專利名稱：自動升降組件及納米探針制作組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)，特別涉及一種自動升降組件及納米探針制作組件。
背景技術(shù)：
納米探針在半導(dǎo)體芯片微小結(jié)構(gòu)的電性測試中發(fā)揮了非常重要的作用，由于使用 后的納米探針無法重復(fù)利用，因此，在半導(dǎo)體測試中需要消耗大量的納米探針。為了節(jié)約半 導(dǎo)體測試成本，通常應(yīng)用納米探針腐蝕器自制探針。 圖1為現(xiàn)有的納米探針制作組件的結(jié)構(gòu)示意圖，現(xiàn)結(jié)合圖1對現(xiàn)有的納米探針制 作組件的結(jié)構(gòu)進行說明書，具體如下現(xiàn)有的納米探針制作組件包括納米探針腐蝕器10、 U形管ll、銅棒12及鴇絲13。其中納米探針腐蝕器10包含陰極101和陽極102。納米探 針腐蝕器10的陽極102連接用于制作探針的鎢絲13，陰極101連接銅棒12 ;鎢絲103浸入 U型管11 一端的腐蝕液中，銅棒12浸入U型管11另一端的腐蝕液中；納米探針腐蝕器10 通過其陰極101和陽極102輸出電流，鎢絲13及銅棒12在腐蝕液中發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)，鎢絲 13被腐蝕，且靠近U型管11腐蝕液的液面的電化學(xué)反應(yīng)劇烈，隨著深度增加電化學(xué)反應(yīng)減 弱。浸入腐蝕液中且靠近液面處的鎢絲13被腐蝕得最快，且隨著深度的增加電化學(xué)反應(yīng)減 弱，因此，浸入腐蝕液中的鎢絲13逐漸變細、且沿電化學(xué)反應(yīng)劇烈處至液面方向逐漸變粗、 形成一定的錐度。當位于電化學(xué)反應(yīng)劇烈處的鎢絲13被腐蝕到足夠細，以至于浸入腐蝕液 中未完全被腐蝕掉的鎢絲13將該鎢絲最細處拉斷時，納米探針腐蝕器IO檢測到電流波動， 停止供電，此時U形管ll中的電化學(xué)反應(yīng)停止，由鎢絲制作得到納米探針。 但是，采用現(xiàn)有的納米探針制作組件獲得的納米探針的針尖錐度較大，且針尖的 長度較短，這就造成測試中遮擋視線，并影響成像質(zhì)量；若采用多個納米探針對同一區(qū)域進 行測試，可能由于針尖錐度較大且長度較短造成探針間相互碰觸，以至于探針針尖無法對 既定區(qū)域進行測試。 為了解決探針針尖長度較短的問題，通常在探針腐蝕過程中緩慢提升鎢絲，以獲 得針尖長度較長的探針，且提升速度越快，得到的針尖錐度就越小，針尖就越長。目前，通常 將用于制作探針的鎢絲固定于夾具上，夾具通過連桿固定于一螺桿。可通過手動旋轉(zhuǎn)螺桿 帶動固定于夾具上的探針沿豎直方向移動，實現(xiàn)對浸入腐蝕液中的鎢絲長度的控制。但是， 采用現(xiàn)有的組件由于采用手動提升，不僅難以做到提升速度均勻，而且耗費人力，采用現(xiàn)有 的組件制作的探針針尖錐度不均勻，影響了探針的品質(zhì)。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種納米探針制作組件，該組件能夠提高探針針尖 錐度的均勻性。 本實用新型還提供了一種自動升降組件，該組件能夠提高升降速度的均勻性。 為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案具體是這樣實現(xiàn)的 —種自動升降組件，其中，該組件包括支架；[0010] 可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離腐蝕液的第一驅(qū)動部，固定于支 架； 可夾持待伸入至腐蝕液的待腐蝕物的伸縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的一
丄山
順； 可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸 入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部； 以及，輸出第一控制信號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制 器。
上述組件中，所述第一驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于支架的第一殼體； 收容于第一殼體內(nèi)、并可依據(jù)第一控制信號正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第一電機； 以及，收容于第一殼體內(nèi)、將第一電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第一電機正
轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近腐蝕液、隨第一電機反轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部遠離腐蝕液的第一傳動元件。
上述組件中，所述第二驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于第一驅(qū)動部的第二殼體； 收容于第二殼體內(nèi)、并可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第二電 機； 以及，收容于第二殼體內(nèi)、將第二電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第二電機正 轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二傳動元件。 —種納米探針制作組件，包括盛有腐蝕液、且一端可置入銅棒、另一端可置入制 作探針的鎢絲的U形管； 陽極與鎢絲連接、陰極與銅棒連接、且輸出電流至鎢絲和銅棒直至獲得探針的納 米探針腐蝕器； 該組件還包括支架； 可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離U形管中腐蝕液的第一驅(qū)動部， 固定于支架； 可夾持待伸入至U型管腐蝕液的鎢絲的伸縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的
丄山
i而； 可依據(jù)第二控制信號在靠近U形管內(nèi)腐蝕液時驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持鎢 絲伸入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部； 以及，輸出第一控制信號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制 器。
