專利名稱：粉末材料的合成、分離和純化方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及粉末材料的合成、分離和純化方法。更具體地，本發(fā)明涉及包括在等離子體條件下轉(zhuǎn)化材料的方法。
背景技術(shù)：
通過在等離子體條件下飛行熔化(in-flight melting)單個(gè)粒子，然后固化成形的液滴來處理粉末材料的方法已經(jīng)已知一段時(shí)間了，并且作為致密化和球化粉末狀材料的方法吸引了越來越多的關(guān)注。所述方法，通常稱為粉末球化，導(dǎo)致粉末流動(dòng)性能顯著改進(jìn)，并且在處理和輸送期間增加了它們的耐摩擦性。
粉末球化法也被認(rèn)為是適當(dāng)控制粉末材料的化學(xué)組成以及合成新材料和復(fù)合物混合物的有效方法。
通過使用誘導(dǎo)偶合射頻(r.f.)無電極放電作為該方法的熱源，已觀察到該方法可用于粉末的有效純化，所述粉末是通過一些雜質(zhì)的部分損失而處理的，所述部分損失是從熔融液滴的簡單揮發(fā)步驟的結(jié)果或雜質(zhì)的反應(yīng)性揮發(fā)的結(jié)果。在前一情況中，比顆?；|(zhì)沸點(diǎn)低的雜質(zhì)優(yōu)先被蒸發(fā)；氣相雜質(zhì)可以逸出顆?；|(zhì)。在后一情況中，雜質(zhì)通過與處理環(huán)境接觸，接著通過揮發(fā)形成的化合物在熔融液滴表面進(jìn)行化學(xué)轉(zhuǎn)化。涉及的化學(xué)反應(yīng)可以為但不限于，例如雜質(zhì)在等離子體流中與氧接觸的氧化反應(yīng)。所述方法導(dǎo)致粉末中雜質(zhì)含量凈下降，隨后獲得純化。
然而，在這些境況下產(chǎn)生的問題是形成的雜質(zhì)蒸汽云不管是呈元素形式還是化合物形式，仍與輸送純化粉末的等離子體氣體混合在一起。當(dāng)全部離子體流和它的粉末內(nèi)容物冷卻下來時(shí)，該雜質(zhì)還冷凝為非常細(xì)小的煙灰形式沉積在反應(yīng)器內(nèi)所有可利用的表面上，包括處理/純化粉末的表面，該處理/純化粉末再次被首先除去的相同雜質(zhì)污染。對于金屬粉末，煙灰(soot)由非常細(xì)小的金屬顆粒構(gòu)成。反過來，這些細(xì)小顆粒在和與之反應(yīng)的周圍空氣接觸時(shí)對氧化非常敏感，導(dǎo)致粉末的氧含量顯著增加。
在不同的情況下，粉末的誘導(dǎo)等離子體處理還成功用于通過以下步驟合成金屬納米粉末和陶瓷納米粉末飛行加熱、熔化和蒸發(fā)進(jìn)料前體，接著快速急冷(quench)形成的蒸汽，以便在蒸汽云的整個(gè)均勻冷凝過程中形成納米粉末的微細(xì)氣溶膠。然而，在此情況中，形成的納米粉末的氣溶膠與僅僅部分汽化的進(jìn)料殘留部分混合，導(dǎo)致混合粉末具有寬的粒度分布。取決于操作條件，收集的粉末常常會(huì)具有雙峰式粒度分布，對于大多數(shù)納米粉末應(yīng)用，這表示對接受所述粉末的主要限制。
發(fā)明目的因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供合成粉末材料的改進(jìn)方法。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供分離和/或純化粉末材料的改進(jìn)方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及通過等離子體處理和超聲處理等離子體處理過的粉末的組合作用而球化、致密化和純化粉末的方法。超聲處理使得納米致密粉末(稱為“煙灰”)從等離子體熔融和部分汽化分粉末中分離出。所述方法還可以用于通過以下步驟合成納米粉末部分汽化進(jìn)料，接著快速冷凝形成的蒸汽云，使得形成納米粉末的微細(xì)氣溶膠。在后面的情況中，超聲處理步驟此時(shí)起著從部分汽化的進(jìn)料中分離形成的納米粉末的作用。
