本公開涉及腔室內維護設備、系統(tǒng)和使用它們的維護方法。

背景技術：

1、在半導體工藝之中，蝕刻是通過將工藝所需的反應氣體注入真空腔室并生成等離子體而在晶片上蝕刻電路圖案的工藝。此時，蝕刻發(fā)生在腔室內的其他部件上或者沉積物累積在腔室內，并且為了防止工藝質量的劣化，執(zhí)行定期維護加工(即，預防性維護，pm)(諸如，腔室內的消耗品的替換、清潔和部件檢查等)。

2、具體地，當組裝部件(聚焦環(huán)、石英環(huán)等)圍繞腔室內的靜電卡盤(esc)時，需要精密的同心對齊和間隔控制，并且必須注意避免在上面的加工中損壞物體。

3、最近，已經(jīng)開發(fā)了移動機器人以使各種維護任務自動化，但是移動機器人由于多個驅動部件的操作而不可以避免地生成累積誤差，因此移動機器人不容易用于需要精密加工的工藝(諸如，半導體工藝)中。

技術實現(xiàn)思路

1、本公開提供了腔室內維護設備、系統(tǒng)和使用它們的維護方法，所述腔室內維護設備、系統(tǒng)和使用它們的維護方法能通過能夠進行精密操作的載物臺模塊和夾持器模塊在腔室內執(zhí)行精密加工，并且能夠根據(jù)可替換夾持器模塊的加工部的結構執(zhí)行各種加工。

2、一種腔室內維護設備可以包括：載物臺模塊，包括：載物臺主體，在具有中空內部的腔室內；xy載物臺，在載物臺主體的上表面上并且在彼此垂直的x軸和y軸方向上可移動；以及第一驅動部，被配置為驅動xy載物臺；以及夾持器模塊，包括：夾持器主體，結合到xy載物臺的上表面；夾持部，通過夾持器主體支撐并且被配置為相對于與x軸和y軸垂直的z軸上下移動和旋轉以插入中空內部；以及第二驅動部，被配置為驅動夾持部。

3、一種腔室內維護設備可以包括：載物臺模塊，包括：載物臺主體，在具有開口并且具有中空內部的腔室內；xy載物臺，在載物臺主體的上表面上并且在彼此垂直的x軸和y軸方向上可移動；以及第一驅動部，被配置為驅動xy載物臺；夾持器模塊，包括：夾持器主體，結合到xy載物臺的上表面；夾持部，通過夾持器主體支撐并且被配置為相對于與x軸和y軸垂直的z軸上下移動和旋轉并且在中空內部中被接收；以及第二驅動部，被配置為驅動夾持部；以及操縱器，結合到夾持器模塊的上表面并且被配置為移動夾持器模塊。

4、根據(jù)一些實施例，通過使用包括能夠進行精密操作的載物臺模塊和夾持器模塊的腔室內維護設備，可以通過將根據(jù)常規(guī)自動化設備的各種驅動部的誤差的累積最小化來使腔室內的精密加工自動化。

技術特征：

1.一種腔室內維護設備，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的腔室內維護設備，其中，第一驅動部被配置為在xy載物臺被設置在其上的x-y平面上的x軸和y軸上水平移動xy載物臺，并且沿著z軸上下移動載物臺主體。

3.根據(jù)權利要求2所述的腔室內維護設備，其中，

4.根據(jù)權利要求1所述的腔室內維護設備，其中，載物臺模塊包括：第一傳感器，被配置為測量載物臺模塊的位置。

5.根據(jù)權利要求1所述的腔室內維護設備，其中，夾持器模塊包括：第二驅動軸，沿z軸方向延伸并且連接夾持器主體和夾持部。

6.根據(jù)權利要求5所述的腔室內維護設備，其中，第二驅動軸沿z軸延伸以支撐夾持部，并且被配置為被驅動以相對于z軸上下移動和旋轉。

7.根據(jù)權利要求1所述的腔室內維護設備，其中，夾持部包括第一加工部和第二加工部，第一加工部和第二加工部沿與xy載物臺被設置在其上的x-y平面平行的方向延伸。

8.根據(jù)權利要求7所述的腔室內維護設備，其中，第一加工部和第二加工部在延伸方向上具有可調節(jié)的長度，使得第一加工部與第二加工部之間的間隔是可調節(jié)的。

9.根據(jù)權利要求1所述的腔室內維護設備，其中，夾持器模塊包括在夾持器主體的下表面上的第二傳感器。

10.根據(jù)權利要求9所述的腔室內維護設備，其中，第二傳感器被配置為測量夾持器主體與夾持器主體下方的物體之間的間隔或距離。

11.根據(jù)權利要求9所述的腔室內維護設備，其中，第二傳感器是視覺傳感器和位移傳感器中的至少一個。

12.一種腔室內維護設備，包括：

13.根據(jù)權利要求12所述的腔室內維護設備，其中，

14.根據(jù)權利要求13所述的腔室內維護設備，其中，第三連接部包括：

15.根據(jù)權利要求13所述的腔室內維護設備，其中，操縱器包括：

16.根據(jù)權利要求15所述的腔室內維護設備，其中，夾持器模塊的第四連接部和第五連接部包括：電源連接部，被配置為從腔室的電源單元或操縱器供應電力。

17.根據(jù)權利要求12所述的腔室內維護設備，其中，操縱器是可水平移動的。

18.根據(jù)權利要求12所述的腔室內維護設備，其中，第一驅動部被配置為在xy載物臺被設置在其上的x-y平面上的x軸和y軸上水平移動xy載物臺，并且沿著z軸上下移動載物臺主體。

19.根據(jù)權利要求18所述的腔室內維護設備，其中，

20.根據(jù)權利要求12所述的腔室內維護設備，其中，載物臺模塊包括：第一傳感器，被配置為測量載物臺模塊的位置。

技術總結
提供了腔室內維護設備。所述腔室內維護設備可以包括：載物臺模塊，包括：載物臺主體，在具有中空內部的腔室內；XY載物臺，安裝在載物臺主體的上表面上并且在彼此垂直的X軸和Y軸方向上可移動；以及第一驅動部，被配置為驅動XY載物臺；以及夾持器模塊，包括：夾持器主體，結合到XY載物臺的上表面；夾持部，通過夾持器主體支撐并且被配置為相對于與X軸和Y軸垂直的Z軸上下移動和旋轉以插入中空內部；以及第二驅動部，被配置為驅動夾持部。

技術研發(fā)人員：樸柾俊,高鐘星,金大容,金東賢,金志洙,金平剛,樸基鴻,樸正濬,樸柱永,樸俊赫,宋鎬石,安治昊,李供雨,李現(xiàn)英,鄭周泳,黃政閔
受保護的技術使用者：三星電子株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/11/14