上述組件中，所述第一驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于支架的第一殼體； 收容于第一殼體內(nèi)、并可依據(jù)第一控制信號正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第一電機； 以及，收容于第一殼體內(nèi)、將第一電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第一電機正
轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近腐蝕液、隨第一電機反轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部遠離腐蝕液的第一傳動元件。[0033] 上述組件中，所述第二驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于第一驅(qū)動部的第二殼體； 收容于第二殼體內(nèi)、并可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第二電 機； 以及，收容于第二殼體內(nèi)、將第二電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第二電機正 轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二傳動元件。 采用本實用新型的納米探針制作組件，第一驅(qū)動部可根據(jù)控制器輸出的第一控制 信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離腐蝕液，第二驅(qū)動部可根據(jù)控制器輸出的第二控制信號驅(qū) 動伸縮部伸縮，以控制固定于伸縮部的待腐蝕物伸入腐蝕液的長度；利用上述組件對鎢絲 進行腐蝕時，可提高伸入腐蝕液的鎢絲升降速度的均勻性，進而可利用腐蝕液中的電化學(xué) 反應(yīng)制作針尖錐度具有較高均勻性的探針。本實用新型還提供了一種自動提升組件，第一 驅(qū)動部可根據(jù)控制器輸出的第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離腐蝕液，第二驅(qū)動部 可根據(jù)控制器輸出的第二控制信號驅(qū)動伸縮部伸縮，以控制固定于伸縮部的待腐蝕物伸入 腐蝕液的長度；利用上述組件可對待腐蝕物伸入或遠離腐蝕液的升降速度進行控制，提高 升降速度的均勻性。

圖1為現(xiàn)有的納米探針制作組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型納米探針制作組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式為使本實用新型的目的、技術(shù)方案、及優(yōu)點更加清楚明白，以下參照附圖并舉實施 例，對本實用新型進一步詳細說明。 —種自動升降組件，其中，該組件包括支架；可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動 部靠近或遠離腐蝕液的第一驅(qū)動部，固定于支架；可夾持待伸入至腐蝕液的待腐蝕物的伸 縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的一端；可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時驅(qū)動伸 縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部；以及，輸出第一控制信 號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制器。 —種納米探針制作組件，包括盛有腐蝕液、且一端可置入銅棒、另一端可置入制
作探針的鎢絲的U形管；陽極與鎢絲連接、陰極與銅棒連接、且輸出電流至鎢絲和銅棒直至
獲得探針的納米探針腐蝕器；該組件還包括支架；可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部
靠近或遠離U形管中腐蝕液的第一驅(qū)動部，固定于支架；可夾持待伸入至U型管腐蝕液的鎢
絲的伸縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的一端；可依據(jù)第二控制信號在靠近U形管內(nèi)
腐蝕液時驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持鎢絲伸入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部；以及，輸出
第一控制信號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制器。 圖2為本實用新型納米探針制作組件的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)結(jié)合圖2，對本實用新型的
納米探針制作組件的結(jié)構(gòu)進行說明，具體如下 本實用新型納米探針制作組件包括納米探針腐蝕器20、 U型管21、銅棒22、鎢絲 23和自動提升組件，其中，自動提升組件包括控制器24、支架25、第一驅(qū)動部26、第二驅(qū)動部27和伸縮部28。 U型管21內(nèi)盛有腐蝕液，且U型管21 —端可被置入銅棒22，另一端可被置入鎢絲 23。本實施例中的腐蝕液為NaOH溶液。 納米探針腐蝕器20包含陰極201和陽極202。其陰極201連接銅棒22，其陽極202 連接鴇絲23，通過其陰極201和陽極202輸出電流至銅棒22和鴇絲23，且在鴇絲23被制 成探針時，檢測到波動電流，切斷輸出至銅棒22和鎢絲23的電流。納米探針腐蝕器20的 工作原理及結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相同，在此不再贅述。 本實用新型中的待腐蝕物為用于制作探針的鎢絲23，也可采用其他材料。 自動提升組件中的第一驅(qū)動部26包括第一電機261和第一傳動元件262 ;第二驅(qū)
