雙焊頭固晶裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體固晶技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種兩個焊頭的固晶裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體固晶裝置在進行作時需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應位置后，由機械手將晶圓拾起后精確地將晶圓放置在鍵合的位置，進行后序鍵合操作。
[0003]現(xiàn)有的固晶裝置通常只有一個焊頭，在焊頭從晶盤上拾起晶圓后，需要將其移動至鍵合位置，由于晶盤與鍵合位置之間有一定的距離，使得焊頭移動時，其行程較長，使得固晶機的效率不高。如何增加適當?shù)某杀荆瑫r大幅度提固晶效率成為急需解決的技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種雙焊頭固晶裝置，該固晶機用多焊臂裝置可以避免采用單個焊頭時將晶圓拾起后定位的周期較長，提高晶圓拾起的效率和移動行程時間，進而提高固晶的效率。
[0005]為了解決上述問題，本實用新型提供一種雙焊頭固晶裝置，該雙焊頭固晶裝置包括設有晶圓盤的機架，在該機架上設有第一焊頭，該第一焊頭通過第一擺臂與第一擺臂驅(qū)動電機連接，所述機架還設有第二焊頭，該第二焊頭通過第二擺臂與第二擺臂驅(qū)動電機連接。
[0006]進一步地說，所述第一擺臂與第二擺臂擺動相互平行設置。
[0007]進一步地說，所述第一擺臂轉(zhuǎn)動中心點和第二擺臂的轉(zhuǎn)動中心點與晶盤中心點之間的夾角為95度。
[0008]本實用新型雙焊頭固晶裝置，包括設有晶圓盤的機架，在該機架上設有第一焊頭，該第一焊頭通過第一擺臂與第一擺臂驅(qū)動電機連接，所述機架還設有第二焊頭，該第二焊頭通過第二擺臂與第二擺臂驅(qū)動電機連接。工作時，在第一擺臂驅(qū)動電機和第二擺臂驅(qū)動電機帶動下，使第一擺臂開始轉(zhuǎn)動至晶盤位置拾取晶圓后向鍵合位置移動時，第二擺臂轉(zhuǎn)動開始從鍵合位置向晶盤方向移動，使得第一擺臂移動至鍵合位置時，第二擺臂恰好移動至晶盤上方開始拾起晶圓，重復拾起鍵合動作。由于避免采用單個焊頭時將晶圓拾起后定位的周期較長，提高晶圓拾起的效率和移動行程時間，進而提高固晶的效率。
【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0010]圖1是本實用新型雙焊頭固晶裝置實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]下面結(jié)合實施例，并參照附圖，對本實用新型目的的實現(xiàn)、功能特點及優(yōu)點作進一步說明。
【具體實施方式】
[0012]為了使實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0013]如圖1所示，本實用新型提供一種雙焊頭固晶裝置實施例。
[0014]該雙焊頭固晶裝置包括:設有晶圓盤的機架，在該機架上設有第一焊頭，該第一焊頭通過第一擺臂與第一擺臂驅(qū)動電機連接，所述機架還設有第二焊頭，該第二焊頭通過第二擺臂與第二擺臂驅(qū)動電機連接。
[0015]具體地說，所述第一擺臂與第二擺臂擺動相互平行設置。所述第一擺臂轉(zhuǎn)動中心點和第二擺臂的轉(zhuǎn)動中心點與晶盤中心點之間的夾角為95度。
[0016]工作時，在第一擺臂驅(qū)動電機和第二擺臂驅(qū)動電機帶動下，使第一擺臂開始轉(zhuǎn)動至晶盤位置拾取晶圓后向鍵合位置移動時，第二擺臂轉(zhuǎn)動開始從鍵合位置向晶盤方向移動，使得第一擺臂移動至鍵合位置時，第二擺臂恰好移動至晶盤上方開始拾起晶圓，重復拾起鍵合動作。由于避免采用單個焊頭時將晶圓拾起后定位的周期較長，提高晶圓拾起的效率和移動行程時間，進而提聞固晶的效率。
[0017]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換，而這些修改或替換，并不使相應技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項】
1.雙焊頭固晶裝置，包括設有晶圓盤的機架，在該機架上設有第一焊頭，該第一焊頭通過第一擺臂與第一擺臂驅(qū)動電機連接，其特征在于: 所述機架還設有第二焊頭，該第二焊頭通過第二擺臂與第二擺臂驅(qū)動電機連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙焊頭固晶裝置，其特征在于: 所述第一擺臂與第二擺臂擺動相互平行設置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙焊頭固晶裝置，其特征在于: 所述第一擺臂轉(zhuǎn)動中心點和第二擺臂的轉(zhuǎn)動中心點與晶盤中心點之間的夾角為95度。
【專利摘要】本實用新型公開一種雙焊頭固晶裝置，包括設有晶圓盤的機架，在該機架上設有第一焊頭，該第一焊頭通過第一擺臂與第一擺臂驅(qū)動電機連接，所述機架還設有第二焊頭，該第二焊頭通過第二擺臂與第二擺臂驅(qū)動電機連接。工作時，在第一擺臂驅(qū)動電機和第二擺臂驅(qū)動電機帶動下，使第一擺臂開始轉(zhuǎn)動至晶盤位置拾取晶圓后向鍵合位置移動時，第二擺臂轉(zhuǎn)動開始從鍵合位置向晶盤方向移動，使得第一擺臂移動至鍵合位置時，第二擺臂恰好移動至晶盤上方開始拾起晶圓，重復拾起鍵合動作。由于避免采用單個焊頭時將晶圓拾起后定位的周期較長，提高晶圓拾起的效率和移動行程時間，進而提高固晶的效率。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204289402
【申請?zhí)枴緾N201420428448
【發(fā)明人】區(qū)大公
【申請人】深圳市恒睿智達科技有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年7月31日