更具體地，根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)方面，提供純化材料的方法，包括提供包含雜質(zhì)的材料粉粒；等離子體加熱和熔化材料粉粒并通過等離子體流在蒸汽相中釋放雜質(zhì)，得到混合在等離子體流和汽化雜質(zhì)中的材料的熔融顆粒液滴；冷卻混合在等離子體流和汽化雜質(zhì)中的材料的熔融顆粒液滴，得到純化的材料粉粒和煙灰的混合物；將純化的材料粉粒和煙灰材料的混合物在超聲介質(zhì)中暴露于超聲振動(dòng)中，在超聲介質(zhì)中獲得分離的純化材料粉粒和煙灰；以及從超聲介質(zhì)和煙灰中回收純化的材料粉粒。
根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)方面，提供分離與粗粉末混合的納米粉末的方法，該方法將與粗粉末混合的納米粉末在超聲介質(zhì)中暴露于超聲振動(dòng)下。
根據(jù)本發(fā)明的第三個(gè)方面，供給合成材料納米粉末的方法，包括
i)提供粉末形式的材料；ii)通過等離子體流等離子體加熱、熔化和汽化材料粉末，得到在等離子體流中與部分汽化顆?；旌系恼羝问降牟牧?；iii)使等離子體流中與部分汽化顆?；旌系恼羝问降牟牧贤ㄟ^急冷流，得到形成的材料納米粉末和剩余粗材料粉末的混合物；以及iv)將形成的材料納米粉末和剩余粗材料粉末的混合物在超聲介質(zhì)中暴露于超聲振動(dòng)中，得到分離的材料納米粉粒和材料的粗粉末。
本發(fā)明合成或純化材料的方法可以供純化粉末材料，用于制造高純度材料例如太陽能電池或?yàn)R射靶材的粉末材料。
本發(fā)明合成納米粉末的方法可以通過強(qiáng)超聲作用從余下的部分蒸發(fā)的前體材料中分離合成的納米粉末，在本發(fā)明中所述超聲作用視為超聲處理方法。
本發(fā)明的方法可以用于純化、合成和分離大量材料的粉末，所述材料包括但不限于陶瓷、合金、復(fù)合物和純金屬，純金屬包括但不限于硅、鉻、鉬、鎢、鉭和釕。
當(dāng)閱讀本發(fā)明以下優(yōu)選實(shí)施方案的非限制性描述時(shí)，本發(fā)明的其它目的、優(yōu)勢和特征將變得更加明顯，所述描述僅僅參考以下附圖通過實(shí)施例給出。


在附圖中圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的說明性實(shí)施方案純化粉末材料的方法的流程圖；圖2是進(jìn)行圖1方法的第一部分的等離子體反應(yīng)器的示意圖；圖3A和3B分別是根據(jù)圖1方法的步驟104-106的等離子體球化的硅和釕粉粒的電子顯微照片，顯示在粉粒上冷凝的聚集納米粉末煙灰的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)(web)。
圖4是進(jìn)行圖1方法的第二部分的超聲處理裝置的示意圖；圖5A、5B和5C分別是未加工WC粉粒和通過圖1方法獲得的球化WC粉粒的兩個(gè)實(shí)例的電子顯微照片；圖6A-6D是根據(jù)圖1方法的第一個(gè)步驟，但在圖1方法的超聲處理步驟之前進(jìn)行等離子體處理的硅粉的電子顯微照片；圖7A-7D是在圖1的超聲處理步驟之后分別對應(yīng)于圖6A-6D的硅粉的電子顯微照片；圖8A-8E是在增加超聲處理時(shí)間之后，通過圖1的方法獲得的等離子體處理的釕粉的電子顯微照片；圖9是圖8A-8E顯示的釕粉的殘余氧濃度的示意圖；圖10A-10C是等離子體處理后及分別在超聲處理之前(圖10A)和超聲處理之后的鎢粉的電子顯微照片，其中在超聲處理之后獲得粗粒級分(圖10B)和細(xì)粒級分(圖10C)；以及圖11A-11C是分別在圖10A-10C中示出的鎢粉的粒度分布示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)參考圖1描述根據(jù)本發(fā)明的說明性實(shí)施方案純化材料的方法100。