動部27包括第二電機271和第二傳動元件272。 控制器24輸出第一控制信號至第一驅(qū)動部26，輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部 27 ;其中，控制器24內(nèi)可包括電源241、可調(diào)電阻242和脈沖發(fā)生器243。電源241輸出電 壓或電流至可調(diào)電阻242和脈沖發(fā)生器243 ;可調(diào)電阻242可依據(jù)需要調(diào)節(jié)輸出的電壓或 電流信號的大??；脈沖發(fā)生器243可依據(jù)需要調(diào)節(jié)輸出的電壓脈沖信號或電流脈沖信號的 占空比。第一控制信號為電壓信號或電流信號；第二控制信號為電壓脈沖信號或電流脈沖 信號。 第一驅(qū)動部26固定于支架25上，可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部27靠近或 遠離腐蝕液，還可根據(jù)第一控制信號控制第二驅(qū)動部27的運動速度。其中，第一驅(qū)動部26 包括一內(nèi)部裝設(shè)有支撐框架的第一殼體(說明書附圖未示出)，該第一殼體內(nèi)收容有第一 電機261和第一傳動元件262。 第一殼體固定于支架25上，具體地，第一殼體的支撐框架固定于支架25上。 第一電機261可依據(jù)第一控制信號正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，還可依據(jù)第一控制信號調(diào)整轉(zhuǎn) 速。本實施例中，第一電機261依據(jù)獲得的第一控制信號的正負極正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，依據(jù)第一控 制信號的大小調(diào)整轉(zhuǎn)速；第一電機261可為步進電機，還可為直流電機和減速器的組合。本 實施例中第一電機261選用直流電機和減速器的組合，與采用步進電機相比不僅成本較低 且無需額外的驅(qū)動電路，減速器能夠減緩直流電機的轉(zhuǎn)動速度，以便后續(xù)第一傳動元件262 的工作。 第一傳動元件262 —端連接第一電機261，另一端連接第二驅(qū)動部27，將第一電機 261的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動，可隨第一電機261正轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部27靠近腐蝕液，可隨第 一電機261反轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部27遠離腐蝕液。具體地，第一傳動元件262為絲杠傳動元 件，可將第一電機261的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動。絲杠傳動元件的組成及連接關(guān)系為現(xiàn)有技 術(shù)，在此不再贅述。 伸縮部28 —端夾持待伸入至U型管21腐蝕液的待腐蝕物，另一端裝設(shè)于第二驅(qū)
動部27 ;具體地，伸縮部28可采用螺釘和卡槽相結(jié)合以固定待腐蝕物。 第二驅(qū)動部27依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時驅(qū)動伸縮部28伸縮，以調(diào)整所
夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度，還可依據(jù)第二控制信號控制伸縮部28的運動速度。其
中，第二驅(qū)動部27包括一內(nèi)部裝設(shè)有支撐框架的第二殼體(說明書附圖未示出)，該第二殼
體內(nèi)收容有第二電機271和第二傳動元件272。 第二殼體與第一驅(qū)動部26的第二傳動元件262連接，具體地，第二殼體的支撐框架通過連桿連接第二傳動元件262。 第二電機271可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，還可依據(jù)第二控 制信號調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速。本實施例中，第二電機271依據(jù)獲得的第二控制信號的正負極正轉(zhuǎn)或反 轉(zhuǎn)，依據(jù)第二控制信號的信號占空比調(diào)整轉(zhuǎn)速；第二電機271可為步進電機，還可為直流電 機和減速器的組合。本實施例中第二電機271選用直流電機和減速器的組合，與采用步進 電機相比不僅成本較低且無需額外的驅(qū)動電路，減速器能夠減緩直流電機的轉(zhuǎn)動速度，以 便后續(xù)第二傳動元件272的工作。 第二傳動元件272 —端連接第二電機271，另一端連接伸縮部28，將第二電機271 的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動；可隨第二電機271正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動伸縮部28伸縮，以調(diào)整所夾持 待腐蝕物伸入至U形管21腐蝕液的長度；可隨第二電機271的轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)所夾持的待腐蝕物 的升降速度，以控制獲得的探針的錐度。具體地，第二傳動元件272為絲杠傳動元件，可將 第二電機271的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動。絲杠傳動元件的組成及連接關(guān)系為現(xiàn)有技術(shù)，在此 不再贅述。。 本實用新型的上述實施例中，在制作探針時，第一驅(qū)動部26可根據(jù)第一控制信號 驅(qū)動第二驅(qū)動部27，以使連接第二驅(qū)動部27的伸縮部28固定的鎢絲23完全浸入U型管 21中的腐蝕液中；第二驅(qū)動部27可根據(jù)第二控制信號驅(qū)動伸縮部28遠離腐蝕液，以使伸 縮部28固定的鎢絲23從腐蝕液中以一定的速度提升，由于腐蝕液中電化學(xué)反應(yīng)的劇烈程 度不同，鎢絲23在從腐蝕液中提升的過程中被腐蝕成具有一定錐度的探針。 本實用新型的上述實施例中，可將納米探針腐蝕器20的陽極202直接連接鎢絲 23，也可將納米探針腐蝕器20的陽極202連接一導(dǎo)線，該導(dǎo)線經(jīng)由第一驅(qū)動部27和第二驅(qū) 動部26內(nèi)部連接至固定于伸縮部28的鎢絲23。 本實用新型的上述實施例中，可根據(jù)需要制作所需的探針，可利用電化學(xué)反應(yīng)對 鎢絲進行腐蝕，制作所需的探針；也可利用電化學(xué)反應(yīng)對其他金屬進行腐蝕以制作所需的 探針。 本實用新型還提供了一種自動升降組件，該組件包括控制器24、支架25、第一驅(qū)
動部26、第二驅(qū)動部27和伸縮部28，該組件中控制器24、支架25、第一驅(qū)動部26、第二驅(qū)動
部27和伸縮部28的連接關(guān)系、結(jié)構(gòu)和功能與納米探針制作組件中的相同，在此不再贅述。
