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      圖像傳感器的金屬互聯(lián)層結(jié)構(gòu)及其形成方法與流程

      文檔序號:12725416閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提供一種圖像傳感器的金屬互聯(lián)層結(jié)構(gòu),包括:設(shè)置于器件層上的若干層金屬層;位于金屬層之間的介質(zhì)層;其中,在至少一對相鄰金屬層中,上一層金屬層的底面的豎直高度低于下一層金屬層的頂面的豎直高度。

      技術(shù)研發(fā)人員:李杰
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:格科微電子(上海)有限公司
      文檔號碼:201510932093
      技術(shù)研發(fā)日:2015.12.15
      技術(shù)公布日:2017.06.23

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