在步驟102中，以未加工粉末的形式提供材料。然后將粉粒軸向嵌入誘導(dǎo)偶合射頻等離子體流中。
在步驟104中，在將材料粉粒注入圖2所示的誘導(dǎo)偶合射頻(r.f.)等離子體反應(yīng)器10的中心時(shí)，然后將它們加熱和熔化。
實(shí)際上，當(dāng)單個(gè)粉粒和等離子體流接觸時(shí)，將它們在毫秒級的相對短的時(shí)間內(nèi)加熱和熔化，得到混合在等離子體流中的熔融顆粒材料液滴。除了材料顆粒的熔化，步驟102還引起顆粒材料本身和/或它們中的任何雜質(zhì)的部分蒸發(fā)。包裹在顆粒中的雜質(zhì)在熔化步驟期間還可以在表面張力作用的影響下到達(dá)顆粒的表面。
對于等離子體反應(yīng)器操作，取決于被處理材料和存在雜質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)，等離子體氣體組成為惰性、氧化和還原氣氛。
操作壓力為大氣壓、低壓、“適度真空(soft vacuum)”或超大氣壓(aboveatmospheric pressure)。蒸發(fā)可以是顆粒材料的簡單揮發(fā)引起的，或者是雜質(zhì)從氣相顆粒中分離出而不涉及任何化學(xué)轉(zhuǎn)化。涉及顆粒材料或存在雜質(zhì)的化學(xué)轉(zhuǎn)化的反應(yīng)性蒸發(fā)也是可行的，所述反應(yīng)性蒸發(fā)是通過顆粒材料或存在雜質(zhì)與等離子體氣體相互作用，接著蒸發(fā)形成的化學(xué)化合物進(jìn)行的。
由于所述r.f.等離子體反應(yīng)器在本領(lǐng)域認(rèn)為是眾所周知的，本文中不再詳細(xì)描述。注意，其它類型的等離子體反應(yīng)器，例如直流(d.c.)等離子體噴射器或電容偶合r.f.等離子體或微波等離子體也可以用于加熱或熔化粉粒。
在步驟106中，再將所生成的與等離子體流混合的熔融顆粒材料液滴冷卻，使得純化材料的熔融顆粒液滴固化和球化，以及以納米氣溶膠形式輸送的蒸汽冷凝，該氣溶膠沉積在等離子體反應(yīng)器10所有可利用的表面上和被輸送的固化顆粒液滴的表面上。后一情況導(dǎo)致煙灰狀材料和純化的粉末混合在一起。
圖3A和3B顯示了根據(jù)方法100的步驟102-106，在硅和釕固化顆粒液滴上分別冷凝的聚集的納米粉末煙灰的兩個(gè)實(shí)例。
如圖3A-3B所示，步驟106引起在等離子體步驟期間獲得的純化作用損失。
為了達(dá)到煙灰狀納米顆粒從固化顆粒液滴中分離出從而完成其純化，將所得的材料粉粒和煙灰材料的混合物在超聲介質(zhì)中暴露于強(qiáng)超聲振動(dòng)(步驟108)中。取決于超聲介質(zhì)的體積及其粉末載量，需要的超聲處理強(qiáng)度可以低至一百瓦及高至幾千瓦。通過法拉第波形圖完成所述分離，所述波形圖由響應(yīng)強(qiáng)內(nèi)在振動(dòng)的駐波布置(standing waves setup)構(gòu)成。由于法拉第波原理在本領(lǐng)域認(rèn)為是眾所周知的，因此本文中不再詳細(xì)描述。
可用于實(shí)施步驟108的超聲裝置20的實(shí)例示于圖4。裝置20包括小的、水冷的玻璃燒杯22，該燒杯充滿材料粉粒和煙灰材料的混合物，該混合物得自步驟102-106，在適當(dāng)?shù)某曁幚硪褐袨閼腋∫旱男问?，所述超聲處理液例如但不限于水、丙酮或?在圖4中一般用附圖標(biāo)記24指示)。
裝置20還包括超聲發(fā)生探針26。將超聲發(fā)生探針26的尖端28浸入懸浮液24中并施加能量以便使粉末暴露在強(qiáng)振動(dòng)中，并使納米“煙灰”顆粒離開較大的純化或部分蒸發(fā)的粉粒的表面。
