觸摸屏、感放射線性樹脂組合物及硬化膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明設(shè)及一種觸摸屏、感放射線性樹脂組合物及硬化膜。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，在個(gè)人數(shù)字助理（Personal Digital Assistant,PDA)、筆記型個(gè)人計(jì)算 機(jī)（Note Personal Computer,筆記型PC)、辦公自動(dòng)化機(jī)器（Office Automation Equipment,OA機(jī)器)及汽車導(dǎo)航系統(tǒng)(化r化vigation System)等電子機(jī)器中，盛行使用觸 摸屏作為運(yùn)些顯示器的輸入裝置。
[0003] 觸摸屏可通過W操作者的手指或筆等觸碰(按壓)其表面，將所述觸碰操作的數(shù)據(jù) 輸出至各種處理裝置中，由此可進(jìn)行電子機(jī)器的操作。觸摸屏是變?yōu)殒I盤化eyboard)的輸 入裝置，在上述電子機(jī)器等中，可W對話形式而簡便地進(jìn)行信息輸入。
[0004] 觸摸屏中，根據(jù)動(dòng)作原理而存在有電阻膜方式、靜電電容方式、紅外線方式、超聲 波方式及電磁感應(yīng)禪合方式等。
[0005] 在此種觸摸屏中，例如存在有如靜電電容方式那樣，將在規(guī)定方向上延伸存在的 多個(gè)第1檢測電極、在與其交叉的方向上延伸存在的第2檢測電極加 W組合，配置于玻璃等 透明基板上的結(jié)構(gòu)的觸摸屏。運(yùn)些檢測電極分別利用電性連接的配線而引導(dǎo)至透明基板的 端部。在與檢測電極連接的配線的另一個(gè)端部，形成有例如用W連接所述觸摸屏的端子。
[0006] 而且，在靜電電容方式中，例如如專利文獻(xiàn)1所掲示那樣，已知有在透明基板的其 中一個(gè)面上，在同一層配置第1檢測電極與第2檢測電極的結(jié)構(gòu)。
[0007] 專利文獻(xiàn)1中所記載的觸摸屏的第1檢測電極及第2檢測電極分別包含:菱形形狀 且面積大的多個(gè)電極墊，連接運(yùn)些之間的比電極墊更窄的窄幅形狀的連接部分。而且，第1 檢測電極與第2檢測電極在各個(gè)連接部分相互交叉，但在所述交叉部分配置有透光性的層 間絕緣膜。因此，專利文獻(xiàn)1的觸摸屏W如下方式而構(gòu)成:第1檢測電極與第2檢測電極在各 個(gè)連接部分經(jīng)由層間絕緣膜而重疊，W確保絕緣性。而且，運(yùn)些第1檢測電極及第2檢測電極 分別利用電性連接的配線而引導(dǎo)至透明基板的端部。在與檢測電極連接的配線的另一個(gè)端 部，形成有用W連接觸摸屏的端子。
[000引現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)
[0010] 專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2008-310551號公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)2:國際公開第2006/025347號說明書

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 發(fā)明要解決的課題
[0013] 此種結(jié)構(gòu)的觸摸屏在絕緣性基板上包含檢測電極、用W與所述檢測電極電性連接 而將檢測電極引導(dǎo)至基板端部的配線而構(gòu)成。在觸摸屏中，與各檢測電極連接的配線并非 直接用W檢出操作者的手指等的觸碰操作的。也即，在觸摸屏中，與各檢測電極連接的配線 的形成區(qū)域成為在觸碰操作及其檢出中并不使用的區(qū)域。
[0014] 因此，在觸摸屏中優(yōu)選的是配線形成區(qū)域小而狹窄的。通過如上所述地使配線形 成區(qū)域狹小化，觸摸屏可較大地設(shè)置操作者的手指等進(jìn)行觸摸而進(jìn)行觸碰操作的操作區(qū) 域。
[0015] 在觸摸屏中，為了使配線形成區(qū)域狹小化，優(yōu)選的是較細(xì)地形成與檢測電極電性 連接的各配線。因此要求使用低電阻的材料而形成配線。在觸摸屏中，與檢測電極連接的配 線例如可設(shè)為使用銅等金屬的金屬配線，可實(shí)現(xiàn)低電阻化。
[0016] 然而，觸摸屏在使用玻璃基板等作為基板的情況下，例如包含銅的金屬配線與基 板之間的密接力低。觸摸屏在操作者用手指實(shí)際接觸、按壓操作區(qū)域而使用的情況等時(shí)，要 求可耐變形的強(qiáng)度?？傊笥|摸屏并不產(chǎn)生配線等構(gòu)成構(gòu)件自基板剝離等不良。而且， 觸摸屏為了抑制檢測電極或配線的斷線或剝離等不良，變得可長時(shí)間使用，要求具有高的 可靠性。