本實用新型的自動升降組件能夠?qū)崿F(xiàn)對被腐蝕物升降速度的控制，提高升降速度均勻性，
應(yīng)用于納米探針制作組件中，能夠通過調(diào)整升降速度有效控制探針的錐度。 綜上所述，以上為本實用新型的較佳實施例，并非用來限定本實用新型的保護范
圍。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本
實用新型的保護范圍之內(nèi)。
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權(quán)利要求一種自動升降組件，其中，該組件包括支架；可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離腐蝕液的第一驅(qū)動部，固定于支架；可夾持待伸入至腐蝕液的待腐蝕物的伸縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的一端；可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部；以及，輸出第一控制信號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的組件，其特征在于，所述第一驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于支架的第一殼體；收容于第一殼體內(nèi)、并可依據(jù)第一控制信號正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第一電機； 以及，收容于第一殼體內(nèi)、將第一電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第一電機正轉(zhuǎn)驅(qū) 動第二驅(qū)動部靠近腐蝕液、隨第一電機反轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部遠離腐蝕液的第一傳動元件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的組件，其特征在于，所述第二驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于第一驅(qū)動部的第二殼體；收容于第二殼體內(nèi)、并可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第二電機； 以及，收容于第二殼體內(nèi)、將第二電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第二電機正轉(zhuǎn)或 反轉(zhuǎn)驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二傳動元件。
4. 一種納米探針制作組件，包括盛有腐蝕液、且一端可置入銅棒、另一端可置入制作探針的鎢絲的U形管； 陽極與鎢絲連接、陰極與銅棒連接、且輸出電流至鎢絲和銅棒直至獲得探針的納米探 針腐蝕器；其特征在于，該組件還包括 支架；可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離U形管中腐蝕液的第一驅(qū)動部，固定 于支架；可夾持待伸入至U型管腐蝕液的鎢絲的伸縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的一端?？梢罁?jù)第二控制信號在靠近U形管內(nèi)腐蝕液時驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持鎢絲伸 入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部；以及，輸出第一控制信號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制器。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的組件，其特征在于，所述第一驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于支架的第一殼體；收容于第一殼體內(nèi)、并可依據(jù)第一控制信號正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第一電機； 以及，收容于第一殼體內(nèi)、將第一電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第一電機正轉(zhuǎn)驅(qū) 動第二驅(qū)動部靠近腐蝕液、隨第一電機反轉(zhuǎn)驅(qū)動第二驅(qū)動部遠離腐蝕液的第一傳動元件。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的組件，其特征在于，所述第二驅(qū)動部包括 具有支撐框架且固定于第一驅(qū)動部的第二殼體；收容于第二殼體內(nèi)、并可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的第二電機； 以及，收容于第二殼體內(nèi)、將第二電機的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動、并可隨第二電機正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二傳動元件。
專利摘要本實用新型提供了一種自動升降組件，該組件包括支架；可根據(jù)第一控制信號驅(qū)動第二驅(qū)動部靠近或遠離腐蝕液的第一驅(qū)動部，固定于支架；可夾持待伸入至腐蝕液的待腐蝕物的伸縮部，裝設(shè)于第二驅(qū)動部朝向腐蝕液的一端；可依據(jù)第二控制信號在靠近腐蝕液時驅(qū)動伸縮部伸縮、以調(diào)整所夾持待腐蝕物伸入至腐蝕液長度的第二驅(qū)動部；以及，輸出第一控制信號至第一驅(qū)動部、輸出第二控制信號至第二驅(qū)動部的控制器。本實用新型還提供了一種納米探針制作組件。采用本實用新型的自動升降組件，能夠提高升降速度的均勻性；采用本實用新型提供的納米探針制作組件，能夠提高探針升降速度的均勻性，進而能夠提高探針針尖錐度的均勻性。
文檔編號G01R1/067GK201548576SQ20092021200
公開日2010年8月11日 申請日期2009年11月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月3日
發(fā)明者崔立超 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司