盡管如上所示在超聲處理液中實(shí)施步驟108，但也可以在其它超聲介質(zhì)例如空氣中實(shí)施該步驟。
當(dāng)然，可以使用其它類型的容器裝載懸浮液24。在等離子體反應(yīng)器10(參見圖2)的等離子體處理收集室中已經(jīng)提供了超聲介質(zhì)。同樣，裝置20可以采用將煙灰狀納米顆粒和固化顆粒液滴暴露于超聲中的許多其他形式。
由于超聲探針在本領(lǐng)域認(rèn)為是眾所周知的，因此本文中不再詳細(xì)描述。
接下來的步驟(110)是從超聲介質(zhì)中回收純化的材料粉粒。
步驟110首先包括，例如通過濕篩選或正常重力下的示差沉降，或通過在數(shù)倍重力下的強(qiáng)離心作用分離兩種顆粒級分(分離的粉末和納米煙灰)。然后，通過過濾從超聲介質(zhì)中回收分離的粉末和/或納米煙灰，接著，當(dāng)在液體介質(zhì)中實(shí)施步驟108時(shí)，進(jìn)行最后的蒸發(fā)/干燥步驟，并且在需要時(shí)，進(jìn)行真空填充。
可以替代地使用其它的回收純化粉末材料的方法。
粉末處理方法100使得粉末的流動(dòng)性能得到改進(jìn)。實(shí)際上，根據(jù)方法100在球化粉粒上進(jìn)行了霍爾測試(Hall test)。例如，已經(jīng)測量了如圖5A所示的未加工WC(碳化鎢)粉的霍爾流值(Hall flow value)為54.3s/20cm3，而如圖5B和5C所示的根據(jù)方法100球化的WC粉的霍爾流值分別為32.5和34.3s/20cm3。
現(xiàn)描述以下使用裝置10和20實(shí)施方法100的具體實(shí)施例。該具體的實(shí)施例將突出本發(fā)明純化方法的其它特征和優(yōu)勢。
用于太陽能電池級硅應(yīng)用的硅粉的純化第一實(shí)施例涉及用于太陽能電池級硅應(yīng)用的硅粉的純化。根據(jù)該第一實(shí)施例，根據(jù)方法100中的步驟102-106，中等純度的硅粉通過將其暴露于在接近大氣壓下操作的氬/氫氣誘導(dǎo)偶合等離子體放電進(jìn)行熔化。
收集的粉末由單個(gè)球狀顆粒構(gòu)成，該球狀顆?；旌嫌性谄浔砻胬淠木奂募{米煙灰顆粒的網(wǎng)狀物(network)。
根據(jù)方法100的步驟108，通過在丙酮浴中強(qiáng)超聲處理，接下來通過示差沉降、過濾和干燥將煙灰從純化的硅粒中分離出來，后一步驟相應(yīng)于方法100的步驟110。
在圖6A-6D和7A-7D中分別顯示了等離子體處理后，強(qiáng)超聲處理步驟108前后硅粒的電子顯微照片。表1給出了粉末的BET(Brunauer EmmettTeller)比表面積分析的相應(yīng)值。

表1.在功率水平17W和100W下超聲處理步驟108前后等離子體處理粉末的BET比表面積分析對于相同的暴露時(shí)間，超聲強(qiáng)度的兩個(gè)水平(17W和100W)下給出的結(jié)果表明至少采用用于超聲步驟的最小功率水平獲得較好的結(jié)果，這在約50-100W范圍內(nèi)更加準(zhǔn)確。表1所示的結(jié)果表明，正如粉粒比表面積相當(dāng)可觀的下降所顯示的，在粉粒表面上煙灰的沉積量明顯下降。
用于電子應(yīng)用的釕的純化第二實(shí)施例涉及用于電子應(yīng)用的釕的純化。根據(jù)該實(shí)施例，在接近大氣壓下使釕粉暴露于氬/氦誘導(dǎo)偶合等離子體，其中根據(jù)方法100的步驟104-106，加熱熔化和球化單個(gè)顆粒。步驟104-106還使得存在的雜質(zhì)從顆粒表面蒸發(fā)出來。然后根據(jù)步驟108使用100W超聲角狀發(fā)生器(horngenerator)26使處理粉末暴露在強(qiáng)超聲振動(dòng)中。將發(fā)生器26的尖端28浸入100ml處理粉末(250g)的丙酮懸浮液中。