[0017] 在專利文獻(xiàn)2中，由于在銅(化）中添加適宜的添加元素而成的銅合金，所述添加元 素形成氧化膜而成為覆膜，抑制化氧化，且形成與所述覆膜所鄰接的絕緣層的界面，防止相 互擴(kuò)散。由此提供高導(dǎo)電性、且與基板的密接性優(yōu)異的銅配線。
[0018] 然而，存在如下問題:作為此種氧化膜的覆膜、與作為有機(jī)膜的W覆蓋銅配線的方 式而設(shè)置的配線的保護(hù)膜之間的密接性低，來自外部的水分滲入，腐蝕銅配線。
[0019] 本發(fā)明是鑒于如上所述的課題而成的。也即，本發(fā)明的目的在于提供:具有金屬配 線，由金屬氧化膜所形成的金屬配線的覆膜與作為覆蓋所述金屬配線的有機(jī)膜的硬化膜的 密接性良好，且具有高的可靠性的觸摸屏。
[0020] 而且，本發(fā)明的目的在于提供用W形成覆蓋觸摸屏的金屬配線且與所述金屬配線 的密接性良好的硬化膜的感放射線性樹脂組合物。
[0021] 而且，本發(fā)明的目的在于提供覆蓋觸摸屏的金屬配線且與所述金屬配線的密接性 良好的硬化膜。
[0022] 解決問題的技術(shù)手段
[0023] 本發(fā)明的第1實(shí)施方式設(shè)及一種觸摸屏，其是包含金屬配線與覆蓋所述金屬配線 的至少一部分的硬化膜的觸摸屏，其特征在于：
[0024] 所述金屬配線是包含銅、銅W外的第2金屬元素的金屬配線，
[0025] 所述硬化膜是使用感放射線性樹脂組合物而形成的，所述感放射線性樹脂組合物 含有(A)感光劑、W及(B)含有烷氧基娃烷基的化合物及所述化合物的水解縮合物的至少一 個(gè)。
[0026] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是是金屬配線是含有包含銅的第1層、包含銅 W外的第2金屬元素的氧化物且W覆蓋所述第1層的至少一部分的方式而構(gòu)成的第2層的金 屬配線。
[0027] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是所述第2金屬元素是選自由裡、錯(cuò)、鎖、錫、 領(lǐng)、錯(cuò)、欽、憐、儘、儀、巧、儀、鋒、娃、侶、被、嫁、銅、鐵、鐵、饑、鉆、錯(cuò)及給所組成的群組的至 少一種。
[0028] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是所述第2金屬元素是儘。
[0029] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是所述硬化膜是使用進(jìn)一步含有(C)堿可溶性 樹脂的感放射線性樹脂組合物而形成的。
[0030] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是形成所述硬化膜的感放射線性樹脂組合物 的（C)成分包含選自由具有簇基的丙締酸樹脂、聚酷胺及聚硅氧烷所組成的群組的至少一 種。
[0031] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是所述硬化膜是使用進(jìn)一步含有(D)抗氧化劑 的感放射線性樹脂組合物而形成的。
[0032] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是所述硬化膜是使用進(jìn)一步含有(F)作為包含 選自由娃、侶、錯(cuò)、鐵、鋒、銅、錫、錬、鎖、領(lǐng)、姉及給所組成的群組的至少一種元素的氧化物 的無機(jī)氧化物粒子的感放射線性樹脂組合物而形成的。
[0033] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是形成所述硬化膜的感放射線性樹脂組合物 的(A)成分包含光酸產(chǎn)生物及光聚合引發(fā)劑的至少一個(gè)。
[0034] 在本發(fā)明的第1實(shí)施方式中，優(yōu)選的是形成所述硬化膜的感放射線性樹脂組合物 的(B)成分包含具有氨基、嵌段氨基、異氯酸醋基及嵌段異氯酸醋基的至少一種的化合物。
[0035] 本發(fā)明的第2實(shí)施方式設(shè)及一種感放射線性樹脂組合物，其是含有(A)感光劑、W 及(B)含有烷氧基娃烷基的化合物及所述化合物的水解縮合物的至少一個(gè)而成的感放射線 性樹脂組合物，其特征在于：
[0036] 用W形成觸摸屏的硬化膜，所述觸摸屏包含金屬配線與覆蓋所述金屬配線的至少 一部分的所述硬化膜，所述金屬配線含有包含銅的第1層、及包含銅W外的第2金屬元素的 氧化物且W覆蓋所述第1層的至少一部分的方式而構(gòu)成的第2層。
