本，而且也有利于環(huán)保。另外，本實用新型還配備濃度自動測定儀，混合貯池中設(shè)置有稱重裝置，可以自動完成配比，杜絕人為計算配比出現(xiàn)偏差，提高配制精度。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)原理示意圖；
[0013]圖中:1、單酸貯池，2、混合貯池，3、成品混酸貯池，4、蝕刻設(shè)備貯池，5、回收貯池，6、壓濾機，7、過濾貯池，8、沉淀貯池，9、廢液貯池，10、廢液池，11、單酸出液管，12、單酸出液閥，13、單酸出液總管，14、單酸進液管，15、單酸進液閥，16、單酸進液總管，17、沉淀進液口，18、沉淀上出液口，19、沉淀下出液口，20、沉淀進液管，21、沉淀進液閥，22、沉淀進液總管，23、沉淀出液管，24、沉淀出液閥，25、沉淀出液總管，26、收集出液管，27、收集出液閥，28、收集出液總管，29、單酸控制閥，30、混合控制閥，31、成品控制閥，32、蝕刻出液管，33、蝕刻控制閥，34、廢液收集控制閥，35、第一廢液控制閥，36、過濾控制閥，37、壓濾輸出控制閥，38、沉淀輸出閥，39、再濾控制閥，40、再濾進液口，41、第二廢液控制閥，42、回收輸入控制閥，43、回收輸出控制閥，44、藥液濃度檢測儀。
【具體實施方式】
[0014]下面通過具體實施例對本實用新型所述的蝕刻液配制系統(tǒng)作進一步的詳細描述。
[0015]如圖1所示，蝕刻液配制系統(tǒng)，包括:多個單酸貯池組、至少一個混合貯池2、至少一個成品混酸貯池3、至少一個蝕刻設(shè)備貯池4，還包括有:至少一個回收貯池5、至少一個壓濾機6、至少一個過濾貯池7、至少一個沉淀貯池組、至少一個廢液貯池9和至少一個廢液池10 ；
[0016]每個單酸貯池組均包括有至少兩個單酸貯池1，同一個單酸貯池I組中的所有單酸貯池I用于存儲同一種類酸，同一個單酸貯池I組中，每個單酸貯池I的出液口上均連接有單酸出液管11，每個單酸出液管11的管路上均串設(shè)有單酸出液閥12，所有單酸出液管11的出液端連通、匯合成單酸出液總管13，每個單酸貯池I的進液口上均連接有單酸進液管14，每個單酸進液管14的管路上均串設(shè)有單酸進液閥15，所有單酸進液管14的進液端連通、匯合成單酸進液總管16 ；
[0017]每個沉淀貯池組均包括有至少兩個沉淀貯池8，同一個沉淀貯池8組中，每個沉淀貯池8上設(shè)置有沉淀進液口 17、沉淀上出液口 18和沉淀下出液口 19，所述沉淀貯池8呈上圓柱體下圓錐體設(shè)置，其中沉淀下出液口 19設(shè)置于圓錐體的底部，沉淀上出液口 18設(shè)置于圓柱體與圓錐體交界處的偏上位置，沉淀進液口 17上均連接有沉淀進液管20，每個沉淀進液管20的管路上均串設(shè)有沉淀進液閥21，所有沉淀進液管20的進液端連通、匯合成沉淀進液總管22，沉淀下出液口 19均連接有沉淀出液管23，每個沉淀出液管23的管路上串設(shè)有沉淀出液閥24，所有沉淀出液管23的出液端連通、匯合成沉淀出液總管25，沉淀上出液口 18上連接有收集出液管26，每個收集出液管26的管路上串設(shè)有收集出液閥27，所有收集出液管26的出液端連通、匯合成收集出液總管28 ；
[0018]每個單酸貯池I組的單酸出液總管13通過泵和管路以及串設(shè)在管路上的單酸控制閥29與混合貯池2的進液口相連，混合貯池2的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的泵和混合控制閥30與成品混酸貯池3的進液口相連，成品混酸貯池3的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的泵和成品控制閥31與蝕刻設(shè)備貯池4的進液口相連，蝕刻設(shè)備貯池4的出液口上設(shè)置有蝕刻出液管32，蝕刻出液管32的管路上串設(shè)有蝕刻控制閥33、并分成兩路，一路通過管路和設(shè)置在管路上的廢液收集控制閥34與廢液貯池9的進液口相連，另一路通過管路和設(shè)置在管路上的第一廢液控制閥35與廢液池10相連，廢液貯池9的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的過濾控制閥36與過濾貯池7的進液口相連，過濾貯池7的出液口通過管路和設(shè)置在管路上的泵與壓濾機6的進液口相連，壓濾機6的出液口通過管路、設(shè)置在管路上的壓濾輸出控制閥37與沉淀貯池8的沉淀進液總管22相連，沉淀貯池8的沉淀出液總管25串設(shè)沉淀輸出閥38和泵后分成兩路，一路通過管路