在圖8A-8E中示出了在超聲處理步驟108開始(t＝0)，和其后超聲處理不同階段(30，60，90和120分鐘)的等離子體處理釕粉的電子顯微照片。圖8A-8E示出通過使煙灰顆粒離開釕粒表面而逐步和系統(tǒng)地純化粉末。該純化效果還被圖9示出的粉末氧含量的分析證實(shí)為超聲處理時(shí)間的函數(shù)。結(jié)果清楚地表明對于實(shí)驗(yàn)中使用的100W超聲處理功率水平，當(dāng)超聲處理時(shí)間超出最初處理的60分鐘時(shí)，粉末的殘余氧含量顯著下降。
納米鎢粉的合成第三實(shí)施例涉及使用方法100合成納米粉末。根據(jù)該實(shí)施例，通過在近大氣壓下在氬/氫誘導(dǎo)偶合等離子體中部分蒸發(fā)細(xì)金屬鎢粉，然后快速急冷等離子體氣體和產(chǎn)生的金屬蒸汽(步驟104-106)，使用方法100合成難熔金屬例如鎢的納米粉末。通過注入冷氣流實(shí)現(xiàn)快速急冷。通過霧狀液流或通過等離子體氣體和冷表面接觸也可以實(shí)現(xiàn)快速急冷。
形成的鎢納米粉末和殘余的部分蒸發(fā)的鎢粉的收集混合物經(jīng)歷強(qiáng)超聲處理步驟108以便從較大的鎢顆粒中分離出納米粉末。圖10A示出了在等離子體反應(yīng)器的出口和急冷段(見圖2)收集時(shí)混合的粗鎢粉和納米鎢粉的電子顯微照片。
圖10B和10C分別給出了使用丙酮作為超聲處理液通過強(qiáng)超聲處理獲得的相應(yīng)的粗粉末級分和細(xì)粉末級分的電子顯微照片。在圖11A-11C中給出了混合粉末及分離的粗粉末級分和細(xì)粉末級分的相應(yīng)粒度分布。
盡管在上文通過本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案已經(jīng)描述了本發(fā)明，但在不偏離權(quán)利要求書限定的主題發(fā)明的精神和本質(zhì)下，可以對其進(jìn)行修改。
權(quán)利要求
1.純化材料的方法，包括提供包含雜質(zhì)的材料粉粒；等離子體加熱和熔化材料粉粒并通過等離子體流在蒸汽相中釋放雜質(zhì)，得到混合在等離子體流和汽化雜質(zhì)中的材料的熔融顆粒液滴；冷卻混合在等離子體流和汽化雜質(zhì)中的材料的熔融顆粒液滴，得到純化的材料粉粒和煙灰的混合物；將純化的材料粉粒和煙灰材料的所述混合物在超聲介質(zhì)中暴露于超聲振動(dòng)中，在超聲介質(zhì)中獲得分離的純化材料粉粒和煙灰；以及從超聲介質(zhì)和煙灰中回收所述純化的材料粉粒。
2.權(quán)利要求1的方法，其中所述超聲介質(zhì)選自水、丙酮、醇和空氣。
3.權(quán)利要求1的方法，其中從所述超聲介質(zhì)和所述煙灰中回收所述純化的材料粉粒包括通過濕篩選、在正常重力下的示差沉降，或通過強(qiáng)離心作用分離所述純化的材料粉粒。
4.權(quán)利要求1的方法，其中從所述超聲介質(zhì)中回收所述純化的材料粉粒包括過濾超聲介質(zhì)。
5.權(quán)利要求1的方法，其中所述的通過等離子體流等離子體加熱和熔化所述材料粉粒是通過使用載氣將所述粉粒注入誘導(dǎo)偶合射頻等離子體流中實(shí)現(xiàn)的。
6.權(quán)利要求1的方法，其中所述的通過等離子體流等離子體加熱和熔化所述材料粉粒是在壓力下進(jìn)行的，該壓力選自大氣壓、低壓、“適度真空”和超大氣壓。
7.權(quán)利要求1的方法，其中所述等離子體流是在選自惰性、氧化或還原氣氛的條件下獲得的。
8.權(quán)利要求1的方法，其中所述材料粉粒是以未加工的形式提供的。
9.權(quán)利要求1的方法，其中所述超聲振動(dòng)是使用超聲發(fā)生器產(chǎn)生的，該超聲發(fā)生器的特征在于強(qiáng)度為約100W至約10kW。
10.權(quán)利要求1的方法，其中混合在所述等離子體流中的所述材料的熔融顆粒液滴的所述冷卻是通過快速急冷混合在所述等離子體流中的所述材料的熔融顆粒液滴而實(shí)現(xiàn)的。