[0037] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是進(jìn)一步包含(C)堿可溶性樹脂。
[0038] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是在包含(C)堿可溶性樹脂的情況下，所述(C) 成分包含選自由具有簇基的丙締酸樹脂、聚酷胺及聚硅氧烷所組成的群組的至少一種。
[0039] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是所述金屬配線的第2層中所含的所述第2金 屬元素的氧化物是選自由裡、錯(cuò)、鎖、錫、領(lǐng)、錯(cuò)、欽、憐、儘、儀、巧、儀、鋒、娃、侶、被、嫁、銅、 鐵、鐵、饑、鉆、錯(cuò)及給所組成的群組的至少一種元素的氧化物。
[0040] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是進(jìn)一步包含(D)抗氧化劑。
[0041] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是進(jìn)一步包含化)多官能（甲基)丙締酸醋。
[0042] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是進(jìn)一步包含(F)作為包含選自由娃、侶、錯(cuò)、 鐵、鋒、銅、錫、錬、鎖、領(lǐng)、姉及給所組成的群組的至少一種元素的氧化物的無機(jī)氧化物粒 子。
[0043] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是(A)成分包含光酸產(chǎn)生物及光聚合引發(fā)劑的 至少一個(gè)。
[0044] 在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，優(yōu)選的是(B)成分包含具有氨基、嵌段氨基、異氯酸醋 基及嵌段異氯酸醋基的至少一種的化合物。
[0045] 本發(fā)明的第3實(shí)施方式設(shè)及一種硬化膜，其是由感放射線性樹脂組合物而形成的 硬化膜，所述感放射線性樹脂組合物是含有(A)感光劑、W及(B)含有烷氧基娃烷基的化合 物及所述化合物的水解縮合物的至少一個(gè)而成的，其特征在于：
[0046] 用W覆蓋包含金屬配線的觸摸屏的所述金屬配線的至少一部分，所述金屬配線含 有包含銅的第1層、與包含銅W外的第2金屬元素的氧化物且W覆蓋所述第1層的至少一部 分的方式而構(gòu)成的第2層。
[0047]發(fā)明的效果
[004引根據(jù)本發(fā)明的第1實(shí)施方式而獲得具有金屬配線，由金屬氧化膜所形成的金屬配 線的覆膜與作為覆蓋所述金屬配線的有機(jī)膜的硬化膜的密接性良好，且具有高的可靠性的 觸摸屏。
[0049] 根據(jù)本發(fā)明的第2實(shí)施方式而獲得用W形成覆蓋觸摸屏的金屬配線且與所述金屬 配線的密接性良好的硬化膜的感放射線性樹脂組合物。
[0050] 根據(jù)本發(fā)明的第3實(shí)施方式而獲得覆蓋觸摸屏的金屬配線且與所述金屬配線的密 接性良好的硬化膜。
【附圖說明】
[0051] 圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的觸摸屏的一例的平面圖。
[0052] 圖2是沿圖1的B-B^線的剖面圖。
[0053] 圖3是示意性地表示本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的觸摸屏所具有的配線的結(jié)構(gòu)的一例 的剖面圖。
[0054] 圖4是表示為了形成觸摸屏而在透明基板上所形成的配線、第1檢測電極及第2檢 測電極的平面圖。
[0055] 圖5是表示為了形成觸摸屏而在透明基板上所形成的配線、第1檢測電極、第2檢測 電極、層間絕緣層及橋接配線的平面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0056] W下，使用附圖而對本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)加 W適宜說明。
[0057] 另外，在本發(fā)明中，曝光時(shí)所照射的"放射線"包含可見光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、X 射線及帶電粒子束等。
[0化引實(shí)施形態(tài)1.
[0化9] <觸摸屏〉
[0060] 本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的觸摸屏是包含金屬配線與覆蓋所述金屬配線的至少一部分 的硬化膜的觸摸屏。也即，本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏在基板上包含用W檢出操作者的手指等的 觸碰操作的檢測電極。而且，本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏包含與檢測電極電性連接的配線，所述配 線是使用金屬材料而形成的金屬配線。在本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏中，與檢測電極連接的配線 包含用W將檢測電極引導(dǎo)至觸摸屏的基板的端部的配線，而且包含用W將斷開的檢測電極 的部分彼此連接的配線。另外，本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏包含覆蓋金屬配線的至少一部分的硬 化膜。
[0061] 本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏可作為靜電電容方式的觸摸屏。
[0062] 圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的觸摸屏的一例的平面圖。
[0063] 圖2是沿圖1的B-B^線的剖面圖。
[0064] 如圖1所示，本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏21在透明基板22的表面包含:在X方向上延伸存 在的第1檢測電極23、在與X方向正交的Y方向上延伸存在的第2檢測電極24。
[0065] 透明基板22可設(shè)為玻璃基板。而且，透明基板22可設(shè)為樹脂基板，在運(yùn)種情況下， 可使用聚對苯二甲酸乙二醋膜、聚對苯二甲酸下二醋膜、聚乙締膜、聚丙締膜、聚酸諷膜、聚 碳酸醋膜、聚丙締酸膜、聚氯乙締膜、聚酷亞胺膜、環(huán)狀締控的開環(huán)聚合物膜及包含其氨化 物的膜等。作為透明基板22的厚度，在玻璃基板的情況下，可設(shè)為0.1mm~3mm。在樹脂基板 的情況下，可設(shè)為10皿~3000皿。
[0066] 第1檢測電極23及第2檢測電極24分別配置多個(gè)。而且，第1檢測電極23及第2檢測 電極24在觸摸屏21的操作區(qū)域配置為矩陣狀。第1檢測電極23用W檢出操作者的觸碰位置 的Y方向的座標(biāo)。第2檢測電極2 4用W檢出操作者的觸碰位置的X方向的座標(biāo)。第1檢測電極 23與第2檢測電極24設(shè)于透明基板22的同一面的同一層上。另外，第1檢測電極23及第2檢測 電極24的數(shù)量并不限于圖1的例子，優(yōu)選的是根據(jù)操作區(qū)域的大小與所需的觸碰位置的檢 出精度而決定。也即，可使用更多數(shù)量或更少數(shù)量的第1檢測電極23及第2檢測電極24而構(gòu) 成觸摸屏21。
[0067] 如圖1所示，第1檢測電極23及第2檢測電極24分別包含菱形形狀的多個(gè)電極墊30。 第1檢測電極23與第2檢測電極24 W第1檢測電極23的電極墊30與其所鄰接的第2檢測電極 24的電極墊30隔開的方式進(jìn)行配置。此時(shí)，運(yùn)些電極墊30之間的間隙設(shè)為可確保絕緣性的 程度的極小間隙。
[0068] 而且，第1檢測電極23與第2檢測電極24W相互交叉的部分盡可能小的方式進(jìn)行配 置。而且，使構(gòu)成第1檢測電極23及第2檢測電極24的電極墊30配置于觸摸屏21的操作區(qū)域 的整體。
[0069] 如圖1所示，電極墊30可設(shè)為菱形形狀，但并不限于此種形狀，例如可設(shè)為六邊形 等多邊形形狀。