11.權(quán)利要求10的方法，其中所述快速急冷是通過注入冷氣流、霧狀液流或與冷表面接觸而實(shí)現(xiàn)的。
12.權(quán)利要求1的方法，其中所述材料選自陶瓷、純金屬、合金和復(fù)合物。
13.權(quán)利要求12的方法，其中所述金屬選自硅、鉻、鉬、鎢、鉭和釕。
14.權(quán)利要求1的方法，其用于改進(jìn)所述粉末材料的流動(dòng)性能。
15.權(quán)利要求1的方法，其用于降低粉粒氧含量。
16.權(quán)利要求1的方法，其用于純化制造太陽能電池或?yàn)R射靶材用的粉末材料。
17.分離與粗粉末混合的納米粉末的方法，該方法將與粗粉末混合的納米粉末在超聲介質(zhì)中暴露于超聲振動(dòng)下。
18.權(quán)利要求17的方法，其中所述超聲介質(zhì)選自水、丙酮、醇和空氣。
19.權(quán)利要求17的方法，其中所述超聲振動(dòng)是使用超聲發(fā)生器產(chǎn)生的，該超聲發(fā)生器的特征在于強(qiáng)度為約100W至約10kW。
20.合成材料納米粉末的方法，包括i)提供粉末形式的材料；ii)通過等離子體流等離子體加熱、熔化和汽化所述材料的粉末，得到在所述等離子體流中與部分汽化顆粒混合的蒸汽形式的材料；iii)使所述等離子體流中與部分汽化顆?；旌系恼羝问降牟牧贤ㄟ^急冷流，得到形成的材料納米粉末和剩余粗材料粉末的混合物；以及iv)將所述形成的材料納米粉末和剩余粗材料粉末的混合物在超聲介質(zhì)中暴露于超聲振動(dòng)中，得到分離的所述材料的納米粉粒和所述材料的粗粉末。
21.權(quán)利要求20的方法，其還包括v)回收所述材料的所述分離的納米粉粒和所述材料的所述剩余粗粉末中的至少一種。
22.權(quán)利要求21的方法，其中步驟v)包括通過濕篩選、在正常重力下的差示沉降，或通過強(qiáng)離心作用分離所述材料的所述分離的納米粉粒和所述材料的粗粉末。
23.權(quán)利要求21的方法，其中步驟v)包括過濾超聲介質(zhì)。
24.權(quán)利要求20的方法，其中所述超聲介質(zhì)選自水、丙酮、醇和空氣。
25.權(quán)利要求20的方法，其中所述超聲處理包括產(chǎn)生超聲振動(dòng)，其特征為強(qiáng)度在約100W至約10kW范圍內(nèi)。
26.權(quán)利要求20的方法，其中所述的通過所述等離子體流等離子體加熱和熔化所述的材料粉末是通過使用載氣將所述粉末注入誘導(dǎo)偶合射頻等離子體流中實(shí)現(xiàn)的。
27.權(quán)利要求26的方法，其中所述的通過等離子體流等離子體加熱和熔化所述材料粉粒是在壓力下進(jìn)行的，該壓力選自大氣壓、低壓、“適度真空”和超大氣壓。
28.權(quán)利要求26的方法，其中所述等離子體流是在選自惰性、氧化或還原氣氛的條件下獲得的。
29.權(quán)利要求20的方法，其中所述材料選自但不限于陶瓷、純金屬、合金或復(fù)合物。
全文摘要
本發(fā)明涉及通過等離子體處理和超聲處理等離子體處理過的粉末的組合作用而球化、致密化和純化粉末的方法。超聲處理使得納米致密粉末(稱為“煙灰”)從等離子體熔融的和部分汽化的粉末中分離出。所述方法還可以用于通過以下步驟合成納米粉末部分汽化進(jìn)料，接著快速冷凝形成的蒸汽云，使得形成納米粉末的微細(xì)氣溶膠。在后一情況中，超聲處理步驟起著從部分汽化的進(jìn)料中分離所形成的納米粉末的作用。
文檔編號B01J2/18GK1874838SQ200480032115
公開日2006年12月6日 申請日期2004年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月28日
發(fā)明者馬厄·I·布洛斯, 克里斯廷·內(nèi)西姆, 克里斯琴·諾曼德, 杰齊·朱爾維茨 申請人:泰克納等離子系統(tǒng)公司