[0070] 優(yōu)選的是第1檢測電極23及第2檢測電極24分別為透明電極。此處，所謂透明電極 是對于可見光而言具有高的透射性的電極。第1檢測電極23及第2檢測電極24可使用包含 ITO的電極、包含氧化銅與氧化鋒的電極等包含透明導(dǎo)電材料的電極。在第1檢測電極23及 第2檢測電極24分別包含ITO的情況下，為了確保充分的導(dǎo)電性，優(yōu)選的是將運(yùn)些的厚度設(shè) 為 IOnm ~IOOnm。
[0071] 第1檢測電極23及第2檢測電極24的形成可使用公知的方法而進(jìn)行，例如可通過如 下方式而進(jìn)行:使用瓣鍛法等而形成包含ITO等透明導(dǎo)電材料的膜，利用光刻法等而進(jìn)行圖 案化。
[0072] 如圖1及圖2所示，第1檢測電極23及第2檢測電極24形成于透明基板22的同一面 上，成為同一層。因此，第1檢測電極23與第2檢測電極24在操作區(qū)域中，在多個(gè)部位交叉，形 成交叉部28。
[0073] 在本實(shí)施形態(tài)的觸摸屏21中，如圖2所示，在交叉部28中，W第1檢測電極23及第2 檢測電極24的任意一個(gè)與另一個(gè)并不接觸的方式進(jìn)行斷開。也即，在交叉部28中，連接第1 檢測電極23,但斷開地形成在圖2的左右方向伸展的第2檢測電極24。而且，為了電性連接第 2檢測電極24的中斷的部位，設(shè)有橋接配線32。在橋接配線32與第1檢測電極23之間設(shè)有包 含絕緣性物質(zhì)的層間絕緣膜29。
[0074] 如圖2所示，在交叉部28中，設(shè)于第1檢測電極23上的層間絕緣膜29由透光性優(yōu)異 的材料而形成。可使用印刷法而涂布聚硅氧烷、丙締酸系樹脂、及丙締酸系單體等，在必要 的情況下進(jìn)行圖案化之后，使其加熱硬化而形成層間絕緣膜29。在使用聚硅氧烷而形成的 情況下，層間絕緣膜29成為包含氧化娃(Si〇2)的無機(jī)絕緣層。而且，在使用丙締酸系樹脂、 及丙締酸系單體的情況下，層間絕緣膜29成為包含樹脂的有機(jī)絕緣層。在層間絕緣膜29中 使用Si化的情況下，例如也可利用使用掩模的瓣鍛法，僅僅在交叉部28的第1檢測電極23上 形成Si化膜，構(gòu)成層間絕緣膜29。
[0075] 在層間絕緣膜29的上層設(shè)有橋接配線32。橋接配線32可如上所述地實(shí)現(xiàn)將在交叉 部28被中斷的第2檢測電極24彼此電性連接的功能。橋接配線32優(yōu)選的是由ITO等透光性優(yōu) 異的材料而形成。而且，橋接配線32也可使用電阻特性優(yōu)異的金屬材料而構(gòu)成，成為金屬配 線。橋接配線32可通過設(shè)為電阻特性優(yōu)異的金屬配線而使線寬變細(xì)，對于觸摸屏21的操作 者而言可變得難W顯眼。在觸摸屏21中，通過設(shè)置橋接配線32,可在Y方向上電性連接第2檢 測電極24。
[0076] 如圖2所示，第1檢測電極23及第2檢測電極24如上所述地具有縱或橫地排列有多 個(gè)菱形的電極墊30的形狀。在第1檢測電極23中，位于交叉部28的連接部分成為比第1檢測 電極23的菱形的電極墊30的寬度更窄的形狀。而且，橋接配線32也是比菱形的電極墊30的 寬度更窄的形狀，形成為短條狀。
[0077] 在觸摸屏21的第1檢測電極23與第2檢測電極24的端部分別設(shè)有端子(未圖示），自 所述端子分別導(dǎo)出配線31。
[0078] 圖3是示意性地表示本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的觸摸屏所具有的配線的結(jié)構(gòu)的剖面 圖。
[0079] 在本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的觸摸屏21中，配線31是金屬配線。而且，配線31優(yōu)選的 是包含銅、銅W外的第2金屬元素的金屬配線。而且，所述第2金屬元素優(yōu)選的是選自由裡、 錯(cuò)、鎖、錫、領(lǐng)、錯(cuò)、欽、憐、儘、儀、巧、儀、鋒、娃、侶、被、嫁、銅、